СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II. Учебное пособие

2.Травление данной заготовки производится в три этапа, на каждом из которых формируется одна из ступеней острия:

1-й этап: Включите травление на 20 секунд. После выключения немного опустите кольцо, повернув винт на четверть оборота против часовой стрелки.

2-й этап: Включите травление на 10 секунд. После выключения немного опустите кольцо, повернув винт на четверть оборота против часовой стрелки.

3-й этап: Включите травление, в течение травления плавно опускайте кольцо, поворачивая винт против часовой стрелки на 1/8 оборота. Время травления – 3–5 секунд, в результате нижняя часть проволоки должна оторваться.

3.По окончании травления промойте и просушите зонд. Вставьте зонд в измерительный вкладыш.

4.Снимите кольцо, ослабив винт в нижней части кронштейна (Рис. 5-28). Промойте кольцо водой.

винт с внутренним

шестигранником

Рис. 5-28

Подготовка к измерениям

1.Если этого не сделано ранее включите компьютер, СЗМ контроллер, запустите программу NanoEducator 2.

2.Установите на держатель образца тестовую решетку TGZ. При установке образца следует сориентировать его таким образом, чтобы направление

периодичности решетки совпадало с точностью до нескольких градусов с направлением одной из осей сканирования (X или Y).

ПРИМЕЧАНИЕ. Направление периодичности решетки TGZ перпендикулярно надписи.

3.Установите зондовый датчик в гнездо измерительной головки.

5-18

Лабораторная работа № 5

ВНИМАНИЕ! Во избежание поломки зонда перед установкой измерительной головки на базовый блок убедитесь, что образец переведен в крайнее нижнее положение. В противном случае зонд может сломаться о поверхность образца.

4.Убедитесь, что образец находится в крайнем нижнем положении. В противном случае, опустите образец, нажав кнопку окна подвода.

5.Установите измерительную головку на базовый блок. При установке головки рекомендуется контролировать положение зонда и образца по видеоизображению (окно видеокамеры открывается кнопкой ).

6.Переключите прибор в режим атомно-силового микроскопа (АСМ ). Проверьте, что обратная связь по X, Y датчикам перемещения включена (

).

Определение формы резонансного пика

Пик АЧХ должен быть симметричным, иметь гауссову форму. Амплитуда в максимуме должна составлять около 10 нА.

Если пик имеет недостаточную амплитуду, повторно просушите зонд, т.к. остатки влаги могут электрически шунтировать электроды пьезоэлемента.

Сохраните полученные данные (кнопка Со хранить кривые на дополнительной панели).

Рис. 5-29

5-19

СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II. Учебное пособие

видеокамеры расстояние между кончиком зонда и его отражением в образце было маленьким, но заметным.

3.Замкните цепь обратной связи ( ). Запустите процедуру подвода кнопкой . Дождитесь окончания подвода.

●Размеры области сканирования – 10×10 мкм;

●Число точек сканирования следует задать таким, чтобы шаг сканирования был меньше, чем ожидаемая величина радиуса закругления кончика зонда (<100 нм), например 256×256 точек. Чтобы задать число точек по каждой

из осей, в списке выбора единиц измерений параметра Раз мер выберите

тчк (Рис. 5-30).

Рис. 5-30. Выбор числа точек сканирования

●Скорость сканирования – 0,5 Гц (не более 1000 нм/с);

●Рабочая точка – 8.

●Усиление – 3;

●Направление сканирования выбирается таким образом, чтобы ось быстрого сканирования совпадала с направлением периодичности тестовой решетки.

5.Запустите сканирования кнопкой Пус к . В процессе сканирования подберите значения скорости, рабочей точки, усиления таким образом, чтобы ступеньки калибровочной решетки прописывались максимально хорошо.

6.Заново отсканируйте выбранный участок с подобранными значениями параметров.

7.Выключите обратную связь. Отведите зонд от образца на безопасное расстояние.

8.Снимите измерительную головку и замените зонд. При установке измерительной головки с новым зондом на базовый блок рекомендуется опустить образец, чтобы не повредить зонд.

9.Для второго зонда аналогичным образом определите резонансную частоту. Сохраните резонансную кривую. Отсканируйте образец.

5-20