книги из ГПНТБ / Богатырев Ю.К. Импульсные устройства с нелинейными распределенными параметрами
.pdfна рис. 3.11. На рис. 3.11,а напряжение смещения для туннельного диода снимается с резистора R1 делителя R1—R2, включенного в каждое звено линии-резонато ра. Величина сопротивления Ri выбирается обычно много меньшей, чем внутреннее сопротивление тун нельного диода в рабочей точке, а величина R2 — мно го большей волнового сопротивления линии ро. В схе ме рис. 3.11,6 напряжение смещения берется с рези стора R1, включенного последовательно с индуктив ностью каждого звена.
В обоих случаях резистор смещения R1 вносит дополнительные высокочастотные (рис. 3.11,о) или низкочастотные (рис. 3.11,6) потери в резонатор. Это приводит к различному распределению энергии между спектральными составляющими генерируемых колеба ний и, следовательно, к изменению формы этих коле баний по сравнению с формой колебаний генератора с аналогичным резонатором, но с иной схемой вклю чения туннельных диодов (например, схемой включе ния туннельного диода параллельно емкости звена,
вкоторой резисторы делителя напряжения смещения отсутствуют (рис. 3.11,б).
Однако наибольшее влияние па форму колебаний
вэтих схемах оказывает не резистор R1, а способ включения самого активного элемента. При переходе
от одной схемы включения нелинейных элементов к другой вид дисперсионной характеристики волновой системы заметно изменяется. В результате меняется и форма колебаний одной и той же моды.
Так, в исследованной экспериментально [78] кольце вой автоколебательной системе, выполненной по схеме рис. 3.11,о, возбуждались и устойчиво существовали релаксационные колебания в виде стационарных бегу щих волн пилообразной формы. При этом среди воз
можных типов |
колебаний |
(мод) с длинами |
волн Х = |
|
= N/n(n= 1, |
2, |
3, .. ., N/2) |
существенно релаксацион |
|
ными были |
волны с длиной, соизмеримой |
с длиной |
160
граммы рис. 3.10,а, б). С практически высокой сте пенью точности форма колебаний в этом случае для всех типов волн совпадала с формой, получаемой от сложения бегущих навстречу друг другу волн пило-
Рис. |
3.13. |
Распределение |
Рис. 3.14. График относитель |
||||
амплитуды |
|
импульсных коле |
ного |
изменения длительности |
|||
баний |
в |
коротко |
замкнутом |
импульсов в кольцевом генера |
|||
активном |
отрезке |
с |
длинами |
торе от напряжения смещения |
|||
|
|
|
волн: |
|
|
на |
туннельных диодах: |
а ) Я-ЛГ; |
б ) |
Л=.У/2; |
в ) |
Я=ЛГ/4. |
О, Л — экспериментальные точки. |
образной формы, характерных для системы с анало гичной геометрией и структурой, но замкнутой в коль цо. Картина распределения импульсного напряжения вдоль линии повторялась число раз, совпадающее
сномером возбуждаемой моды (рис. 3.13) [79].
Втом случае, когда нелинейные активные элемен ты включены параллельно емкости ззена линии-резо натора, схема подачи напряжения смещения упроща ется. Напряжение смещения подается одновременно на все диоды через развязывающий высокочастотный
дроссель от источника постоянного тока, подключен ного, как правило, в одной точке к линии. Индуктив ное сопротивление звеньев обычно при постоянном токе весьма мало, поэтому напряжение на всех нели нейных элементах практически одинаково,
162
Надежность работы генератора, собранного по та кой схеме, хуже, чем надежность работы генераторов с нелинейными элементами, включенными параллель но катушке индуктивности. Здесь выход из строя (ча ще всего из-за электрического пробоя) хотя бы одного нелинейного элемента может вывести из нормального режима работы весь генератор, тогда как в ранее рас смотренных схемах выход из строя одного или даже нескольких нелинейных элементов лишь незначитель но скажется па работе генератора в целом. Это влия ние будет тем меньшим, чем большее число нелиней ных элементов будет включено в систему.
