Источники / SiCtechnologyPropertiesApplication

22 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

1.2. ǺȓȠȜȒ ǹȓșȖ

ǯȜșȓȓȝȞȜȑȞȓȟȟȖȐțȜȗȞȎȕțȜȐȖȒțȜȟȠȪȬȟȡȏșȖȚȎȤȖȜțțȜȗȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȚȓȠȜȒ ǹȓșȖ [2]. Ǽț ȟȜȟȠȜȖȠ Ȑ ȖȟȝȎȞȓțȖȖ ȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȑȜȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 2500 2650°ǿȖȝȜȟșȓȒȡȬȧȓȗ ȘȜțȒȓțȟȎȤȖȖ ȝȎȞȜȐ țȎ ȟșȡȥȎȗțȩȣ ȕȎȞȜȒȩȦȎȣ. ǼȏȩȥțȜ ȝȞȖ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖȫȠȜȑȜȚȓȠȜȒȎȖȕȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭȝȞȓȟȟȜȐȎțȖȓȚȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȬȠȐȠȡșȘȡ, ȘȜȠȜȞȡȬȝȜȚȓȧȎȬȠȐȑȞȎȢȖȠȜȐȩȗȠȖȑȓșȪ (ȞȖȟ. 1.1). ǻȎ ȐțȡȠȞȓțțȖȣ ȟȠȓțȘȎȣ ȐȠȡșȘȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎ țȎ 50 70°ǿ țȖȔȓ, ȥȓȚ țȎ ȐțȓȦțȖȣ ȟȠȓțȘȎȣ. ȋȠȜ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȘȜțȒȓțȟȎȤȖȖ ȝȎȞȜȐ Ȑ ȝȜșȜȟȠȖ ȐȠȡșȘȖ Ȗ ȟȝȜțȠȎțțȜȚȡ ȞȜȟȠȡ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐ.

ǻȓȒȜȟȠȎȠȘȜȚ ȚȓȠȜȒȎ ǹȓșȖ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȏȜșȪȦȜȓ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȜ ȕȎȞȜȒȩȦȓȗ, ȥȠȜȝȞȖȐȜȒȖȠȘȖȕȏȩȠȘȡ ȚȓșȘȖȣȘȞȖȟȠȎșșȜȐȖȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ ȒȞȡȕ. Dzșȭ ȝȞȓȒȜȠȐȞȎȧȓțȖȭ ȫȠȜȑȜ ȭȐșȓțȖȭ ȜȏȩȥțȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȠȜțȘȎȭ ȑȞȎȢȖȠȜȐȎȭ ȘȞȖȟȠȎșșȖȕȎȤȖȜțțȎȭ ȐȠȡșȘȎ, ȟ ȠȜșȧȖțȜȗ ȟȠȓțȜȘ0.3 0.4 ȚȚ, ȞȎȟȝȜșȎȑȎȬȧȎȭȟȭȐțȡȠȞȖȠȖȑșȭ. ȆȖȣȠȎ, ȟȜȟȠȜȭȧȎȭ Ȗȕ ȖȕȚȓșȪȥȓțțȜȑȜ ȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȑȜ SiC, țȎȣȜȒȖȠȟȭ ȚȓȔȒȡ ȟȠȓțȘȎȚȖ ȠȖȑșȭ Ȗ ȐȠȡșȘȜȗ. ǰȜ ȐȠȡșȘȓ ȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȬȠȟȭ ȜȠȐȓȞȟȠȖȭ ȒȖȎȚȓȠȞȜȚ 0.8 1.2 ȚȚ. ȋȠȖ ȜȠȐȓȞȟȠȖȭ ȟșȡȔȎȠ ȤȓțȠȞȎȚȖ ȞȜȟȠȎ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ. ȅȖȟșȜ ȜȠȐȓȞȟȠȖȗ ȐȎȞȪȖȞȡȓȠȟȭ Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȟȠȓȝȓțȖ ȑȎȕȜȝȞȜțȖȤȎȓȚȜȟȠȖ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ ȐȠȡșȘȖ Ȗ ȚȜȔȓȠ ȖȕȚȓțȭȠȪȟȭ Ȑ ȝȞȓȒȓșȎȣ 400 1000 ȦȠ. ǽȞȖ țȎȑȞȓȐȓ ȦȖȣȠȎ ȖȟȝȎȞȭȓȠȟȭ Ȗ Ȗȕ-ȕȎ țȎșȖȥȖȭ ȑȞȎȒȖȓțȠȎ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȝȎȞȩ ȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȠ ȥȓȞȓȕ ȜȠȐȓȞȟȠȖȭ Ȗ ȝȜȞȩ ȘȞȖȟȠȎșșȖȕȎȤȖȜțțȜȗ ȐȠȡșȘȖ ȐȜ ȐțȡȠȞȓțțȖȗ ȜȏȨȓȚ (ȞȖȟ. 1.1). ǸȞȖȟȠȎșșȖȕȎȤȖȜțțȎȭ ȐȠȡșȘȎ ȡȚȓțȪȦȎȓȠ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȜ ȤȓțȠȞȜȐ ȘȞȖȟȠȎșșȖȕȎȤȖȖ Ȗ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȝȜșȡȥȎȠȪ ȚȜțȜȘȞȖȟ-

