книги из ГПНТБ / Аммер, С. А. Нитевидные кристаллы (получение, механизмы и кинетика роста) учеб. пособие
.pdf
|
|
w o - |
i |
способствует |
развитии НК, которые в этом случае достигали |
в |
длину до 20 |
мм и имели оптически гладкую поверхность. В реакци |
онных трубках из фарфора,при прочих равных условиях,количест во НК я полукриоталлов всегда на порядок больше, чем при исполь зовании реактора из корунда.
Полученные зксперииентальнне данные (и прежде всего вы
деление свободного углерода) позволили предполагать, что в
рассматриваемой |
системе помимо реакции |
(70) |
может ииеть место |
|
разложение |
с разрывом |
связей |
SrC |
[509,510]: |
eH,b,eeb(rfc'HiCr) * $,ceMr} |
сг« |
|
Расчеты (рис.19) показывают, что далее возможно |
|
|
СИл,(Г) = С(Г) |
*■ЗНсг) |
(7г) |
б.-се* ( г ) |
(rj = Si Н м ) <-нее(г) |
суз) |
Подтверждением достоверности этих реакций в зоне кристаллиза ции является следующее. В потоке водорода углерод выделяется
в меньшем количестве, чем в аргоне, что |
может |
быть связано |
|||||||
с влиянием водорода на равновесие |
реакции (72). Кроме этого, |
||||||||
в полном соответствии с реакцией |
(7 3 ),в |
потоке водорода наб |
|||||||
людается |
обильное выделение ( |
biCCg |
) п |
за |
пределами горя |
||||
чей зоны, |
добавка кремния улучшает -не только |
воспроизводимость |
|||||||
результатов, |
но и увеличивает |
выход НК и поликристаллов SiP |
|||||||
и подавляет |
выделение свободного |
углерода. |
Э*го может быть |
||||||
объяснено тем, |
что моноокись |
кремния, образуемая по реакции |
|||||||
<56), |
связывает |
углерод согласно |
уравнению реакции (57) или |
||||||
(58); |
Двуокись |
кремния может |
образоваться,в |
данном случае,пос- |
- 141 -
редством реакций (15),(55,56) и (60,61). Результаты термодина мического анализа и экспериментальные факты хорошо согласуются
о данными работ Ивановой, Плетюикина и других [509,510] .
Легко |
объяснить также, |
почему в фарфоровой |
керамике удель |
|
ный весовой |
выход НК и поликристаллов всегда на |
порядок |
был |
|
больше, чем |
в керамике из |
, особенно при введении |
1фем- |
ния, если принять во внимание реакции (15) и (63-65), продук
тами которых являются летучие окислы кремния и углерода. |
Пос |
||
ледние, реагируя меиду собой по реакциям |
(60,61), естественно, |
||
способствуют увеличению весового выхода 1фистадлов карбида |
|||
кремния, а также способствуют выделению |
в большом коли |
||
честве. Предпринималась попытка [509^ выращивания НК при |
пиро- |
||
ливе (СН»)} 5; |
в графитовом реакторе |
при транспорте |
о по |
мощью гавов аргона и водорода. Воспроизводимый рост наблюдал-
оя при скорости подачи |
(CHjjbiOC ~ |
2,5-10-<*иоль/мин на входе |
|||
в горячую вону при 1370°С. 8а 4 часа образовевались светло- |
|||||
зеленые |
игольчатые кристаллы jbSi С |
длиной до 10 мм. Авторы |
|||
считают, |
что |
разложение |
(0Н$)>, bi (Я> |
монет происходить |
|
ступенчато |
|
|
|
|
|
(сн^ь.ег — зоид >$,се |
(ю |
||||
2&0С- — s; |
|
<?5) |
|||
CHjj |
—»■ 0 |
.+■ 3 |
И |
(76) |
|
|
5 , |
«■С |
S f |
<7 |
С77) |
Подтверждением этому служит выделение хлопьев SiCtg за |
|||||
пределами горячей |
зоны. |
|
|
- 1 4 2 -
Пиролизом влажного этилена при 1300°С в трубе из плавленного
кварца получали усы л ^ 0 в работе [511,512] . |
|
|
Таким образом, образование кристаллов |
<мС |
является про |
дуктом сложных физико-химических процессов, |
до |
конца еще не |
выясненных. Поскольку в большинстве случаев |
НК формировались |
|
на входе или выходе горячей зоны (по току газа при наличии |
||
градиента температур), можно заклсчить, что |
неотъемлемый эта |
пом в процессе кристаллообразования является транспорт компо
нентов за счет диффузии |
в газовой |
фазе. |
|
|
|
|||||
Как уже отмечалось |
выше, |
важную роль |
в формировании НК |
|||||||
£.С играет |
примеси. |
Они могут |
