книги из ГПНТБ / Агаханян Т.М. Основы транзисторной электроники
.pdfРазличают электрические пробои, которые обусловлены дей ствием электрического поля в переходном слое, и тепловой пробой, вызванный перегревом перехода.
Электрические пробои. Существуют три вида электрических пробоев: лавинный, туннельный и поверхностный.
Лавинный (таундсеновскнй) пробой в р-п переходе вызывается ударной ионизацией: электроны, пролетающие сквозь переходный слой, ускоряются в нем электрическим полем и при напряжениях, превышающих критическое значение, приобретают кинетическую энергию, достаточную для того, чтобы при соударении с атомами ионизировать их, образуя пары электрон — дырка. Вновь образо ванные электроны, ускоряясь полем, в свою очередь могут также вызвать ионизацию атомов. Таким образом, будет происходить лавинообразное нарастание тока, приводящее к пробою р-п перехода. При этом ток / , протекающий через переход, превысит в М раз величину тока / 0 , обусловленного потоком первоначаль ных носителей, т. е.
1 = М1а.
Коэффициент М определяется эмпирической формулой [Л. 29]
(3-17)
и называется коэффициентом лавинного умножения. Напряжение лавинного пробоя Un связано с удельным сопротивлением базовой области р-п перехода соотпошеннем
|
ип = АлРба". |
|
(3-18) |
|
Значения эмпирических коэффициентов пл, |
ал и Ал приведены |
|||
в табл. 3-1. |
Это — средние и притом весьма |
приблизительные |
||
значения. Они зависят от типа перехода, удельного |
сопротивления |
|||
материала и т. д. [Л. 30]. |
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица 3-1 |
Полупроводник |
Тип р-н |
пл |
п л |
А л |
перехода |
||||
Ge |
п+-р |
6 |
0,61 |
52 |
|
р+-п |
3 |
0,61 |
83,4 |
Si |
п+-р |
2 |
0,75 |
23 |
|
р+-п |
3,5 |
0,64 |
86 |
Напряжение лавинного пробоя |
зависит от температуры перехо |
да. С повышением температуры напряжение пробоя возрастает, так как сокращается длина свободного пробега электронов и умень-
70
шается энергия, приобретаемая ими на длине свободного пробега. Поэтому ионизация атомов электронами, пролетающими через переходный слой, происходит при больших напряжениях. Зави симость напряжения лавинного пробоя от температуры опреде ляется эмпирической формулой [Л. 23]
г/л(2п1) = с / л ( 7 1 2 ) [ 1 + с л ( ? 1 1 - ? 1 2 ) ] .
Температурный коэффициент напряжения пробоя Сл для крем ния равен 8,8-10-4 1/о С, а для германия 1,2-Ю- 3 1/°С.
Туннельный (зеперовский) пробой [Л. 27] происходит тогда, когда напряженность электрического поля в переходе возрастает настолько, что становится возможным туннельный переход элект рона из валентной зоны р-области непосредственно в зону про водимости /г-области (рис. 3-19).
Туннельный пробой наблюдает |
|
|
|
|
|||||||
ся у приборов |
с узким |
переходом, |
|
|
|
|
|||||
изготовленных |
из |
ннзкоомиого |
|
|
|
|
|||||
полупроводника с удельным сопро |
|
|
|
|
|||||||
тивлением |
|
|
р ^ |
0,1—0,5 ом-см |
|
|
|
|
|||
[Л. 31]. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Энергетическая диаграмма р-п |
|
|
|
|
|||||||
перехода |
при |
туннельном |
пробое |
|
|
|
|
||||
показана на рис. 3-19. |
С |
увеличе |
|
|
|
|
|||||
нием напряжения смещения энер |
Рпс. 3-19. Энергетическая |
диаг |
|||||||||
гетические |
зоны |
искривляются |
|||||||||
рамма, |
иллюстрирующая |
тун |
|||||||||
так, что энергия электронов, нахо |
нельный |
переход |
электрона пз |
||||||||
дящихся |
в |
связанном |
состоянии |
валентной зоны в области р в зону |
|||||||
в области р , становится такой же, |
проводимости области п. |
|
|||||||||
как и энергия свободных электро |
|
|
|
|
|||||||
нов в области п. Если переходный слой оказывается |
сравнительно |
узким, то возможен переход электрона из валентной зоны непо^ средственно в зону проводимости. Это и есть туннельный эффект, который приводит к увеличению тока.