ȠȎșșȖȥȓȟȘȖȓ ȝșȎȟȠȖțȘȖ SiC ȝșȜȧȎȒȪȬ ȏȜșȓȓ 80 ȚȚ [3 8].

ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ țȎȥȎșȪțȜȗ ȟȠȎȒȖȖ ȞȜȟȠȎ ȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜ ȕȎȞȜȒȩȦȎȚȖ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȣ ȝșȎȟȠȖțȜȘ SiC ȭȐșȭȬȠȟȭ

țȖȠȓȐȖȒțȩȓ ȘȞȖȟȠȎșșȩ, ȝȞȜȞȎȟ- ǾȖȟ. 1.1. ȂȜȠȜȑȞȎȢȖȭȠȖȑșȭ: 1 ȠȖȑȓșȪ, ȠȎȬȧȖȓ Ȗȕ ȦȖȣȠȩ ȥȓȞȓȕ ȜȠȐȓȞȟ- 2 ȦȖȣȠȎ, 3 SiC ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȩ [6]

ȠȖȭ ȐȠȡșȘȖ. ȅȎȟȠȜ țȓȟȘȜșȪȘȜ țȖȠȓȐȖȒțȩȣ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȟȞȎȟȠȎȬȠȟȭ, ȜȏȞȎȕȡȭ «țȜȔȘȡ», țȎ ȘȜȠȜȞȜȗ ȞȎȕȐȖȐȎȓȠȟȭ ȝșȎȟȠȖțȥȎȠȩȗ ȘȞȖȟȠȎșș. ǽȞȖȥȓȚ Ȑ țȎȥȎșȪțȜȗ ȟȠȎȒȖȖ ȞȎȟȠȡȠ ȝșȎȟȠȖțȘȖ C-SiC. ǼȒțȎȘȜ, Ȑ ȐȩȞȜȟȦȖȣ ȘȞȖȟȠȎșșȎȣ C-SiC țȓ ȜȏțȎȞȡȔȖȐȎȓȠȟȭ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȘȡȏȖȥȓȟȘȖȗ ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȞȜȟȠȎ ȝȞȓȠȓȞȝȓȐȎȓȠ ȢȎȕȜȐȜȓ ȝȞȓȐȞȎȧȓțȖȓ, ȐȩȕȩȐȎȭ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȞȎȕȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȩȣ ȟșȜȓȐ. ǰ ȘȞȖȟȠȎșșȎȣ 6ǻ-SiC ȠȎȘȖȓ ȞȎȕȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȩȓ ȟșȜȖ ȐȟȠȞȓȥȎȬȠȟȭ ȡ 20% ȜȏȞȎȕȤȜȐ, Ȏ ȡ ȞȓȒȘȖȣ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ – ȒȜ 60% [4]. ȀȎȘȖȓ ȟșȜȖ ȚȜȑȡȠ ȏȩȠȪ, Ȗ țȓ ȟȐȭȕȎțȩ ȟ «țȜȔȘȜȗ» ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ. ǼțȖ ȚȜȑȡȠ ȐȜȕțȖȘȎȠȪ Ȗ ȝȞȖ ȢșȡȘȠȡȎȤȖȭȣ ȝȓȞȓȟȩȧȓțȖȭ, țȎȝȞȖȚȓȞ, ȕȎ ȟȥȓȠ ȏȞȜȟȘȜȐ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ. ǯȜșȪȦȖțȟȠȐȜ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȝȞȖțȎȒșȓȔȖȠ Ș ȚȜȒȖȢȖȘȎȤȖȖ 6ǻ-SiC. DzȎșȓȓ ȝȜ ȞȎȟȝȞȜȟȠȞȎțȓțțȜȟȠȖ ȟșȓȒȡȬȠ ȝȜșȖȠȖȝȩ 15R, 4H, 10H Ȗ 8H.

