Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Игумнов.pdf
Скачиваний:
541
Добавлен:
11.03.2016
Размер:
3.94 Mб
Скачать

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1.Степаненко, И. П. Основы микроэлектроники / И. П. Степаненко. – М.: Лаборатория базовых знаний, 2000. – 488 с.

2.

Россадо,

Л.

Физическая электроника и

микроэлектроника

/

 

Л. Россадо. – М.: Высшая школа, 1991. – 351 с.

 

3.

Новиков,

В.

В. Теоретические основы

микроэлектроники

/

 

В. В. Новиков. – М.: Высшая школа, 1972. – 352 с.

 

4.Павлов, П. В. Физика твердого тела / П. В. Павлов, А. Ф. Хохлов. – М.: Высшая школа, 2000. – 494 с.

5.Пихтин, А. Н. Оптическая и квантовая электроника / А. Н. Пихтин.

– М.: Высшая школа, 2001. – 573 с.

6.Блохинцев, Д. И. Основы квантовой механики / Д. И. Блохинцев. – М.: Высшая школа, 1961. – 512 с.

7.Бондарев, Б. В. Курс общей физики. В 3 кн. Кн. 2. Электромагне-

тизм. Волновая оптика. Квантовая физика / Б. В. Бондарев, Н. Л. Калашников, Г. Г. Спиркин. – М.: Высшая школа, 2003. – 438 с.

8.Бондарев, Б. В. Курс общей физики. В 3 кн. Кн. 3. Термодинамика. Статическая физика. Строение вещества / Б. В. Бондарев, Н. Л. Калашников, Г. Г. Спиркин. – М.: Высшая школа, 2003. – 366 с.

9.Епифанов, Г.И. Физические основы микроэлектроники / Г. И. Епифанов. – М.: Современное радио, 1971. – 376 с.

10.Интегральные схемы и микроэлектронные устройства на сверхпроводниках / В. Н. Алфеев, А. А. Васенков, П. В. Бахтин и др. – М.: Радио и связь, 1985. – 232 с.

11.Игумнов, В. Н. Физические основы микроэлектроники: практикум / В. Н. Игумнов. – Йошкар-Ола: МарГТУ, 2008. – 188 с.

12.Игумнов, В. Н. Основы высокотемпературной криоэлектроники / В. Н. Игумнов. – Йошкар-Ола: МарГТУ, 2006. – 188 с.

13.Фистуль, В. И. Введение в физику полупроводников / В. И. Фистуль. – М.: Высшая школа, 1975. – 296 с.

14.Киреев, П. С. Физика полупроводников / П. С. Киреев. – М.: Выс-

шая школа, 1975. – 584 с.

15.Епифанов, Г. И. Физика твердого тела / Г. И. Епифанов. – М.: Высшая школа, 1975. – 288 с.

16.Щука, А. А. Функциональная электроника / А. А. Щука. – М.:

МИРЕЭ, 1998. – 260 с.

17.Гуртов, В. А. Твердотельная электроника / В. А. Гуртов. – М.: Тех-

носфера, 2005. – 408 с.

287

18.Пека, Г. П. Физика поверхности полупроводников / Г. П. Пека. – Киев: Изд-во Киевского университета, 1967. – 320 с.

19.Технология тонких пленок. Т.1 / под ред. Л Майссела, Р. Гленга. – М.: Современное радио, 1977. – 664 с.

20.Технология тонких пленок. Т.2 / под ред. Л Майссела, Р. Гленга. – М.: Современное радио, 1977. – 768 с.

21.Технология толстых и тонких пленок / под ред. А. Ресмана, К. Ро-

уза. – М.: Мир, 1972. – 174 с.

22.Драгунов, В. П. Основы наноэлектроники / В. П. Драгунов, И. Г. Неизвестный, В. А. Гридчин. – Новосибирск: Изд-во НГУ,

2000. – 332 с.

23.Кравченко, А. Ф. Физические основы функциональной электроники / А. Ф. Кравченко. – Новосибирск: Изд-во НГУ, 2000. – 444 с.

24.Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам: сб. статей. – М.: Техносфера, 2005. – 592 с.

25.Миронов, В. Л. Основы сканирующей электронной микроскопии / В. Л. Миронов. – М.: Техносфера, 2004. –144 с.

288

АЛФАВИТНО-ПРЕДМЕТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ

А

Ааронова-Бома закон 271 Адсорбция 208, 209 Акустоэлектроника 260, 261 Атом водородоподобный 51-53 Атомы многоэлектронные 54