Напряжение туннельного пробоя для германиевых приборов определяется формулой (3-19а), а для кремниевых — формулой (3-196):
/7 т у н |
= 9,9рп + |
48Рр; |
(3-19а) |
£ / т у н |
= 39рп + |
8рр. |
(3-196) |
Здесь рп и рр — удельные сопротивления областей п и р . Напряжение туннельного пробоя уменьшается с повышением
температуры вследствие изменения ширины запрещенной зоны. При увеличении температуры ширина запрещенной зоны умень шается. Уровни энергии электронов в зоне проводимости и в валент ной зоне выравниваются при меньших напряжениях. Туннельный переход становится возможным при более низких напряжениях.
Поверхностный пробой [Л. 26] возникает в тех областях полу проводниковых кристаллов, где переходный слой выходит иа
71
поверхность. Этот вид пробоя обусловлен возрастанием напряжен ности поля из-за действия заряда адсорбированных ионов иа поверх ности кристалла. Поэтому в слоях перехода, непосредственно примыкающих к поверхности, пробой происходит при сравнительно низких напряжениях смещения. Соответствующей обработкой поверхности полупроводника можно исключить возникновение поверхностного пробоя.
Тепловой пробой. Явление теплового пробоя связано с нару шением теплового баланса в кристалле [Л. 32]. При прохождении обратного тока в переходе выделяется определенная тепловая энер гия, мощность которой Р = С/ц-^обр- Если выделяемое тепло пре вышает тепло, отводимое от перехода, то температура перехода начинает повышаться и увеличивается тепловой ток. В свою оче
редь с ростом теплового тока возрастает количество |
выделяемого |
|||||
|
Рис. |
3-20. |
Образова |
|||
|
ние |
|
вольт-амперной |
|||
|
характеристики |
с |
от |
|||
|
рицательным |
|
накло |
|||
Т=270" |
ном |
|
при |
тепловом |
||
пробоо. |
|
|
|
|||
|
о — электрическая схема |
|||||
|
подключения |
напряже |
||||
|
ния |
к |
р-п |
переходу; |
||
|
б — вольт-амперные |
ха |
||||
|
рактеристики р-п пере |
|||||
|
хода, |
|
иллюстрирующие |
|||
|
образование |
участка |
с |
|||
|
отрицательным |
накло |
||||
|
ном при тепловом пробое. |
тепла, а следовательно, еще больше становится величина тока, протекающего через переход, и т. д. Наступает тепловая неустой чивость, которая приводит к разогреву перехода, в результате чего возникает лавинообразное увеличение обратного тока, при водящее к тепловому пробою.
При тепловом пробое иа вольт-амперной характеристике р-п |
перехода |
||||||||||||||||
обычно образуется участок с отрицательным наклоном. На |
рис. |
3-20 |
приве |
||||||||||||||
дены вольт-амперные характеристики |
р-п перехода |
для |
разных |
температур, |
|||||||||||||
с помощью которых можно объяснить |
образование |
участка |
с |
отрицательным |
|||||||||||||
наклоном. Если |
к |
р-п |
переходу |
подключить |
источник |
напряжения |
t/D H |
||||||||||
(рис. 3-20, а), величину которого можно |
менять плавно, |
н снять |
зависимость |
||||||||||||||
протекающего через переход тока / от напряжения |
U, |
то можно |
|
наблюдать |
|||||||||||||
следующее. Прп сравнительно иизкпх напряжениях температура |
перехода |
||||||||||||||||
остается постоянной |
и |
зависимость |
I = |
F (U) |
совпадает с |
|
вольт-амперной |
||||||||||
характеристикой для комнатной температуры (см. пуиктпр |
на рис. 3-20, 6). |
||||||||||||||||
При некотором |
напряжении |
U вследствие |
потери |
устойчивости |
теплового |
||||||||||||
режима происходит нарастание тока и рабочая точка смещается |
с |
харак |
|||||||||||||||
теристик, снятых при Т = 300 °К, на характеристики, снятые при |
больших |
||||||||||||||||
температурах. Это смещение |
происходит |
по линии, наклон которой |
определе- |
||||||||||||||
ляется сопротивлением R, включенным последовательно |
с |
источником |
и в а . |
||||||||||||||
Необходимо отметить, что участок с отрицательным |
наклоном |
имеет |
опре |
||||||||||||||
деленный наклон, поэтому при снятии зависимости / |
= |
F (U) |
требуется |
впол |
|||||||||||||
не определенная |
величина сопротивления |
R. |
Если это |
сопротивление |
сравип- |
72
тельно велико, то при некоторой температуре устанавливается тепловой баланс, мощность, выделяемая на переходе, перестает возрастать, и дальнейшее нара стание тока прекращается. При сравнительно малых значениях сопротивле
ния R возникает генерация, затрудняющая |
достоверное определение |
участка |
|||
с отрицательным наклоном. |
|
|
|
||
Различают два вида |
тепловых |
пробоев: |
|
||
1. Повышение температуры приводит к увеличению обратного тока и |
|||||
смещению |
рабочей точки в область вольт-амперной характеристики, |
соответ |
|||
ствующей |
электрическому |
пробою |
(рис. |
3-20, б).' Этот случай возможен |
вприборах с туннельным пробоем.