ǾȜȟȠ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ Ȑ ȒȜȐȜșȪțȜ ȦȖȞȜȘȜȚ ȖțȠȓȞȐȎșȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ 2400 2650°ǿ. ǸȎȘ ȝȞȎȐȖșȜ, ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȞȓȕȖȟȠȖȐțȩȗ țȎȑȞȓȐȎȠȓșȪȖȕȑȞȎȢȖȠȎ, ȖȚȓȬȧȖȗȢȜȞȚȡȤȖșȖțȒȞȎȟȞȎȕȞȓȕȎȚȖ. Dzșȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȜȒțȜȞȜȒțȜȑȜ ȠȓȝșȜȐȜȑȜ ȝȜșȭ ȝȜ ȜȟȖ ȠȖȑșȭ ȒșȖțȎ țȎȑȞȓȐȎȠȓșȭ ȒȜșȔțȎ ȏȩȠȪ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜ ȏȜșȪȦȓ ȞȎȕȚȓȞȜȐ ȠȖȑșȭ. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, Ȓșȭ ȝȜȐȩȦȓțȖȭ ȜȒțȜȞȜȒțȜȟȠȖ ȠȓȝșȜȐȜȑȜ ȝȜșȭ ȝȞȖȚȓțȭȬȠ țȎȑȞȓȐȎȠȓșȖ ȟ ȝȓȞȓȚȓțțȩȚ ȟȓȥȓțȖȓȚ. ȋȠȖ ȚȓȞȩ ȝȜȕȐȜșȭȬȠ ȒȜȟȠȖȑȎȠȪ ȐȜȏȨȓȚȓȠȖȑșȭțȓȏȜșȪȦȖȣȑȞȎȒȖȓțȠȜȐȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ(grad T< 10°C), ȥȠȜ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȟȜȐȓȞȦȓțțȩȣ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐ. ǼȏȩȥțȜȜȝȠȖȚȎșȪțȩȗ ȑȞȎȒȖȓțȠȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ4 6 ȑȞȎȒ/ ȟȚ. dzȑȜ ȡȚȓțȪȦȓțȖȓ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȟțȖȔȓțȖȬ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȎ ȘȞȡȝțȩȣ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ, Ȏ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ ȐȩȕȩȐȎȓȠ ȞȜȟȠ ȥȖȟșȎ ȒȞȡȕ Ȗ ȟȞȜȟȠȘȜȐ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ.

ǿȠȓȝȓțȪ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭȘȞȖȟȠȎșșȜȐ țȓȘȜțȠȞȜșȖȞȡȓȚȩȚȖ ȝȞȖȚȓȟȭȚȖ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȥȖȟȠȜȠȩ ȖțȓȞȠțȜȑȜ ȑȎȕȎ, ȚȎȠȓȞȖȎșȎ ȑȞȎȢȖȠȜȐȜȗ ȜȟțȎȟȠȘȖ, ȘȜșȖȥȓȟȠȐȎ ȤȖȘșȜȐ ȜȏȓȕȑȎȔȖȐȎțȖȭ ȐȎȘȡȡȚțȜȗ ȟȖȟȠȓȚȩ, Ȏ ȟȎȚȜȓ ȑșȎȐțȜȓ, ȜȠ ȥȖȟȠȜȠȩ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ ȝȎȞȜȐ SiC (ȦȖȣȠȩ). ǽȞȖ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖ Ȑ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȦȖȣȠȩ ȘȜȚȚȓȞȥȓȟȘȜȑȜ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȜȑȜ ȚȓȠȜȒȜȚ ǮȥȓȟȟȜțȎ (ȕȓșȓțȎȭ ȢȞȎȘȤȖȭ) ȠȞȡȒțȜ ȝȜșȡȥȖȠȪ ȘȞȖȟȠȎșșȩ ȐȩȟȜȘȜȗ ȥȖȟȠȜȠȩ, ȘȎȘ ȝȞȎȐȖșȜ, ȠȎȘȖȓ ȘȞȖȟȠȎșșȩ ȖȚȓȬȠ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȪ Ȟ-ȠȖȝȎ. ǽȜȫȠȜȚȡ Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȜȟȜȏȜ ȥȖȟȠȩȣ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȝȞȖȚȓțȭȬȠ ȟȝȓȤȖȎșȪțȜ ȟȖțȠȓȕȖȞȜȐȎțțȩȗ ȝȜȞȜȦȜȘ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ. Dzșȭ ȟȖțȠȓȕȎ ȝȜȞȜȦȘȜȐ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭ ȘȞȓȚțȖȗ ȖșȖ ȜȘȖȟȪ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȖȕȚȓșȪȥȓțțȩȗ ȑȞȎȢȖȠ. ǽȞȖȚȓțȓțȖȓ ȟȖțȠȓȕȖȞȜȐȎțțȜȑȜ SiC ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȝȜșȡȥȎȠȪ ȘȞȖȟȠȎșșȩ

24 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȟ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ țȜȟȖȠȓșȓȗ 1015 1016 ȟȚ 3 Ȗ ȝȜȒȐȖȔțȜȟȠȪȬ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ ȒȜ 250 ȟȚ2/ǰ¸ȟ.

