Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Микроминиатюризация высокочастотных радиоустройств

..pdf
Скачиваний:
7
Добавлен:
19.10.2023
Размер:
4.57 Mб
Скачать

50

( Следует иметь в виду, что пленочные проводники обладают

относительно большим омическим сопротивлением на постоянном токе. На высоких частотах комплексное их сопротивление еще

более увеличивается за счёт того, что толщина нанесенной '

пленки много меньше глубины проникновения поля. И з-за этого,

как показали экспериментальные измерения, несколько увеличи­ вается индуктивность пленочного проводника по сравнению с ленточным проводником толщиной несколько десятков микрон.

L

Индуктивность

 

ленточного проводника

[1 .2]

 

Ü - I 5 )

где

= 2 e -f0 ~ p .3 fy -§ z $ +

0 , 1 2

3 5

+

o s ) , мкГи J

0 ,6, В

 

-ш ирина,

толщина,

длина проводника

 

 

 

 

 

 

 

соответственно,

мм.

 

 

 

 

 

 

 

Для пленочных проводников ширина его много больше толщины.

И з-за этого индуктивность тонкопленочного

проводника возраста­

ет по сравнению с ленточным проводником той же ширины,

но

имеющего толщину,

соизмеримую с

шириной.

 

 

 

 

 

Экспериментально было определено, что при вычислении вели­

чины индуктивности тонкопленочных проводников в формуле

( I .15)

необходимо увеличить величину свободного члена на

0 ,1 5 ,

чтобы

свести ошибку при расчётах с 5-10% до 1-2%. В результате

получаем следующую'4( j , 3

уточненную5 + 2 , формулу3 e $:

K

c p

+

( I .I 6 )

L = l ß iO

ß

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

где

кф/ -

 

коэффициент формы пленочного проводника.

 

 

В таблице

 

1 .5

приведены расчётные

(по формулам 1 .1 5 ,1 .1 6 )

и экспериментальные усредненные данные результатов измерений величины индуктивности тонкопленочных проводников, имеющих

51

следующие усредненные размеры:

1 ,2

мм;

№.2 —

1,5

мы;

а)

ширина проводника № I

-

Ö)

длина проводника № I

-

I I

мы;

Ій 2 -

15

мы;

в)

толщина проводников 400-600

нм.

Таблица

1 .5

 

провод­

 

Индуктивность L , мкРН

откл. от

 

р а с -

 

ника

 

рассчитанная

по эксперименталъ-

 

 

 

 

формулам

ное

среднее

четного

по

 

 

 

С І.І5 ?

( І .І б )

значение

формулам.

%

 

I

 

0,008

+6

( І.Іб )

 

 

0,0075

0,0079

+1,2

 

2

 

0,0106

0,011

0,0109

+3

-0 ,9 2

 

Измерения проводили

с помощью куметра Е9-5 на

частотах

І0 5 -І0 7

МГц. Частота измерялась

цифровым частотомером

 

типа

4 3 -4 . Из данных таблицы

следует,

что расхождение

расчётных

по формуле( і .І б ) и

экспериментальных данных не превосходит

2%,

чем подтверждается правомерность применения в уточненных

расчётах

формулы ( I . 1 6 ).

 

 

 

 

 

 

 

С целью оптимального выбора диаметра и материала соеди­

нительных проволочных проводников микросхем

былиf

проведены'

экспериментальные исследования их ВЧ параметров

(таб л .1 .6 ) .

Из данных таб л .1 .6 сЛедует, что ВЧ параметры

проволочных

соединительных проводников слабо зависят от материала, а

средняя

погонная индуктивность проводников, имеющих диаметр

0 ,0 5 -0 ,1

мм, приблизительно равна 0,011 мкГн на

сантиметр

длины.

 

 

Материал

ф , ММ

Медь

о . і

Серебро

‘ 0,05

Золото

0,05

Золото

о , і

52

^,мм

 

Таблица 1 .6

 

і ,МКГН

,0м

L ,мкРн

 

 

 

 

для 10мм

10

п о

0,011

0,37

длины

78

0,01

30

0,031

0,45

38

70

0,043

0,65

0,012

10

107

0,012

0,39

36

70

0,044

0,76

0,012

10

107

0,012

0,41

30

81

0,029

0,39

0,01

10

107

0,01

0,27

53

Глава вторая. ГИБРИДНЫЕ ПЛЕНОЧНЫЕ КВАРЦЕВЫЕ ГЕНЕРАТОРЫ

і . О ВЫБОРЕ СХЕМ ГИБРИДНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ КВАРЦЕВЫХ ГЕНЕРАТОРОВ .

Известно большое количество схем транзисторных генерато­

ров гармонических колебаний, стабилизированных кварцем. Все многообразие этих схем может быть сведено к трем группам,

которые отличаются друг от друга функциями кварцевого резо­ натора и характером его полного сопротивления на генерируе­

мой частоте.

Различают

схемы осцилляторные, с кварцем в це­

ли обратной

связи и

с

затягиванием частоты.