2.Из-за тепловой неустойчивости температура перехода, непрерывно
возрастая, достигает критической Г К р , при которой наступает вырождение полупроводникового кристалла. При этом ток через переход резко возрастает, так как вырожденный р-п переход не обладает выпрямляющими свойствами.
Критическая температура перехода определяется для германиевых кри сталлов эмпирической формулой (3-20а), а для кремниевых — (3-206) [Л. 32]:
^ = Т о Ж ? й Г р ' £ К - |
^ |
Вольт-амперная характеристика при отпирающем смещении. Модуляция объемного сопротивления. Диффузионное падение напряжения
При отпирающем смещении ток р-п перехода обычно много больше, а падение напряжения на переходе, как правило, много меньше, чем при запирающем смещении. При прямом включении максимальная величина напряжения на переходе Ua не может превышать контактную разность потенциалов (срк = 0,3 н- 0,9 в). При обратном же смещении максимальное напряжение опреде ляется напряжением пробоя, величина которого может составить сотни и тысячи вольт.
Поскольку прямой ток сравнительно велик, а напряжение мало, то током утечки можно пренебречь и представить общий ток сум
мой трех слагаемых: |
|
' = ' » ( » p 4 - « ) + / . ( « , i - i ) + |
|
+ / » ( в - " р ^ - 1 ) . |
<3 -2 1 > |
где то — эмпирический коэффициент, величина которого меньше единицы.
С изменением напряжения доля этих составляющих в общем токе существенно меняется, поэтому целесообразно рассматри вать отдельно области малых, средних и больших токов.
Область малых токов. В этой области можно пренебречь паде нием напряжения в объеме полупроводника и считать, что напря жение, приложенное к электродам прибора, почти полностью падает на собственно переходе: Un = U. Область малых токов соответ-
73
ствует низкому уровню инжекции, когда ток рекомбинации — гене рации и канальный ток оказывают существенное влияние. Суммар ный ток определяется сравнительно сложным соотношением (3-21). Для практических расчетов предпочтительно более простое ана литическое выражение, позволяющее приближенно рассчитать реальную вольт-амперную характеристику р-п перехода:
то ехр тсрт |
1 |
(3-22) |
В этом выражении 1т0 и m — средние значения теплового |
тока |
и коэффициента в степени экспоненты, с помощью которых учиты вается влияние всех слагаемых тока, протекающего через переход.
