Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
SZM_Nanoedyukator_II_Uchebnoe_posobie.pdf
Скачиваний:
178
Добавлен:
22.03.2016
Размер:
11.89 Mб
Скачать

СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II. Учебное пособие

Рис. 8-16. Окно настройки датчиков

2.Рассчитайте новые значения калибровочных параметров для каждой из осей по следующей формуле:

Scalenew = Scaleold r’ / r,

где:

Scalenew

– новое значение калибровочного параметра;

Scaleold

– старое значение калибровочного параметра;

r’

– высота (период) решетки по паспорту;

r – измеренная высота (период) решетки.

3.Измените калибровочные параметры для каждой из осей, Для этого: a. Щелкните на кнопке Счит ат ь .

b. Введите найденные значения калибровочных параметров в соответствующие поля строки З П.

c. Щелкните на кнопке З аписат ь .

Проверка калибровок

Просканируйте калибровочную решетку. Убедитесь, что калибровочные параметры подобраны правильно (измеренные значения периода и высоты решетки совпадают с эталонными).

8.4.Контрольные вопросы

1.Опишите устройство и принцип работы сканеров на основе пьезотрубок.

2.Для чего используются датчики положения сканера?

8-16

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]