Б

Базисный вектор 17-19

Бозоны 62, 63, 71

В

Взаимодействие обменное 120 Волна де Бройля 39, 40

– монохроматическая 42 Время восстановления обратно-

го сопротивления 178, 179

жизни неравновесных носите-

лей 134, 137, 138

релаксации 134,145,146

Вырождение 63 Вырожденный газ 70

коллектив 63, 64

полупроводник 93, 94, 110 Вырождения критерий 63, 70

Г

Газ идеальный 58, 65 Генерация носителей заряда 88,

89, 91, 92, 132

Гетеропереход 180-183

Д

Дефекты по Френкелю 26, 27 Динамические неоднородности

258

Диод диэлектрический 246

– резонансный 248

Дисперсии закон 43, 44 Дисперсионная кривая 22,

23, 144

– формула 44 Диффузионная длина носителей

заряда 135 Длина поглощения 245

Е

Емкость барьерная 179

– диффузионная 178, 179

З

Зона валентная 82, 87

запрещенная 82, 87

поверхностная 208, 210

примесная 110

проводимости 82, 87 Закон действующих масс 108

термодинамики 57, 58

Френкеля 149, 150

И

Излучение индуцированное 200

спонтанное 201 Индексы Миллера 19

направления 20

плоскости 20

узла 20

Инжекция неосновных носите-

лей 159, 167, 173, 200

Интерферометр Ааронова-Бома

271

Ионизация термоэлектронная

149, 150

ударная 149, 150

электростатическая 150

289

К

Квантовое число 52-54

главное 52

магнитное 53

орбитальное 52

спиновое 53 Квантовые точки 264, 273 Квантовые ямы 264, 268 Квантовый выход 145

генератор 200-201

Контакт двух металлов 160, 161

нелинейный 158

омический 158

полупроводника и металла

162-165

Контактная разность потенциа-

лов 161, 164, 170

Коэффициент диффузии 139, 140 Критерий невырожденности

идеального газа 63, 70

Л

Лазеры 201-203

Лазерные гетеропереходы 180, 181, 203

М

Магнетоэлектроника 260-261 Масса эффективная 83-85 Методы вытягивания 168

диффузионный получения p-n–перехода 168

сплавления 168

Модель Кронига-Пенни 77, 78

Н

Нанотехнологии 265-267 Наноэлектроника 263-268, 276

290

Носители заряда избыточные

133-135

основные 105-109

неосновные 108, 109 Напряжение пробоя 175, 177,

178

Невырожденный газ 70

коллектив 63, 64

полупроводник 100, 110

О

Область инверсии 212-213

обеднения 162-164

обогащения 164

Ограничения микроэлектроники технологические 256, 257

– физические 255, 256 Оптоэлектроника 196, 198, 260,

261

Осциллятор линейный гармонический 49, 50

– нормальный 22, 23

П

Переход p-n 168-170

– p+-p 222

Переходы прямые 142 Плотность состояний 61, 62, 64 Поверхностный потенциал 212 Подвижность носителей 100-103 Полупроводник дырочный 91,

92

компенсированный 93

собственный 87, 88

электронный 90, 91 Потенциальная яма 45, 46, 268 Потенциальный барьер 47-48,

268

Приближение адиабатическое

78

одноэлектронное 78

свободных электронов 79

сильносвязанных электронов

78

слабосвязанных электронов

78

Примеси акцепторные 91, 92

донорные 90-92 Принцип Паули 54 Пробой лавинный 178

поверхностный 224

полупроводника 150

тепловой 178

туннельный 177 Проводимость дырочная 111, 113

темновая 145, 146

электронная 111, 112

Р

Работа выхода 159, 160 Раствор внедрения 27

замещения 27 Рекомбинации коэффициент

135

поверхностная скорость 138

скорость 135-137

ток 214

Рекомбинация избыточных носителей 133-137

поверхностная 138

Релаксация 97, 101, 102, 146

Решетка кристаллическая 17

Бравэ 17-20

с базисом 17, 19

С

Светодиод 197, 198 Скорость групповая 21, 22

– фазовая 21, 22

Слой антизапорный 164

запорный 162, 163 Спин электрона 53

Спиновое квантовое состояние

53

Среды двумерные 264, 268, 269

континуальные 258, 259, 261

нульмерные 264, 275-277

одномерные 264, 268 Стабилитроны 178 Статистика Бозе-Эйнштейна 71,

72

квантовая 64

классическая 64

Максвелла-Больцмана 65, 66

фермионов 62, 63

Ферми-Дирака 67, 68

Т

Ток диффузионный 139, 140

насыщения 175, 176

омический 139

проводимости 173 Термисторы 113 Термосопротивления 114 Транзистор

канальный 222

на горячих электронах 249, 250

полевой 220-222

p-n-i-p 222

Триод тонкопленочный 248 Туннельный диод 246, 247

– эффект 47, 48

У

Уравнение волновое Шредин-

гера 41, 46, 48

непрерывности 139

Пуассона 163, 170

291

– Эрмита 50 Уровни акцепторные 91, 92

донорные 90, 92

поверхностные 208, 209

прилипания 92

примесные глубокие 93

Тамма 208

Ферми 67, 105-109

Ф

Ферми температура 72

уровень 67, 105-109

энергия 67-70 Фононы 23, 24

Формула Холла-Шокли-Рида

137

Ричардсона 166

Фотодиод 192-194 Фотопроводимость 142-144 Фототранзистор 196 Фотоэлемент 193 Фотоэффект внутренний 140

Функциональная электроника

258-263

Функция Блоха 79

Бозе-Эйнштейна 71, 72

волновая 41, 42

нормированная 41

собственная 42

Х

Химический потенциал 60, 65, 67

292

Ц

Центры прилипания 92

– рекомбинации 137, 138

Э

Экситон 143 Экстракция неосновных носи-

телей 173, 180

Электроны горячие 147, 244, 245

Элемент активный пленочный

246, 250

Эмиссия термоэлектронная 159, 166

Энергия нулевая 50, 51

осциллятора средняя 50

термодинамическая 58, 59

Ферми 67-70

Энтропия 59 Эффект Ааронова-Бома 271

Ганна 153-155

Зинера 149-161

сильного поля 147-150

Силсби 118

Я

Ячейка кристаллическая базоцентрированная 18

гранецентрированная 18

объемноцентрированная 19 Ячейки элементарной пара-

метры 19