|
|
|
|
|
|
Средние |
значения |
|
|
теплового |
||||||
|
|
|
|
|
|
тока и коэффициента m зависят |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
от |
температуры |
и |
|
напряжения |
||||||
|
|
|
|
|
|
смещения. При |
низких |
смеще |
||||||||
|
|
|
|
|
|
ниях 1т0 |
> ITD И m > |
1 (так как |
||||||||
|
|
|
|
|
|
m r |
> l , m c > l |
и только ягг> = 1). |
||||||||
|
|
|
|
Область сред |
По |
мере |
увеличения |
смещепия |
||||||||
|
|
|
|
них |
тонов |
и температуры перехода |
умень |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
шается |
доля |
тока |
|
рекомбина |
||||||
|
|
|
|
|
|
ции — генерации |
и |
|
канального |
|||||||
|
|
|
|
|
|
тока, поэтому |
средние |
значения |
||||||||
|
|
|
|
|
|
теплового тока |
и |
коэффициен |
||||||||
|
|
|
|
|
|
та |
тп, уменьшаясь, |
|
стремятся |
|||||||
|
|
|
|
|
|
к своим |
значениям, |
определяе |
||||||||
|
|
|
|
|
|
мым диффузионным |
тепловым |
|||||||||
Рпс. 3-21. |
Вольт-амперная |
характе |
током, |
т. е. 1т0 |
|
|
I T D , |
m «=« 1. |
||||||||
ристика р-п перехода, |
построенная |
|
В |
германиевых |
приборах |
при |
||||||||||
в |
полулогарифмическом |
масштабе. |
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
комнатной и повышенной |
температу |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
рах тепловой ток в основном носит |
||||||||||
диффузионный |
характер, |
поэтому, |
как |
показывают |
измерения |
[Л. |
33], |
|||||||||
ITO |
«s ITD; |
m = |
1,05 «= 1,1. У кремниевых приборов эти соотношения спра |
|||||||||||||
ведливы для температур, |
превышающих 100—120° С. При меньших |
темпера |
||||||||||||||
турах 1 Т о |
значительно больше I T D , |
а коэффициент m = |
1,6 Ч- 1,8. |
|
Средние значения теплового тока и коэффициента m можно определить, построив вольт-амперную характеристику р-п перехода в полулогарифми ческом масштабе (рис. 3-21) (7М — масштабный ток). При значениях U, состав
ляющих несколько единиц ф г и более, она будет представлять прямую лпнию с наклоном пмрт. Продолжив линейный участок вольт-амперной характерис
тики до пересечения с осью абсцисс, в точке пересечения получим среднее значение теплового тока ITQ.
Область средних токов. При увеличении напряжения смеще ния доля рекомбинационного и канального токов уменьшается по сравнению с диффузионным током ID- Поэтому в области средних токов вольт-амперную характеристику можно описать известным для идеального р-п перехода соотношением
TD /ехр
74
Отличительной особенностью реального р-п перехода является то, что падение напряжения на переходе Un не равняется внешнему напряжению U, приложенному к выводам прибора. При средних уровнях инжекции сказывается влияние падения напряжения на объемных сопротивлениях базы гд и эмиттера г'3:
Uo6 = Ir6 + Ir'a,
поэтому
Un=U-Uo5.
Учитывая, что обычно гб ^> г'ь, реальную вольт-амперную характеристику р-п перехода можно описать формулой
Область больших токов. При работе в этой области рекомбииационным и канальным токами можно тем более пренебречь. Ток, протекающий через переход, практически определяется диф фузионными составляющими. Существенно возрастает роль паде ния напряжения в объеме полупроводника: падение напряжения на переходе Un, приближаясь к контактной разности потенциалов фд, меняется незначительно, и почти все внешнее напряжение падает
в объеме, т. е. |
U |
С/0б- |
Характерной |
особенностью работы при больших токах, соот |
ветствующих высоким уровням инжекции, является то обстоятель ство, что концентрация неосновных носителей заряда становится сравнимой с концентрацией основных носителей заряда, так как уровень избыточных носителей, инжектируемых в данную область, заметно повышается. При этом усиливается и инжекция основных носителей, что приводит к снижению эффективности эмиттера.
Действительно, в р^-п переходе, преодолевая барьер |
с высотой |
фд — Un, из базовой области /г-типа в область р-типа |
переходят |
электроны, концентрация которых составляет: |
|
п р = я „ е х р ( - ^ ^ ) , |
(3-24) |
а из области эмиттера в базу переходят дырки с концентрацией
Рп = Р Р е х р ( - ^ = ^ ) . |
(3-25) |
При низких и средних уровнях инжекции концентрации основ ных носителей мало отличаются от своих равновесных значений,
т. е. пп |
тг,10 |
и |
р р ^ |
р р 0 . |
Поэтому |
отношение электронного и |
дырочного |
токов |
инжекции |
определяется отношением донорных |
|||
и акцепторных |
