Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Волкова, Е. А. Поляризационные измерения

.pdf
Скачиваний:
9
Добавлен:
19.10.2023
Размер:
6 Mб
Скачать

В качестве компенсаторов для измерения малых углов вра­ щения наиболее удобны компенсаторы, основанные на эффек­ те Фарадея, так как они позволяют избежать дополнительных вибраций прибора от мотора, вращающего один из поляриза­ торов. Предпочтительно пользоваться мощными источниками света со сплошным спектром, например, ксеноновой лампой, и обязательно двойными монохроматорами. При этом жела­ тельно, чтобы ширина выделяемого спектрального интервала была не больше 1 нм. Весьма существенна стабилизация из­ лучения источника света во времени и пространстве: необходи­ мо поддерживать положение светящегося столба постоянным по отношению к входной щели монохроматора. Стремятся также к тому, чтобы погрешность епектрополяриметрических измерений не превышала нескольких тысячных градуса во всем спектральном диапазоне прибора, учитывая при этом, что следы двойного лучепреломления в окнах кювет или плен­ ки на этих окнах могут осуществлять поворот плоскости по­ ляризации на угол порядка нескольких тысячных градуса.

Эллипсометрия в последние годы применяется для самых разнообразных исследований. Особенно большое количество методов измерений и измерительных установок предложено для работ в отраженном свете с целью изучения состояния по­ верхности, измерений параметров тонких пленок, а также для исследований напряжений. Применяют как визуальные, так и объективные приборы. При создании современных объектив­ ных приборов для спектрального диапазона от ультрафиоле­ товой до инфракрасной областей используют устройства, по­ добные устройствам, применяемым в поляриметргх и епектрололяриметрах.

Метрологические работы в области поляризационных изме­ рений позволили установить в нашей стране методы поверки поляриметров и сахариметров, работающих в видимой обла­ сти спектра. Как стабильные меры угла вращения плоскости поляризации вполне оправдали себя поляриметрические квар­ цевые пластинки. Их применяют в качестве образцовых мер при поверке визуальных и объективных поляриметров и саха­ риметров. Пластинки, предназначенные для -поверки точных визуальных и объективных поляриметров и спектрополяриметров необходимо изготовлять в 2—3 раза точнее, чем пла­ стинки, широко применяемые в настоящее время для повер­ ки поляриметров средней точности.

Серьезный вопрос, подлежащий разрешению в ближайшее время, состоит в разработке и изготовлении мер для поверки спектрополяриметров, имеющих малые пределы измерения углов вращения в ультрафиолетовой области спектра, а так­ же методов аттестации этих мер.

Что касается эллипсометрии, то для поверки приборов не­ высокой точности этой области измерений, работающих в про­ ходящем свете, можно применять фазовые пластинки из квар­ ца или слюды. Если слюдяные пластинки заклеены, то сроки их применения после поверки должны быть ограничены. Пла­ стинки следует аттестовывать на объективной образцовой установке, которую надлежит разработать и изготовить.

Для эллипоометров высокой точности, работающих в от­ раженном и проходящем свете, создание образцовых 'мер и средств их аттестации потребует значительно большего объ­ ема работ.

Подлежат также разработке методы и средства поверки дихрографов.

Перспективы метрологических работ в области поляримет­ рических измерений, изложенные выше, только намечены. Можно надеяться, что в этой важной для народного хозяйства области измерений метрологические исследования в дальней­ шем опередят запросы науки и промышленности.

ПРИЛОЖЕНИЕ

ХАРАКТЕРИСТИКИ ЛИНЕЙНЫХ ПОЛЯРИЗАТОРОВ ПРИЗМ И ПОЛЯРОИДОВ

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а I

Конструктивные характеристики поляризационных призм

 

 

из исландского шпата

 

 

 

 

Наименование

Разделяющий

Апертур­

Отношение

Примечание

 

призмы

слой

ный угол,

длины

 

 

 

 

градус

к ширине

 

 

 

 

Глаи — Томп­

Воздушный

8,6

0,83

Для

 

ультрафио­

сона

 

 

 

 

