Лабораторная работа № 5

Анализ результатов

1.Загрузите резонансные кривые и данные сканирования для обоих зондов в программу обработки Scan Viewer.

2.Определите добротность первого и второго зондового датчика. Для этого при помощи двойного маркера (устанавливается при нажатых клавишах <Ctrl+ >)

измерьте значение ширины резонансного пика ∆f на высоте, равной 0.7 от максимума. Вычислите величину добротности Q=fрез/∆f.

3.Проведите предварительную обработку изображений поверхности, полученных обоими зондами – выполните вычитание плоскости, поверхности.

4.С помощью метода Анализ сечений с усреднением получите профиль поверхности в направлении периодичности решетки.

5.Сравните профили для зондов, заточенных разными способами. Рассчитайте отношение ширины ступеньки к периоду решетки для обоих случаев.

5.4.Контрольные вопросы

1.Перечислите основные виды зондов, используемых в СТМ, и способы их изготовления.

2.Какие искажения изображения зависят от формы зонда.

3.Опишите устройство заточки СЗМ-зондов для прибора НАНОЭДЬЮКАТОР II. Расскажите о методе электрохимического травления.

5.5.Литература

Лит. 5-1. В.Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Учебное пособие для студентов старших курсов высших учебных

заведений. ИФМ РАН – г. Н. Новгород, 2004 г. – 110 с.

Лит. 5-2. P.M. Williams, K.M. Shakesheff et al. – Blind reconstruction of scanning probe image data. // J. Vac. Sci. Technol. B 14 (2) p. 1557-1562 (1996).

Лит. 5-3. А.А. Бухараев, Н.В. Бердунов, Д.В. Овчинников, К.М. Салихов – ССМ метрология микро- и наноструктур. // Микроэлектроника, т. 26,

№ 3, с. 163 -175 (1997).

Лит. 5-4. Васильев С.И., Савинов С.В., Яминский И.В. Зондирующие

эмиттеры для сканирующей туннельной микроскопии // Электронная промышленность , 1991, №3, с.42.

5-21

СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II. Учебное пособие

5-22