примесей: |
|
|
|||
|
|
|
Jji |
npLn |
nnpLn |
NnLn |
|
|
|
Ip |
Рп^р |
PpoLp |
NpLp ' |
75
При высоких уровнях инжекции концентрация неосновных и основных носителей заметно превышает свое равновесное значе ние. При этом концентрацию неосновных носителей можно выра зить через их равновесное значение, введя в степень экспоненты коэффициенты тп и тр, представив соотношеиия (3-24) и (3-25) в виде
пр - — |
пп0 ехр |
= |
— |
n 0 ехр — = ?гр0 ехр |
— - ; |
|
"•„О |
\ |
ФТ / |
"„ о |
ФГ |
н |
'» П ФТ |
|
|
|
|
|
|
Рп = — Рро ехр |
|
= ~р- рп0 |
ехр — = рп0 |
ехр —— . |
Рро |
\ |
Фг / Рро |
Фт |
тР(Рт |
Тогда электронная и дырочная составляющие токов инжекции определяются формулами:
^ ~ ^ р ( е х Р - 1 ) - **Р е х Р ^ • (З - 2 6 6 )
Отношение этих токов |
равно: |
|
|
||
Jji^Jpb ехр |
1 |
1_ |
^ M I L |
е х р Г - ^ О - - J _ \ l |
|
|
р |
||||
|
|
NPLP |
[ Ф т \W « |
"У_' |
|
Значения коэффициентов mn |
и ягр приводились в виде графиков |
на рис. 2-3 (см. § 2-5). Из графика следует, что при одном и том же значении напряжения Un большую величину имеет коэффициент,
характеризующий область |
с |
низкой |
концентрацией |
примеси |
||||
(т. е. область базы). Поэтому |
с увеличением |
напряжения смеще |
||||||
ния отношение |
токов |
I J |
I p |
возрастает. |
|
|
||
При высоких уровнях инжекции суммарный ток, протекающий |
||||||||
через |
переход, |
можно |
определить по |
приближенной |
формуле: |
|||
/ = / п + |
/ р я « / Т п е х р ^ + |
/ Г |
р е х р ^ ^ / г |
д е х р ^ > |
(3-27) |
|||
где то — эмпирический |
коэффициент (пю < |
1)- |
|
Вольт-амперная характеристика р-п перехода при больших токах определяется главным образом падением напряжения в объе ме полупроводника. В общем случае это падение напряжения скла дывается из двух составляющих х :
Uo5 = (' Е d I = ( 1 dl + e( Д р ^ - Д п ^ а а г с
Первая |
составляющая, |
пропорциональная плотности |
тока |
/ = /„ + /р , |
является омическим падением напряжения и |
опре- |
|
1 Формулу (3-28) можно |
получить, выразпв напряженность поля Е |
||
через соответствующие параметры при помощи уравнения плотности |
тока. |
76
деляется электропроводностью полупроводникового материала
|
а = |
\.ipep + цпеп. |
(3-29) |
|
Вторую |
составляющую |
|
|
|
|
ио6.тф = е{ |
D P ^ d P - D n g r , d n d l |
||
|
даф |
J |
црер + цпеп |
• |
называют |
диффузионным |
(демберовским) |
падением напряжения |
[Л. 34]. Это напряжение определяется электрическим полем, которое обусловлено появлением заметного перепада концентрации основ ных носителей заряда. При высоких уровнях инжекции диффу зионное падение напряжения достигает значительной величины и при токах, граничащих с предельно допустимым уровнем в им пульсе, становится определяющим.
При высоких уровнях инжекции электропроводность а и соответственно объемное сопротивление полупроводника меняются с изменением уровня инжекции. По мере повышения уровня инжек ции увеличивается концентрация носителей заряда, поэтому возрастает электропроводность [см. выражение (3-29)], а следо вательно, уменьшается объемное сопротивление. Происходит модуляция объемного сопротивления, что особенно заметно про является в базовой области.
В области больших токов для практических расчетов обычно используется экспериментально снятая вольт-амперная характери стика. Аналитическое определение этой характеристики в рас сматриваемой области связано с существенными затруднениями, так как требует учета дополнительных эффектов (увеличение потока основных носителей; диффузионное падение напряжения; модуля ции объемного сопротивления), которые трудно поддаются расчету.
3-6. ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭЛЕКТРОННО-ДЫРОЧНОГО ПЕРЕХОДА В ОБЛАСТИ ВЫСШИХ ЧАСТОТ
Рассмотрим амплитудно-частотную и фазочастотную характе ристики электронно-дырочного перехода (рис. 3-22). Эти харак теристики определяют зависимость амплитуды и фазы приложенно го к элементам прибора синусоидального напряжения U (/со) от час тоты тока синусоидальной формы, амплитуда которого поддержи вается постоянной. При снятии частотных характеристик амплиту ды синусоидальных составляющих тока и напряжения выбирают столь малыми (по сравнению с постоянными составляющими, обес печивающимися источником постоянного напряжения), чтобы можно было пренебречь высшими гармониками, которые появ ляются неизбежно из-за нелинейности вольт-амперной характери стики р - п перехода.