В осцилляторных

схемах кварцевый резонатор является со­

ставной частью колебательной системы генератора. Полнон со­ противление кварца носит индуктивный характер. Отключение кварца, его короткое замыкание или замена емкостью приводит к срыву колебаний. Подключением к кварцу внешних реактивных сопротивлений изменяют генерируемую частоту в интервале час­ тот последовательного и параллельного резонансов.

В схемах с кварцем в цепи обратной связи кварцевый резо­ натор выполняет функции узкополосного фильтра. Условия само­ возбуждения выполняются вблизи частоты минимума или максиму­ ма полного сопротивления кварцевого резонатора.

В схемах с затягиванием частоты условие самовозбуждения выполняется без подключения кварца. Кварцевый резонатор вклю-

чаетоя в колебательную систему генератора как некий вторич­ ный контур с добротностью на несколько порядков выше доброт-

54

нооти основного контура генератора. При этом возможен эффект затягивания частоты. Эти схемы нашли ограниченное применение

в основном и з -за сложности их настройки и противоречия между

условиями максимальной стабильности чаототы и устойчивой ге­ нерации.

Иногда схемы кварцевых генераторов делят на схемы парал­

лельного и последовательного резонансов.

Приведенная краткая классификация схем генераторов отра­

жает принципиальные различия в использовании кварцевого ре­ зонатора как элемента стабилизации частоты.

Известно также несколько разновидностей схемных решений в

пределах каждой группы. Они отличаются друг от друга количе­ ством транзисторов и схемами их включения, возможностью за ­ земления электродов транзисторов, кварцевого резонатора или других точек схемы, полярностью источников питания и т .д .

Методика электрических расчётов схем кварцевых генерато­

ров, построенных на дискретных элементах, достаточно полно разработана и приводится в многочисленной литературе, напри­

мер [2 .1 - 2 .4 ], Вопросы микроминиатюризации кварцевых генера­ торов на базе пленочных или полупроводниковых интегральных схем в литёратуре пока не нашли должного отражения.

Ограничения и требования, предъявляемые к принципиальным схемам устройств в гибридном пленочном исполнении, определя­ ются особенностями технологии и конструкции. Основными огра­ ничениями и требованиями являются следующие:

а) минимальное количество элементов схемы;

б) большие допуски величин параметров элементов;

55

в) ограничение параметров индуктивностей, емкостей и

сопротивлений по максимальным и минимальным величинам;

г) минимальная рассеиваемая мощность;

д) простота настройки микросхемы.

Исследования, проведенные с учётом этих требований, сопо­

ставление схем по достижимой верхней предельной частоте и нестабильности частоты позволили сделать следующие выводы.

Гибридные пленочные генераторы на частоты от 5 МГц до

20 МГц целесообразно проектировать по осцилляторной "безын-

дуктивной" схеме с кварцем, работающим на основной частоте.

Гибридные пленочные генераторы на частоты от 20 МГц до

200 МГц целесообразно проектировать по схеме с общей базой

с кварцем в цепи обратной связи, работающим на нечетной гар­ монике.

2 . БУФЕРНЫЕ КАСКАДЫ КВАРЦЕВЫХ ГЕНЕРАТОРОВ Для устранения влияния нагрузки на параметры кварцевого

генератора необходимо применять буферный каскад. Расчётами и экспериментальными исследованиями установлено, что в каче­ стве буферного каскада гибридных пленочных кварцевых генера­

торов на частотах до 70 МГц целесообразно применять эмиттер-

ный повторитель. Использование эмиттерных повторителей на современных бескорпусных ВЧ транзисторах в указанном диапазо­ не частот дает положительный эффект.

Применение эмиттерного повторителя в области частот выше

70 МГц ограничено резким ухудшением его свойств. Известно,что с повышением частоты входное сопротивление каскада с общим

56

коллектором падает. Входное сопротивление становится отрица­

тельным, если Rh L<— 4 6А, , где

ъ Си -

сопротив-

-тгт

 

h

 

 

ление и емкость нагрузки соответственно; аА* - частота, на которой коэффициент усиления по току в схеме с общей базой уменьшается в і~2 раз.. При выполнении этого неравенства возникает опасность самовозбуждения каскада.

В качестве буферных каскадов кварцевых генераторов на частотах выше 70 МГц целесообразно применять резонансный усилитель с каскодным включением транзиоторов по схеме об­ щий эмиттер-общая б аза . Входное сопротивление такого усили­ теля равно приближенно входному сопротивлению схемы с общим эмиттером, и на частотах, близких к предельным частотам транзистора, составляет величину порядка 100 Ом. Применение каскодчой схемы в буферном усилителе не влечет за собой увеличения коэффициента шума.

3 . ВАРИАНТЫ КОМПОНОВКИ ГИБРИДНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ КВАРЦЕВЫХ ГЕНЕРАТОРОВ

При конструировании гибридных пленочных кварцевых гене­ раторов особое место занимает вопрос компоновки кварцевого резонатора и подложки микросхемы.