летовой

области

Томпсона

Канадский баль­

27,5

4,15

 

 

 

 

Томпсона

зам

 

41

4,15

Для

 

ультрафио­

Льняное масло

 

 

 

 

 

 

летовой

области

Аренса

Канадский баль­

35

2,32

спектра

 

 

 

 

 

 

Глазебрука

зам

 

35

4,65

 

 

 

 

То же

 

 

 

 

 

Франка —

»

 

19

3,17

 

 

 

 

Риттера

 

 

26,5

 

 

 

 

 

Осипова —

Тонкая

плоская

2,35

Ориентировка

Кинга

пластинка

из плав­

 

 

составляющих

 

 

леного кварца на

 

 

призм

 

такая

же,

 

оптическом

кон­

 

 

как

в

призмах

 

такте

 

 

 

Глазебрука

или

 

 

 

 

 

Франка — Ритте­

 

 

 

 

 

ра для ультрафио­

 

 

 

 

 

летовой

области

 

 

 

 

 

спектра

 

 

11— 2590

141

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а II

 

Спектральные характеристики поляроидов

 

 

 

 

Полпропды

 

 

Длина волны,

нодно-полнвнннловые для ульт­

 

полпвпииленоиые

рафиолетовой области спектра

 

 

 

нм

 

 

 

 

 

 

 

«

я 0, к

 

% я 0. % я м, %

250

22

12

1,5

 

 

 

350

32

20

0*

400

37

29

0

23

16

0*

450

38

29

0

28,5

22

0

500

37

27

0

33

26

0

550

35

24

0

36

31

0

600

34

22,5

0

40

35

0

650

37,5

24,5

0

45

37

0

700

40

29

0

48

41

12

750

42,5

34

0

 

П р и м е ч а й и е.

— коэффициент пропускания

одиночным

поляро­

идом света с указанной

длиной

волны; Я0

и # 90 — коэффициенты про­

пускания двух последовательно установленных поляроидов при параллель­ ном и взаимно перпендикулярном положениях плоскостей поляризации.

* В этих случаях Я 90 определено с помощью прибора с низкой чувстви­ тельностью. Согласно данным, приведенным в [41], Я 90 для разных типов поляроидов и разных участков спектра лежит в пределах I—10-1 %.

142

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а III

 

 

Технические характеристики отечественных

 

 

 

 

поляризационных приборов

 

 

 

Тип

Пределы

Погрешность

 

Область

Наименование прибора

измерения (по

Источник света

прибора

измерения

данным разработ-

спектра или длина

 

 

 

чика)

 

ьолны, нм

Для измерения угла вращения плоскости поляризации

Сахариметр

 

 

СУ-3

От —40 до

Поляриметр портативный

 

+100° S

Г1-161

От —20 до

Поляриметр

 

 

СМ

+ 20°

 

 

От 0 до

Поляриметр

фотоэлектри­

ЕПЛ

+360°

От —25 до

ческий

 

 

 

+25°

Поляриметр

фотоэлектри­

 

От —40 до

ческий [101]

 

 

 

+40°

Спектрополяриметр

авто­

СПУ-2

От 0 до 80°

матический

(регистрирую­

 

 

щий) [113]

 

 

 

 

Спектрополяриметр

авто­

От 0 до

матический

 

 

 

360°

Спектрополяриметр

фото­

 

От 0 до 360°

электрический

 

 

 

 

0,1° S

0,1°

0,05°

2 £

О о

0,001°

0,0025°

0,0025°

0,0025°

Лампа

накаливания

со

585

светофильтром

 

 

 

 

То же

 

 

 

 

589

У>

 

 

 

 

589

Натриевая лампа со све­

589

тофильтром

 

 

 

 

Ртутная

лампа

низкого

546

давления

с двойным моно­

 

хроматором

 

 

 

 

Ртутная

лампа

сверхвы­

240—700

сокого давления

или лампа

 

накаливания с двойным мо­

 

нохроматором

 

 

 

 

Ртутная

лампа

 

высокого

230—640

давления

с монохроматором

 