В волновых генераторах с нелинейными элемента ми, включенными параллельно емкости звеньев, фор ма генерируемых колебаний существенно другая. Так, в кольцевой системе с туннельными диодами колеба ния практически всех возбуждаемых типов имели фор му импульсов, близкую к прямоугольной [111].
Практически важным свойством такого генератора оказалась предсказанная теоретически возможность плавной регулировки длительности генерируемых им пульсов путем изменения величины напряжения сме щения на туннельных диодах. Диапазон регулировки длительности весьма широк. Например, длительность импульсов первой моды колебаний может быть изме
нена |
от минимальной, |
приблизительной |
равной |
(3 ...4)to, до максимальной |
(N—4)то (где То — посто |
||
янная |
времени звена, а /V— число звеньев |
линии). |
Характер изменения длительности импульсов на глядно показывает график зависимости отношения пе риода следования импульсов Т к длительности импуль са tu от напряжения смещения (/см (рис. 3.14). Из этой зависимости следует, что минимальная длитель
ность импульса составила |
одну |
шестую от длительно |
||||
сти |
периода, тогда как |
максимальная |
была |
близка |
||
к |
длительности периода |
(отношение |
T/tn |
близко |
||
к единице). Изменение |
формы |
импульсов при этом |
163
неодинаковы. Наиболее легко, как правило, возбуж дается и устойчиво существует первая мода, затем вторая, третья и т. д. Для выравнивания условий са мовозбуждения для всех мод необходимо применять специальные меры, которые обычно сводятся к вклю чению дополнительных элементов в звенья линии. Эти элементы (например, малые сопротивления R, вклю ченные последовательно с индуктивностью звеньев) должны изменять вид дисперсионной характеристики системы (вносить дополнительные частотнозависимые потери) таким образом, чтобы области параметров, при которых возможно возбуждение тех или иных мод, были близки.
Волновой генератор, выполненный в виде отрезка линии с туннельными диодами, включенными парал лельно емкости звеньев, также имеет ряд особенностей в режимах работы по сравнению с аналогичным гене ратором па туннельных диодах, включенных парал лельно индуктивности звена при одинаковых коэффи циентах отражения от концов резонатора. Так, при короткозамкнутых концах импульсы второго генера тора, как уже отмечалось ранее, являются результа том «сложения» двух релаксационных колебаний пилообразной формы и противоположной полярности, бегущих навстречу друг другу. При этом длительность их не зависит от напряжения смещения, т. е. не под дается простой регулировке. В первом же генераторе возбуждаются стоячие волны релаксационного типа, представляющие собой суперпозицию двух последова тельностей бегущих навстречу импульсов противопо ложной полярности, близких по форме к прямоуголь ным, с плавно регулируемой длительностью.
Когда концы резонатора разомкнуты, результирую щее колебание есть результат «сложения» импульсов одной полярности, бегущих от одного конца линиирезонатора к другому. Во времени эти колебания име ют вид последовательностей пар импульсов, расстоя
165
ратора. В жестком режиме колебания в системе воз никают только под действием внешней силы (импуль сов) определенной амплитуды и длительности. Харак терные параметры и зависимости импульсных колеба ний от режима работы генератора сохраняются таки ми же, как и в случае мягкого самовозбуждения.
Особо следует отметить, что переход с одного типа колебаний на другой устойчиво осуществляется при подаче внешнего (в том числе и синусоидального) сиг нала с периодом 7’к, близким пли равным периоду то го собственного типа колебаний, который необходимо возбудить в генераторе. После прекращения действия внешнего (управляющего) сигнала в системе продол жает устойчиво существовать тип колебаний, возбуж денный этим сигналом.
Перейдем теперь к конструкции активных |
систем |
|
с распределенными параметрами. Конструкции, тех |
||
нология изготовления и |
.'сновпые расчетные соотно |
|
шения волновых систем, |
используемых для формиро |
|
вания и генерирования перепадов (импульсов) |
напря |
жения с длительностью фронтов (10-9 .. . 10“10) с, от личаются весьма незначительно. Поэтому в дальней шем будем описывать эти системы, не останавливаясь каждый раз на их функциональном назначении.
Наибольший интерес с точки зрения практического применения в СВЧ диапазоне вызывают активные си стемы двух видов: распределенный туннельный диод и полосковая линия, периодически нагруженная ди скретными туннельными диодами.