Как видно из частотных характеристик, представленных на рис. 3-22, в области высших частот происходит уменьшение ам плитуды синусоидального напряжения и появляется савиг фазы
77
этого напряжения относительно фазы тока. Эти искажения свиде тельствуют о реактивном действии электронно-дырочного перехода. Разумеется, реальные приборы обладают паразитными конструк тивными емкостями и индуктивностями вводов, которые таже яв ляются причинами частотных искаже ний. Однако объяснить наблюдаемые на практике искажения амплитуды и фаз напряжения, приложенного к р-п переходам, действием только паразит ных реактивностей не удается. Эти иска жения в значительной мере обуслов лены влиянием зарядной и диффузион-
пой емкости р-п перехода.
|
|
Зарядная емкость |
р-п перехода |
|
|
Рис. 3-22. Амплитудно-ча |
При |
изменении напряжения на |
пе |
||
стотная и |
фазочастотпая |
||||
характеристики электрон |
реходе |
изменяется |
ширина переход |
||
но-дырочного |
перехода. |
ного слоя, который представляет собой |
|||
|
|
область, |
обедненную |
подвижными |
но |
сителями заряда. Например, с увеличением запирающего напря жения переходный слой расширяется (рис. 3-23). Прп этом под действием вновь образовавшегося электрического поля часть подвижных носителей удаляется из слоев, прилегающих к пере ходу как со стороны области р , так и со стороны области п. На рис. 3-23 эти слои находятся между штриховыми линиями,
представляющими собой первоначальные границы |
переходного |
|
Ток смещения |
|
|
Рис. |
3-23. |
Образова |
ние |
тока |
смещения |
в переходном слое прп |
||
изменении |
объемного |
|
заряда. |
|
слоя, и штрихпунктирными линиями, разграничивающими пере ходный слой при увеличенном смещении. Во время передвижения носителей заряда, рассасывающихся из прилегающих к переходу слоев, образуются направленные потоки и соответственно токи: дырочный в области р и электронный в области п. Внутри переход ного слоя линии тока замыкаются посредством токов смещения, образуя замкнутые линии тока заряда или разряда переходного слоя. Таким образом, подобно конденсатору р-п переход заряжается или разряжается, вызывая изменение тока перехода. Величина
78
тока смещения, протекающего через переход, определяется изме нением заряда обедненного слоя Qn, т. е.
" с - 3 ~ dt •
Поскольку при изменении заряда Qn р-п переход ведет себя как конденсатор, обкладками которого являются границы перехода, то естественно определять ток разряда или заряда как
. _ r |
dUn |
|
' С . З — ^ П . З fa • |
|
|
Емкость такого конденсатора будет определяться соотношением |
||
ь™=ШГп- |
"¥7"» |
V-a(}> |
где S n и Wn — соответственно |
площадь и ширина |
переходного |
слоя. Это и есть зарядная емкость перехода. Ее иногда называют барьерной емкостью, тем самым подчеркивая, что ее действие свя зано с образованием барьера на границе областей р ж п.
Как известно, ширина переходного слоя зависит от напряжения сме щения на переходе Un. Эту зависимость можно представить в следующем виде:
Wn=Wn0(i-^LT0, |
(3-31) |
где Wao — ширина переходного слоя в равновесном состоянии (при Un = 0); пс — коэффициент, зависящий от распределения объемного заряда в переход
ном слое.
Если область, в которой происходит изменение концентрации примесей, занимает ничтожную часть переходного слоя, то такой переход называется ступенчатым или резким, и для него коэффициент пс = 1/2 [Л. 18]. Ступен
чатый переход образуется в приборах, изготовленных сплавлением шш двой ной диффузией.
Если же область изменения концентрации прпмесей занимает большую часть переходного слоя, то такой переход называется линейным или плавным, и для него коэффициент п с = 1/3. Плавный переход получается в выращен ных и диффузионных электронно-дырочных переходах.
Подставив выражение (3-31) в соотношение (3-30), получим формулу для определения зарядной емкости перехода
^п.в = 7 Cnj/^\n„ • |
(3-32) |
где Сц.з о — величина зарядной емкости в равновесном состоянии. |
|
Можно показать [Л. 23], что для ступенчатых переходов |
|
' Cu.zo= S u y ^ ^ - , |
(3-33а) |
а для плавных |
|
С п . 3 0 = ^ п у / " | ^ - . |
(З-ЗЗб) |
79