Лампа

накаливания

или

400—700

ртутная высокого

давления,

 

или ксеноновая

с

монохро­

 

матором

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Продолокение табл. III

 

 

Пределы

 

Погрешность

 

Область

 

Тип

 

измерения (по

 

Наименование прибора

 

Источник света

спектра или длина

прибора

измерения

данным разработ­

 

 

 

 

чика)

 

 

волны, нм

Измеритель магнитоопти­

МОАЖ-4

10~4 мин/А

5 или 2%

от

Лампа накаливания

со 400—600

ческого вращения

 

или 10-2 мин/А диапазона

из­

светофильтром

 

 

 

при длине про­ мерения

 

 

 

 

 

ходимого

све­

 

 

 

 

 

 

том слоя 1

м

 

 

 

 

Для измерения разности хода при двойном лучепреломлении

Полярископ

 

(измерение

ПКС-250

Около

20—40 нм

путем оценки цвета)

 

 

3000 нм

 

Полярископ

компенса­

ПКС-125

До 550 нм

5 нм

тором Сенармона) [168]

 

 

 

 

Поляризационно-проекци­ ППУ-7

20—40 по­

1 нм

онная установка

(метод по­

 

рядков, т. е.

 

лос) [169, 170]

 

 

 

 

10000—20000 нм

 

Поляриметр

координатно­

КСП-7

4200 нм

4 нм

синхронный (с

компенсато­

 

 

 

ром Сенармона)

[171]

 

 

 

 

Поляризационная

уста­

БПУ

Около

10 нм

новка (с компенсатором Се­

 

3000 нм

 

нармона)

 

 

 

 

 

 

Лампа накаливания

Белый свет

Лампа накаливания со 550 светофильтром

Лампа накаливания или Белый свет ртутная лампа высокого или 436, 546, давления, или кадмиевая 578, или 644 лампа со светофильтром

Лампа

накаливания

или

Белый

свет

ртутная лампа низкого дав­ или 546,

или

ления со светофильтром

 

578

 

Лампа

накаливания

или

Белый

свет

ртутная лампа сверхвысоко­ или 436, 546 го давления или спектраль­ ная с узкими линиями и со светофильтрами

 

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а IV

 

Технические характеристики зарубежных

поляризационных приборов

 

Наименование,

 

 

Погрешность

 

Область

 

 

Пределы

измерения

 

 

Модель

Источник света

спектра,

Примечание

страна, фирма

измерения

по данным

 

 

 

фирмы

 

нм

 

 

 

 

 

 

 

Для измерения угла вращения плоскости поляризации

Поляриметр

(мик-

М-412

От 0 до

0,01°

 

 

 

 

 

 

 

рооптик),

Англия,

 

360°,

 

 

 

Натриевая

лампа

589

Хпльгер

 

 

 

От — 150

 

 

Поляриметр

(авто-

М-500

до ■+' 150° S

0,05° S

 

со светофильтром

со

546

14° S

 

 

Ртутная

лампа

матпческий),

Англия,

 

 

 

 

 

 

светофильтром

 

 

 

Хильгер

 

 

 

 

 

 

0,002°

 

Ртутная

или

на-

546—589

Поляриметр

фото-

От —2 до

 

электрический,

Япо-

 

+ 2°

 

 

 

 

триевая

лампа

со

 

ния, Джаско

 

 

 

 

 

 

 

светофильтрами

 

 

Поляриметр

фото-

100

От — 10 до

0,002°

 

Ртутная,

натрие-

546—589

электрический,

Япо-

 

+ 10°

 

 

 

вая

или лампа

нака-

 

ния, Янагимото

 

 

 

 

 

 

ливания

со

свето-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

фильтрами

 

 

 

546—589

Поляриметр

фото-

141

От —90

0,002°

 

Ртутная

или натри-

электрический,

США,

 

до +90°

 

 

евая лампа со свето-

 

Перкин

Эльмер

 

 

 

 

 

 

фильтрами

 

 

 

200—600

Спектрополяриметр

0,01;

0,05;

0,2%

от

Ксеноновая

 

или

(регистрирующий),

 