определять |
цвет, модификацию, |
||||||
морфологию |
кристаллов |
и |
т .д . через влияние |
на условия |
кристал |
|||||
лообразования. Например, Книппенберг [505] |
отмечает |
ускорение |
||||||||
и стабилизацию роста |
НК 2Н- |
Si С |
из |
смеси |
Si Ос. |
С |
при |
|||
добавлении |
самых различных |
примесей: |
хлора, азота, |
фосфора, |
алюминия, бора, лантана. Ввиду очень большого различия в хи мической природе добавок трудно ожидать, что механизм их вли яния на рост должен быть одним и тем же. В некоторых случаях ускорение роста,несомненно,вызывается усилением переноса мате риала, например, в случае хлора и азота. -В других случаях это обусловлено,главным образом улучшением условии зарождения и
кристаллизации, например,в случае алюминия (405] . Во многих случаях примеси, например железа, могли видимо, стимулировать
П1Гмеханизм роста НК.
t
.Карбиды |
других веществ. Игольчатые монокристаллы карбида |
титана Т |
получены (.513] разложением на графитовой подлож |
ке, нагретой |
до 1200-1350°С, газовой смеси ПО С,, <-(П, Н* |
в атмосфере водорода. |
Кристаллы имели ориентацию осей |
[ i l l ] . |
|
Некоторые примеси ( |
Pci , |
5 способствуют |
кристал |
лообразованию. |
|
|
|
Карбид гафния в форме ограненных кристаллов, игл и ден-
дритов был получен [51**] при химическом взаимодействии газовой фазы И^01ц и толуола в среде водорода с добавками хлоридов некоторых металлов ( Ag , W , Н^. ) . На стенках индукционно-
нагреваемой графитовой трубки в зонах с температурой 1500°С
росли мелкие кристаллики, 1550-1650°С - игольчатые кристаллы.
Применение в качества газа-носителя гелия и аргона вызывает образование усов.
Нонокристаллы |
карбида циркония в виде усов длиной до ** |
мм |
||||
и диаметром 6-12 мкм выращивались при взаимодействии газооб |
||||||
разных тетрахлоридов в |
водороде [228] : |
|
|
|||
ZrQ l4 |
|
4-ч н 2 -=zr<? |
8 нсе. |
(78) |
|
|
Температура роста |
1800°С, расход водорода - 1 0 л/мия. |
|
||||
Карбид бора в виде |
усов |
Q40 |
получают на графитовой |
под |
||
ложке при осаждении бора из газовой фазы при 1200°С [226] |
; |
|||||
на стенках графитовой |
печи |
при возгонке ( |
1850°С) порошкооб |
|||
разной массы |
и др. |
[25,126,515,51б] |
. Длина усов в |
отдель |
||
ных случаях достигала |
18 нм. |
|
|
|
|
|
|
|
- № |
- |
|
|
|
|
|
|
НК НИТРИДОВ |
|
|
|
||
|
В настоящее время большое внимание уделяется получению |
|||||||
НК соединений, устойчивых |
окислению |
при высоких температурах. |
||||||
К таким |
соединениям |
относятся, в частности, |
нитриды. |
|
||||
|
Нитрид алюминия.Известно несколько способов получения |
|||||||
НК |
N |
из |
газовой |
фазы. |
К наиболее распространенным из |
них |
||
относятся: |
|
|
|
|
|
|
||
|
1) восстановление окиси алюминия углеродом в атмосфере |
|||||||
азота |
по |
реакции [l62 |
5I7-52I.524J |
: |
|
|
||
|
IUtOb►W >-N2 - SHIN *■ 5 0 0 |
|
C79) |
|
||||
|
2) |
азотирование |
металлического |
алюминия |
[518, 522] |
; |
||
|
еде |
4- w2 = 2 fitm |
|
|
сво) |
|
3)сублимация нитрида алюминия при высоких температурах
ватмосфере азота [161,522,523] :
Условия, |
кинетика и термодинамика роста НК при восстанов |
|
лении /If л Од |
были изучены советскими учеными [518,519,521] . |
|
Реакции восстановления можно осуществлять в изотермических |
||
условиях, |
когда исходный материал и зона роста усов находятся |
|
при одной |
и той же температуре. Восстановителем является угле |
род, источником которого обычно служат графитовые нагреватели печи и лодочки. Портной и др. [519] отмечают, что в изотерми ческих условиях рост НК начинается при температуре не ниже
1750°С. С повышением температуры наблюдается резкое возрастание выхода и улучшение качества поверхности НК. Зто связывается с уменьшением пересыщения в газовой фазе. Изменение давления азота в пределах 0,1-1 атм не влияло на протекание процесса.
