- •2.1. Теория
- •Постоянная составляющая
- •Постоянный наклон
- •Неидеальность сканера, вычитание поверхности второго порядка
- •Шумы аппаратуры
- •Горизонтальные полосы на изображении
- •Линейные фильтры
- •Сглаживание
- •Градиентные фильтры
- •Фильтры резкости (Контрастирующие фильтры)
- •Нелинейные фильтры
- •2.1.4. Количественный анализ СЗМ изображений
- •Построение гистограммы изображения
- •Определение параметров шероховатости поверхности
- •Построение Фурье-спектра изображения
- •2.2. Порядок выполнения лабораторной работы
- •Задание 1. Планаризация изображения
- •Задание 2. Применение фильтров
- •Задание 3. Преобразование Фурье
- •Задание 4. Фурье-фильтрация
- •2.3. Контрольные вопросы
- •2.4. Литература
- •5. Изготовление зондов для СЗМ методом электрохимического травления
- •5.1. Теория
- •Зонды для туннельных микроскопов
- •Изготовление зондов методом электрохимического травления
- •Изготовление зондов методом перерезывания проволоки
- •Искажения, связанные с формой зонда
- •Устройство заточки зондов для СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II
- •Определение остроты зонда
- •5.2. Задание
- •5.3. Порядок выполнения лабораторной работы
- •Изготовление заготовки зонда
- •Подготовка к заточке
- •Заточка зонда
- •1-й способ (одноступенчатая заточка)
- •2-й способ (многоступенчатая заточка)
- •Подготовка к измерениям
- •Определение формы резонансного пика
- •Анализ результатов
- •5.4. Контрольные вопросы
- •5.5. Литература
- •6. Исследование поверхности твердых тел методами сканирующей туннельной микроскопии
- •6.1. Теория
- •Принцип работы сканирующего туннельного микроскопа
- •Факторы, влияющие на качество изображения в СТМ
- •Конструкция датчика туннельного тока СЗМ Наноэдюкатор II
- •6.2. Задание
- •6.3. Порядок выполнения работы
- •Подготовка прибора к работе
- •Определение максимального измеряемого тока
- •Определение величины минимального измеряемого тока
- •Получение рельефа поверхности методом постоянного туннельного тока
- •Подготовка к сканированию
- •6.4. Контрольные вопросы
- •6.5. Литература
- •7. Зондовая литография
- •7.1. Теория
- •7.1.1. Физические основы зондовой литографии
- •7.1.2. Виды зондовой литографии
- •7.1.2.1. СТМ литография
- •7.1.2.3. Силовая литография
- •7.2. Задание
- •7.3. Порядок выполнения лабораторной работы
- •Подготовка к работе
- •Предварительное сканирование
- •Подбор параметров литографии
- •Векторная силовая литография
- •Растровая силовая литография
- •Завершение работы
- •7.4. Контрольные вопросы
- •7.5. Литература
- •8. Калибровка сканеров
- •8.1. Теория
- •Устройство и принцип работы сканера на основе пьезотрубок
- •Сканирование
- •Сканеры с емкостными датчиками положения
- •Обратная связь по осям X и Y
- •8.2. Задание
- •8.3. Проведение лабораторной работы
- •Подготовка образца
- •Подстройка датчиков положения
- •Калибровка сканера
- •Сканирование калибровочной решетки
- •Проверка калибровок
- •Изменение калибровочных параметров
- •Проверка калибровок
- •8.4. Контрольные вопросы
СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II. Учебное пособие
Определение остроты зонда
Для определения остроты зонда может быть использована I-Z спектроскопия. Туннельный ток IT в СТМ экспоненциально затухает с расстоянием зонд-образец z
как:
,
где константа затухания k определяется выражением:
√,
где U – средняя работа выхода U = (Ut + Us)/2, где Ut и Us являются работами выхода материалов зонда и образца соответственно.
В I-Z спектроскопии измеряется зависимость туннельного тока от расстояния зонд-образец в выбранной точке СТМ-изображения. Для U = 1 eV, 2k = 1.025 Å-1eV-1.
Резкая зависимость I(z) помогает определить качество острия зонда. Как установлено эмпирически если туннельный ток IT падает в два раза при z < 3 Å, то
острие рассматривается как очень хорошее, если при z < 10 Å, то использование острия возможно для получения атомного разрешения на ВОПГ. Если же ток спадает в два раза при z > 20 Å, то этот зонд не может быть использован и должен
быть заменен.
5.2.Задание
1.Изготовьте два зонда: один – заточенный с помощью одноступенчатой заточки, и второй – заточенный с помощью трехступенчатой заточки.
2.Постройте резонансную кривую и определите добротность каждого зондового датчика.
3.Просканируйте тестовую решетку TGZ2 обоими зондами. При сканировании направление сканирования должно совпадать с направлением периодичности решетки.
4.Сравните полученные изображения. Оцените остроту зонда в первом и втором случае.
5.Изготовьте 10 зондов для последующего использования.
5-10