3. Требования к отчёту

Отчёт по лабораторной работе должен быть представлен в распечатанном виде и в электронном варианте на жёстком диске в каталоге своей группы. Распечатка отчёта должна включать:

• название и цель работы;

• определение равновесного выхода конденсирующегося компонента;

• формулы для расчёта равновесного выхода кремния в процессе его водородного восстановления из тетрахлорида кремния;

• систему уравнений для расчёта равновесных парциальных давлений компонент парогазовой фазы в процессе водородного восстановления кремния из его тетрахлорида;

• закон действующих масс, формулы для расчёта температурной зависимости константы равновесия химической реакции;

• результаты расчёта температурной зависимости констант равновесия базисных химических реакций процесса водородного восстановления кремния из его тетрахлорида;

• результаты расчёта равновесных парциальных давлений компонент парогазовой фазы в процессе водородного восстановления кремния из тетрахлорида кремния для заданных составов исходной парогазовой смеси;

• результаты расчёта температурной зависимости равновесного выхода кремния в процессе его водородного восстановления из тетрахлорида кремния для заданных составов исходной парогазовой смеси;

• результаты расчёта производительности химического реактора для получения полупроводникового кремния в квазиравновесном режиме для заданных составов исходной парогазовой смеси.

• выводы по результатам исследований закономерностей процесса водородного восстановления кремния из тетрахлорида кремния.

На диске следует сохранить файл отчёта, а также mcd-файл, содержащий результаты, полученные в ходе выполнения работы и подтверждающие сделанные в отчёте выводы.

4. Контрольные вопросы

4.1. Применение процесса водородного восстановления кремния из его тетрахлорида в технологии полупроводниковых материалов и в планарной технологии полупроводниковых интегральных микросхем.

4.2. Дайте определение понятию равновесный выход конденсирующегося компонента.

4.3. Получите формулу для расчёта равновесного выхода кремния в процессе его водородного восстановления из тетрахлорида кремния.

4.4. Получите систему уравнений химического равновесия для расчёта равновесных парциальных давлений компонент парогазовой фазы в процессе водородного восстановления кремния из тетрахлорида кремния.

4.5. Сформулируйте закон действующих масс для химических реакций. Запишите формулы для расчёта температурной зависимости константы равновесия химической реакции по справочным данным.

4.6. Получите формулу для расчёта производительности химического реактора для получения полупроводникового кремния при его работе в квазиравновесном режиме.

ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА № 4

Исследование процессов зонной перекристаллизации

методом численного эксперимента

Цель работы: изучение математических моделей процессов зонной перекристаллизации. Исследование закономерностей распределения нелетучей примеси вдоль кристалла, полученного однократной или многократной зонной перекристаллизацией. Исследование зависимости эффективного коэффициента распределения примеси от режима направленной кристаллизации.

1.ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ СВЕДЕНИЯ