145 -
При создании в печи температурного градиента усы можно выра
щивать и при более низких температурах, чем 1750°С.
Рост НК при температуре 1950°С занимает IO-I5 вин. Крис
таллы достигали длины 5-10 мм, хотя в отдельных случаях наблю дались иглы длиной до 30 мы. Диаметр мог изменяться от долей
микрона до 50 мкы.
Термодинамический анализ [518,519] процессов, протекающих
в системе при восстановлении, показал, что во всем исследуемом интервале температур упругость пара алюминия более, чем на
6 порядков, превышает упругость паров нитрида. Это означает,
что в изотермических условиях окись алюминия ыодет восстанав ливаться до алюминия, конденсирующегося в виде капель на подлож ке.
Капли играют роль центров кристаллизации. В зависимости
от размеров капля может дать начало для роста одного НК или
же закристаллизоваться в поликристаллическую основу пучка усов.
Роль капель алюминия в росте НК нитрида алюминия была предме том специального исследования в работе [518] .
Бережкова [52l] допускает, что рост НК Л1Ы происходит
не только с вершины за счет осаждения из газовой фазы, но и о основания - непосредственно из расплава исходного материала.
Авторы [518,521] сходятся на том, что присутствие осевой вин товой дислокации не является необходимым условием кристаллиза ции вещества в форме нитей, хотя и возможным. Рост НК происхо дит в соответствии о обычными механизмами роста кристаллов при
соответствующих пересыщениях. |
К таким же выводам приходят и |
другие исследователи роста НК |
[525] . |
- 146
Метод выращивания НК при аэотации металлического алюминия требует более низких температур, на 600-800°0 ниже точки плав ления нитрида (2400°0). Отмечается [521] , что НК вырастают
только при добавлении кремния к исходному алюминиевому порош
ку. При температуре выше 1800°С НК сплошь покрывали закристал лизовавшийся расплав.
Получение НК методом сублимации нитрида алюминия подроб
но исследовано в работах |
[160-162, 52?-526} . Кристаллизация |
|
проводилась |
при температуре 1500-2000°С при давлении азота |
|
I , 3-1,4 атм |
в реакционной зоне с графитовыми нагревателями. |
|
Иногда азот |
разбавляется |
аргоном, оба газа тщательно очищают |
ся. При минимальном пересыщении и температурах 1500°С образу
ются НК, в то время как при 1800-2000°С преобладают гексагональ
ные |
пластинки. Установлено [161] , ч*о решающую |
роль для роо- |
т а |
НК играют примеси железа, & также кобальта и |
магния. Из ис |
точника технической чистоты НК растут довольно хорошо, очист
ка его исключает рост; последующее преднамеренное введение примесей вновь вызывает бурный рост НК. На вервииах НК при втои обнаруживаются глобулы, содержащие,по данный рентгеновско
го анализа,железо. На втои основании предполагается действие ПХТ-механнзыа роста. Кристаллы прозрачны, бесцветны или ниест
бледно-голубую оираоху. ориентация их нонет быть <0001> (иглы),
<IOiO> |
(базисные л е т и ) , |
<с *2а> ила <242Э> |
[525,526] . |
|
•леитроииоиикрооиопнчеонне исследования [523-529J |
помпам, |
|||
что НК |
ногли бит» бездиолокационниИи, |
|
|
|
Нитрид кремния в форме HI |
получают из газовой |
|||
фазы оря взанводействии двусияон кремния, |
кремню |
и азота, раз |
• |
т - |
|
бавленного до I# водородом при температурах 1350-1480°0 |
[523, |
|
530-532] . Пары кремния |
могут подаваться в реакционную |
вону 1 |
вместе потоком аргона. В качестве подложки для роста попользу ется графит, но, как отмечается Грибковым [531] , иаилучшне
результаты |
дает осаждение на подложку из муллита. И это не |
|||||
случайно, |
поскольку при взаимодейотвии углерода или водорода |
|||||
с муллитом |
может происходить восстановление окиолов f-e.20 3 и |
|||||
ДЕеОз |
. |
входящих в его состав. |
Восстановленные железо и алю |
|||
миний |
хорошо растворяют |
кремний |
и могли образовывать зародыши |
|||
кристаллизации ил* инициировать рост НК по механизму ПИ. |
||||||
|
Книппенберг [505] |
отмечает, |
что процесс образования НК |
|||
<A-S,3Ni, в |
системе |
6 i 0 2 - С - |
Н а -Л/.2 может быть конкуриру |
|||
ющим с образованием НК карбида >фемния. |
При 75# азота в газовой |
|||||
фазе и температуре |
1200°С росли только |
ленточки S i3 N4 . Даже |
при 1340°0 и 25# азота обнаружены главным образом НК Но при 75# азота и температуре 1500°0 растут уже только усы
карбида кремния.