0,1;

0,2;

0,5;

диапазона

 

ртутная лампа сдвой-

 

Англия,

Беллингам

 

1,0;

2 или 5°

измерения

 

ным

монохромато-

 

Стенли

 

 

 

 

 

 

 

 

ром

 

 

 

 

 

-

Максимальная онтическая плотность 2

Максимальная оптическая плотность 2 при Х=240 нм. Возможно измерение кругового дихроизма с помощью ромба Френеля

Наименование, страна, фирма

Спектрополяриметр (регистрирующий), США, Керри

Спектрополяриметр (регистрирующий), США, Бауш и Ломб

Спектрополяриметр (регистрирующий), Япония, Джаско

Спектрополяриметр (регистрирующий), Франция, Жобен и Ивой

Спектрополяриметр (регистрирующий), ФРГ, Оптон

Модель

Спектро- поль-1

ORD

UV-5

REPM-12

Пределы

 

Погрешность

 

измерения

измерения

 

по данным

 

 

 

 

фирмы

0,02;

0,04;

0,2 %

0,1;

0,2;

0,4;

диапазона

1,0 и 2,0°

 

измерения

0,05;

0,1;

0,002

0,2;

0,5;

1

0,005°

и 2°

 

 

 

 

От —0,02 0,001° до + 2°

От —0,8

0,0025°

до +0,8°

 

От 0,1

0,001°

до ±25°

 

Продолжение к табл. IV

Источник света

Ксеноновая

лампа

с двойным

призмен-

ным монохроматором

Ксеноновая

лампа

с двойным

монохро-

матором с решетками

Ксеноновая

лампа

с двойным

призмен-

ным монохроматором

Ксеноновая

лампа

с двойным

призмен­

ным монохроматором

Область

Примечание

спектра,

нм

 

187—600

Возможно

 

измере-

ние кругового

дихро-

изма

с

 

помощью

ячейки Поккельса

 

200—600

Максимальная

он-

тическая

 

плотность

D= 3,5 при X= 350

нм.

Возможно

измерение

магнитного

вращения

и кругового

дихроиз­

ма с

помощью ромба

Френеля

 

 

 

 

185— 700

Максимальная

оп-

тическая

плотность 4.

Возможно

измерение

кругового

дихроизма

с

помощью

ячейки

Поккельса

240— 600

Ксеноновая

лампа

215—700 Максимальная оп-

с двойным

призмен-

тическая плотность 4.

ным монохроматором

Возможно

измерение

 

 

магнитного

вращения

 

 

 

 

 

 

Продолжение

 

 

 

Погрешность

 

Область

 

Наименование,

 

Пределы

измерения

 

 

Модель

Источник света

спектра,

Примечание

страна, фирма

измерения

по данным

 

 

 

фирмы

 

 

 

Дихрограф (регист­ рирующий), Франция, Руссель Жуан

Полярископ, Чехо­ словакия, Меопта

Полярископ (с ком­ пенсатором Сенармона), ГДР, Цейсс

Для измерения кругового дихроизма

185

0,0025;

1% от ши­

Дейтериевая лампа 185-600

 

0,005; 0,005;

рины ЛИНИН

или лампа накалива­

 

0,0125;

записи

ния с двойным моно­

 

0,0256

 

хроматором

 

и 0,0500

 

 

 

единиц

 

 

Для измерения разности хода при двойном лучепреломлении

PS

— 3000 нм

20—40 нм

Лампа

накалива­

Белый

Фирма

выпускает и

 

 

 

ния

 

свет

другие модели

Q-300

~ 600 нм

Не извест­

Лампа

накаливания

Белый

Прибор

снабжен

 

 

на

 

 

свет

двумя

пластинками

 

 

 

 

 

 

четверть волны

 

 

Л И Т Е Р А Т У Р А

1.

Л а н д с б е р г

Г. С. Оптика. М.—Л., Гостехтеориздат, 1957.

 

2.

Ф р и ш С. Э.,

Т и м о р е в а А. В. Курс общей физики, т. 3.

М., Фнз-

матгиз,

1957.