Распределенный туннельный диод. В соответствии с технологией изготовления различают эпитаксиаль ный и планарный распределенные диоды [60], основан ные на использовании туннельного р—«-перехода между двумя длинными и узкими пластинами вырож денного полупроводника. Эпитаксиальный диод полу чают на основе р—«-перехода большой площади, изго товленного методом эпитаксиального наращивания.
1G7
Иа пластины германия «-типа толщиной ~ 400...
... 450 мкм, легированного мышьяком, с удельным сопротивлением ~ (6 ... 8) 10-4 Ом-см наращивались
слои германия /7-типа из раствора |
In + 3% Ga + 7% |
Ge. |
Наращивание производилось в |
направлении [111]. |
|
Толщина /7-слоя ~ 90 ... 120 мкм, |
а его удельное |
со |
противление ~ 40-10-4 Ом-см, что соответствует кон центрации атомов галлия —'1,5 -1020 см-3. Для изготов ления омических контактов па поверхность полупро
водниковых |
пластин осаждается никель (толщиной |
~ 1 мкм) и, |
после его вжигания, поверхность залужи- |
вается припоем на толщину порядка нескольких сотен микрометров. Далее, пластины разрезаются на длин
ные (15.. .20 |
мм) |
полоски шириной — 0,5 мм, |
а затем |
(для уменьшения |
ширины р—/г-перехода) |
боковая |
|
поверхность |
полоски сошлпфовывается до |
ширины |
150...250 мкм. В итоге получается волновая струк тура— линия полоскового типа с распределенным туннельным переходом (рис. 3.17).
Для изготовления планарного диода на пластине германия выращивается пленка окиси кремния, в кото рой методом фотолитографии вскрывается окно в виде полосы шириной 10. . .30 мкм. В открытое окно нано сится сплав олова с мышьяком. Затем проводят вплавление.
Кристалл германия с готовым р—«-переходом при паивается к керамическому держателю с контактными площадками и выводами. Затем выводы от «-области соединяются с контактными площадками. Длина та кого перехода может достигать 10 см (если он выпол нен в виде полукольца) или 1,5... 2 см (в виде по лоски), а ширина, по-видимому, может быть доведена до 2 ... 5 мкм. На частотах порядка 10ш Гц, соответ ствующих фронтам импульса длительностью 10-10 ...
. . К)-'11 с, глубина проникновения поля в такой полу проводник составляет примерно 15 мкм, поэтому тол щина исходной пластины германия не должна превы
168
шать этой |
величины. |
При й=10 мкм, |
d = 5 мкм и |
|
плотности |
туннельного |
тока /~ 104 |
А/см2 приближен |
|
ные параметры линии |
таковы: р ~6 |
Ом; |
R/gpl ^ 0,06; |
(г + г0)/„/£/2«0,35.
Эти оценки показывают, что линии с распределен ным туннельным р—«-переходом практически не обла дают заметным преимуществом по сравнению с ди-
Рис. 3.17. Структура полоско |
Рис. 3.18. Конструкция полоско |
|||
вого распределенного туннель |
вой линии с дискретным вклю |
|||
ного перехода: |
чением |
туннельных |
диодов: |
|
/ - - металл; 2— вырожденный полу |
I — |
прижимной винт; |
2— туннель |
|
проводник; 3— р—л-переход. |
ный |
диод: |
3— диэлектрик: 4— ме |
талл.
скретным туннельным диодом, у которого плотность тока / также ~ 104 А/см2 и, следовательно, неэффек тивны для формирования импульсов с фронтами коро че 10~10 с. Однако их достоинством является лучшая форма импульса (в частности, более плоская верши на) и слабая зависимость формы от параметров за пускающего сигнала [63].
Этот неутешительный результат является следст вием большой величины г0— эквивалентного сопротив ления продольных потерь, связанных с протеканием токов вдоль диода в плоскости, параллельной р—п- переходу. Для уменьшения г0 (устранения продольных токов) целесообразно «разрезать» р—«-переход на от дельные куски, т. е. по существу перейти к дискретной
1 |
169 |