Возможны следующие варианты компоновки кварцевого резона­ тора и пленочной схемы:

а) в виде отдельного конструктивно законченного узла;

б) в качестве навесного элемента гибридной пленочной микросхемы;

в) в качестве подложки пленочной микросхемы.

57

Отечественной промышленностью выпускаются следующие типы

кварцевых резонаторов [2 .5 ,

2.6] в металлических

герметизиро­

ванных

баллонах:

 

 

частот

до

100 МГц,

габаритные

а)

миниатюрные типа М для

 

.размеры 19,5x11x5 мм;

 

 

 

 

 

 

б) малогабаритные типа

Б для частот до 100 МГц, габарит­

 

ные размеры 25,7x19,2x10 мм.

в

стеклянных баллонах:

Вакуумные кварцевые резонаторы

а)

малогабаритные типа

Э

для частот до 100 МГц в

 

б)

баллоне диаметром 10,2

мм и длиной 39-87 мм;

 

малогабаритные типа

С

для частот до 100 МГц в

 

в)

баллоне диаметром 19 мм и длиной 42-100 мм;

 

малогабаритные типа

D

для частот до 3 МГц в

 

г)

баллоне диаметром 22,5

мм и длиной 60-85 мм;

 

нормального

исполнения

типа

Ц

 

для частот до 8 МГи

 

в баллоне диаметром 30

мм и длиной до 70 мм.

 

В последние годы стали изготовлять резонаторы в микромо-

дульном исполнении,

в которых

плотность

монтажа кварцевых

пластин достигает 14-15 шт/см^

Известны

также кварцевые

резо­

наторы , смонтированные в транзисторных

корпусах типа ТО.

В случае применения кварцевого резонатора в виде автоном­ ного конструктивно законченного узла коэффициент заполнения объема конструкции получается сравнительно невысоким.

При использовании кварца как навесного элемента гибрид­ ной пленочной микросхемы для механического и электрического соединения их необходим специальный кварцедержатель. Одним из вариантов конструкции такого кварцедержателя может быть

58

следущ ий.

,В два отверстия на подложке, расположенные на расстоянии,

равном диаметру пьезоэлемента,

вставляются

две проволочные

стойки, удерживающие кварцевую

пластину параллельно подложке

на расстоянии 1-3 мм. Надёжное

механическое

и низкоомное

электрическо.е. соединение электродов пьезоэлемента со стойка­ ми обеспечивается применением токопроводящего клея. Сами проволочные стойки в отверстиях подложки микросхемы закреп­ ляются эпоксидным клеем. Выступающие со стороны пленочных элементов микросхемы концы стоек электрически соединяются со схемой с помощью пайки.

Недостаток такого способа крепления состоит в том, что для монтажа пьезоэлемента необходимо применять плату с от­

верстиями для установки кварцедержателей. Известно, что сверление отверстий в хрупких материалах, из которых обычно изготовляются подложки для гибридных пленочных микросхем

(стекло, ситалл), существенно усложняет технологию микро­

схем . Выполнение отверстий до напыления пленочных элементов накладывает требование точной установки подложки в подлож­ кодержателе. Выполнение отверстий после напыления пленочных элементов связано с большой вероятностью повреждения эле­

ментов абразивным порошком или суспензией и с загрязнением микросхемы и , следовательно, с ухудшением её качества.

Возможна "пробивка" отверстий в подложках после напыле­ ния микросхемы лазерным лучом на специальных установках,

например "ЛУЧ-IM " . Однако реализация такого способа связана с увеличением стоимости оборудования.

59

Известно использование пластины кварпа в качестве пьезо­ элемента и подложки пленочной микросхемы. Однако такое кон­ структивное решение имеет ограниченное применение, так как при этом ухудшается стабильность частоты кварцевого генера­ тора, значительно усложняется технология микросхемы и резко возрастает трудоемкость настроечно-регулировочных работ.

4 . КОНСТРУКЦИЯ ГИБРИДНОГО КВАРЦЕВОГО ГЕНЕРАТОРА С ЛЕНТОЧНЫМ КВАРЦЕДЕРЖАТЕЛЕМ

Более совершенной конструкцией является гибридный пленоч­ ный кварцевый генератор с ленточным кварцедержателем. Приме­ нение ленточных кварцедержагелей позволяет уменьшить размеры конструкции кварцевого генератора, улучшить электрические характеристики и упростить технологию сборки.

Детали кварцедержателя выполняются из тонкого листового упругого токопроводящего материала. На концах они снабжены площадками для электрического и механического соединения с гибридной пленочной микросхемой и кварцевым пьезоэлементом,

атакже фиксаторами для установки кварцевого пьезоэлемента

взаданном положении.

Кварцедержатель и кварцевый пьезоэлемент располагаются

на подложке гибридной пленочной микросхемы со стороны пленоч­ ных элементов. Электрическое и механическое соединение квар­ цедержателя с гибридной пленочной микросхемой и кварцевым пьезоэлементом осуществляется с помощью токопроводящего клея.

На р и с .2 .1 показан один из вариантов конструкции

гибрид­

ного пленочного кварцевого генератора. В него входят

следую-

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