 

3.

Ш и ш л о в с к и и А. А. Прикладная физическая оптика. М., Физмат-

гиз, 1961.

 

4.

Д и ч б е р н Р. Физическая оптика. М„ «Наука», 1965.

5.

3 о м м е р ф е л ь д А. Оптика. М., ИИЛ, 1953.

6. Б о р н

М., В о л ь ф Э. Основы оптики. М., «Наука», 1970.

7.

П о л ь

Р. В. Оптика и атомная физика. М., «Наука», 1966.

8. Ш у с т е р А. Введение в теоретическую оптику. М., ОНТИ, 1935.

9. В у д Р. Физическая оптика. Л.—М., ОНТИ, 1936.

10.

Г о р е л и к Р. С. Колебания и волны. М.—Л., Гостехтеориздат, 1950.

11. Д р у д е П. Оптика. М., ОНТИ, 1935.

12.

М е ш к о в В. В. Основы светотехники, ч. 1. М.—Л., Госэнергоиздат,

1957.

 

 

 

13.

G e i g e r Н., S с h е е 1 К. Handbuch der Physik. В. XIX «ITersteellung

und Messung des Lichtes», В. XX «Licht als Welienbewegung», Berlin, 1928. 14. Р о м а н о в а M. Ф. Интерференция света и ее применение. М.,

ОНТИ, 1937.

15.3 а х а р ь е в с к и и А. Н. Интерферометры. М,. Оборонгиз, 1952.

16.К u b о t а Н., А г а Т., S a i t о Н. On the Sensitive Color of Chromatic Polarisation, «JOSA», 1951, v. 41.

17.

Ф р о х т M. M.

Фотоупругость, т. I, II.

M.—Л., Гостехтеориздат,

1950.

 

 

 

18.

Д юр ел. i n А.,

Р а и л и У. Введение в

фотомеханику. М., «Мир»,

1970.

 

 

 

19. Т р у м б а ч е в Б. Ф., К а т к о в Г. А. Измерение напряжений и де­ формаций методом фотоупругих покрытий. М., «Наука», 1966.

20.

В о л ь к е н ш т е й н М. В.

Молекулярная оптика. М.—Л., Гостех­

теориздат, 1951.

 

21.

L a n d o l t - B o r n s t e i n .

Zahlenwerte und Funktionen aus Physik,

Chemie,

Astronomie, Geophysik and

Technik. Sechste Auflage, В. II, T. 8.

Berlin — Gottingen — Heidelberg, Springer — Verlag, 1962.

22.

Б а й б о р о д и н Ю. В., Г a p а ж а С. А. Электрооптический эффект

в кристаллах и его применение в приборостроении. М., «Машиностроение», 1967.

23.

Ш а м б у р о в В. Л., В л о х О. Г. Электрооптический эффект в кри­

сталлах и его применение. «Радиотехника и электроника», 1964, № 3.

24. Ж е л у д е в

И. С., В л ох О. Г. Электрооптический эффект в кри­

сталлах. «Кристаллография», 1958, т. 3, вып. 5.

 

25.

Д ж е р а с с и К. Дисперсия оптического вращения. М„ ИИЛ, 1962.

26.

В u п n a g е 1

R., О с h г i n g Н. Messung

der Rotationdispersion an

einen Quarz fur die

polarimetrische Bestimmung

optischer Schwerpunkte.

«Zeitschrift fur Angewandte Physik», 1966, B. 20, N 5.

27.

В u n n a g e 1 R., S p i g e I h a 11 e r F. Untersuchung der Rotationsdis-

persion verschiedener Quarze im Hinblick auf ihre Verwendung als Quarzkontrollplatten fur Sacharimeter. «Z. Zucherind», 1970, B. 20, N 1.

148

28. С п л и н П. М., С и л и н а Н. П. Химический контроль свеклосахар­ ного производства. М., Пшцепромиздат, 1960.

29. В г u h a t G., Traite de la polimetrie. Paris, Edition de la Revue d’Op-

tique, 1930.