НК с*.- S i могли иметь ориентацию <1212У , <2421^<1013>
и др. Все они при электронномикроскопических исследованиях выявляли признаки наличия осевых винтовых дислокаций, многие обнаруживали ооевые пары, а в усах <1212)> было обнаружено зак ручивание решетки. Это дало основание авторам [531] считать возможным сочетание действия ПИ-механизма кристаллизации и механизма роста по винтовой дислокации.
Нитрид титана кристаллизуется ввиде пучков ограненных нитей длиной 0 ,7 -1 ,5 мм, диаметром 2,5-70 мкы при осаждении из
we -
газовой снеси тетрахлорида титана, азота и водорода на воль фрамовую проволоку, нагретую до 1300°0 [234] :
2Т,01ч *ый + цнй |
епл/ *-.9нее. |
Ш ) |
|
|
Предварительные исследования показали, что рост игольчатых |
||||
кристаллов происходит |
в направлении |
[ i l l ] . |
|
|
Нитрид ниобия, Кристаллы NfcW |
оинтевировалиоь |
в резуль |
||
тате реакций взаимодействия газообразных Ы6 Р |
или |
NbG£s |
||
о азотом [333] . Пары |
галоида ниобия вводились |
и реакционные |
нулдитовые или корундовые трубы путей саботирования через
раоплав ооли азота. Температура зваииодейотвия 1400-1500°С.
На отсихах реакциовной трубы ооахдалиоь кристаллы в виде нитей,
пластинок или дендрктов ддакетрои 2-100 ыкы и средней длины ~400 ыкы. Ом кристаллизовались по типу l\la.QQ в имели оркен-
тацяв осей роста [Ш ] .
149 -
ВЫРАЩИВАНИЕ НК МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКИХ ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ РЕАКЦИЙ
Большинство ранее рассмотренных методов получения крис таллов так или иначе связано о гетерогенными химическими ре
акциями в равновесных системах. Для нарушения равновесия соз даст перепад .тейпературы: температура в зоне осаидения замет
но может отличаться от температуры в зоне 1фисталлизация. Эго помет привести к транспорту (переносу) кристаллизуемого ве щества из одной зоны в другую.
Особый вид транспорта предотавляет собой перенос вещест
ва с помощью специального вепеотва - растворителя. Сущиоотъ его оостоит в следующем. Твердое иди жидкое вещество А взаимо действует о газообразным веществом - растворителем В и обра зует газообразное соединение С. Этому отвечает уравнение об
щего вида: |
|
|
*Й(т,ж) ¥ |
Ь 6 (г) ^ : о С со |
(82) |
При подходящем градиенте температур в зоне о температу |
||
рой Tj реакция происходит в направлении I, |
вызывая переход |
|
вещества А в газовую |
фазу. В зоне, с температурой Т2 происхо |
дит обратная реакция, сопровождаемая осаждением вещеотва А.
Теи самым осуществляется перенос вещеотва А из зоны с Tj в
зону Т2 через газовую фазу с участием химических реакций.
Поэтому и метод получил название метода химических транспорт ных реакций.
Для получения вещества А в виде монокристаллов, нужно п о -\
Добрать термодинамические параметры таким образом, чтобы обео-
гтечить не только перенос, но и образование зародышей, их роот.