30. В е л л ю з Л., Л е г р а н M., Г p о ж а н M. Оптический дихроизм. М.,

«Мир», 1967.

131. Дисперсия оптического вращения и круговой дихроизм в органиче­ ской химии. Под ред. Снатцке. М., «Мир», 1970.

32. L a n d o l t - B o r n s t e i n . Zahlenwerte

und

funktionnen aus Physik,

Chemie, Astronomie, Geophysik und Technik. Sechste

Auflage, В. I, T. I. Ber­

lin— Gottingen — Heidelberg, Springer-Verlag,

1950.

 

33. М у с т е л ь E. P.,

П а р ы г и н В. H. Методы модуляции и сканиро­

вания света. М., «Наука»,

1970.

 

 

34.С о к о л о в А. В. О магнитооптических явлениях в ферромагнетиках. УФН, 1953, т. 50, № 2.

35.C a r a y R. Magnetic domains and techniques for their observation. London, Engl. Univ. Press, 1966.

36.К а а б а к M. Я. Аналитические применения поляризованного излу­ чения. Анализаторы магнитооптического вращения. В сб.: «Автоматизация химических производств». М., «Советское радио», 1970.

37.В о л ь к е н ш т е й н М. В. Физика ферментов. М., «Наука», 1967.

38.S h a s h о u а V. Е. General characteristics of magneto-optical Rotation Spectra. «J. Am. Chem. Soc.», 1964, v. 86 (II).

39.В r i a t В., В i 11 a г d о n M., В a d о z J. Recent advances in the inves­ tigations of magneto-optical rotation spectra, «Physica», 1967, D. 33, N 1.

40.В а с и л ь е в Б. И. Оптика поляризационных приборов. М., «Машино­ строение», 1969.

41.Ш е р к л и ф ф У. Поляризованный свет. М., «Мир», 1965.

42.В а л я ш к о Е. Г. Поляризационные призмы. «Оптика и спектро­ скопия», 1963, т. XV, вып. 5.

43.С т о ж а р о в А. И. Призмы из исландского шпата. «Оптико-механи­ ческая промышленность», 1967, № 3.

44. А г с h а г d

J. F.

Performance and

testing

of polarizing

Prisms,

«J. Sci Instr.», 1949, v. 26,

N 6.

 

 

 

 

45. K u t t n e r

F. Ober die Fehldurchlassigkeit

von

Polarisatoren, «Acta

Phys. Auslr.», 1966, B. 24,

N 4.

 

 

 

 

46. А г c h a r d J. F„

T a y l o r A. M.,

Improved

Glan-Foucault

Prism,

«J. Sci. Instr.», 1948, v. 25, N 12.

47. K u t t n e r F. Ober den Bau von Glan-Prismen und ihre Verwendung als Polarisatoren in Spektrapolarimeter. «Acta Phys. Austr.», 1964, B. 17, H. 3.

48. M и x а й л о в а Е. И., Ф а е р м а н Г. П. Исследование однородности, ориентации плоскости поляризации у поляризационных призм и светофильров. «Оптико-механическая промышленность», 1969, № 1.

49.Г о д и н а Д. А. Оптические свойства поляризационных светофильт­ ров из поливинилового спирта. ЖТФ, 1948, т. 18, вып. 10.

50.Д и с т л е р Г. IT. Оптические свойства новых ультрафиолетовых по­ ляризационных светофильтров. «Кристаллография», 1956, т. 1, вып. 2.

51.Д и с т л е р Г. И. Новые поляризационные светофильтры для корот­ коволнового инфракрасного излучения. «Оптика и спектроскопия», 1958, т. 4, вып. 3.

52. О 11 о A. Rechnungen

zu einem optischen Polarisator nach

dem Prin-

zip der verhinderten Totalreflexion. «Optik»,

1969, B. 29, N 3.

 

53. Б a p б а т A. M. и др.

«Оптические

измерения».

Киев,

«Техника»,

1967.

 

 

 

 

 

54. Д о н и е н с Д. М. Метод получения

циркулярно

поляризованного

света. «Приборы для научных исследований»,

1967, т. 38, № 2.

 

149'

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