ǽȞȜȤȓȟȟ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȖ ȚȜȔȓȠ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎȠȪȟȭ Ȓșȭ ȜȥȖȟȠȘȖ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ ȝȎȞȜȐ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ. ǽȞȖ țȎșȖȥȖȖ Ȑ ȖȟȠȜȥțȖȘȓ ȝȎȞȜȐ țȎȏȜȞȎ ȝȞȖȚȓȟȓȗ ȏȜșȓȓ șȓȠȡȥȖȓ ȝȜ ȟȞȎȐțȓțȖȬ ȟ SiC ȚȜȑȡȠ ȏȩȠȪ ȜȠȜȑțȎțȩ ȝȞȖ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜ țȖȕȘȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ, Ȏ ȝȞȖȚȓȟȖ Țȓțȓȓ șȓȠȡȥȖȓ ȟȜȟȞȓȒȜȠȜȥȓțȩ Ȑ ȘȞȖȟȠȎșșȎȣ.

ǽȞȖ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȖ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȏȜșȪȦȜȓ ȕțȎȥȓțȖȓ ȖȚȓȓȠ ȠȎȘȔȓ ȝȜșȖȠȖȝțȩȗ ȟȜȟȠȎȐ Ȗ ȞȎȕȚȓȞ ȑȞȎțȡș ȦȖȣȠȩ. ǽȞȖ ȞȎȕȚȓșȪȥȓțȖȖ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ ȝȎȞȜȐ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȓȓ ȚȓȣȎțȜȣȖȚȖȥȓȟȘȎȭ ȎȘȠȖȐȎȤȖȭ, ȠȜ ȓȟȠȪ ȐȑȞȎțȡșȎȣ ȦȖȣȠȩ țȎȘȎȝșȖȐȎȓȠȟȭ ȫțȓȞȑȖȭ ȖȕȏȩȠȜȥțȜȗ ȒȓȢȜȞȚȎȤȖȖ. ȀȎȘȖȓ ȒȓȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȓ ȑȞȎțȡșȩ, ȜȏșȎȒȎȭ ȏȜșȪȦȓȗ ȟȐȜȏȜȒțȜȗ ȫțȓȞȑȖȓȗ, ȥȓȚ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȩ, ȝȞȖ ȜȒȖțȎȘȜȐȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȏȡȒȡȠ ȖȚȓȠȪ ȏȜșȪȦȓȓ ȒȎȐșȓțȖȓ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȣ ȝȎȞȜȐ. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȟșȓȒȡȓȠȡȥȖȠȩȐȎȠȪ, ȥȠȜȞȎȕșȖȥțȩȓȝȜșȖȠȖȝȩȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ ȖȚȓȬȠ ȞȎȕșȖȥțȩȓ ȫțȓȞȑȖȖ ȎȘȠȖȐȎȤȖȖ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȖȟȝȎȞȓțȖȭ.

DzȜ țȎȥȎșȎ 80-ȣ ȑȜȒȜȐ ȝȞȜȦșȜȑȜ ȐȓȘȎ ȚȓȠȜȒ ǹȓșȖ ȏȩș ȓȒȖțȟȠȐȓțțȩȚ ȝȞȜȚȩȦșȓțțȩȚ ȚȓȠȜȒȜȚ ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ Ȓșȭ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȜȗ ȝȞȜȚȩȦșȓțțȜȟȠȖ. DzȎȔȓ Ȑ țȎȟȠȜȭȧȓȓ ȐȞȓȚȭ ȢȖȞȚȎ SiCrystal (DZȓȞȚȎțȖȭ) ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭȓȠ ȘȜȚȚȓȞȥȓȟȘȖȓ ȝȜȟȠȎȐȘȖ ȝȜșȖȞȜȐȎțțȩȣ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ 6H- Ȗ 15R-SiC, ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȚ ǹȓșȖ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȟȠȜȖȚȜȟȠȪ ȜȒțȜȑȜ 1 ȚȚ2 ȘȞȖȟȠȎșșȎ ȝșȜȧȎȒȪȬ ȒȜ 100 ȚȚ2 ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ ȜȘȜșȜ 2€.

1.3. ǺȓȠȜȒ ȢȖȕȖȥȓȟȘȜȑȜ ȠȞȎțȟȝȜȞȠȎ ȝȎȞȜȐ

ǿȝȜțȠȎțțȜȓ ȕȎȞȜȔȒȓțȖȓ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ, ȝȞȖȟȡȧȓȓ ȚȓȠȜȒȡ ǹȓșȖ, ȝȞȖȐȜȒȖȠȘțȓȘȜțȠȞȜșȖȞȡȓȚȜȚȡȞȜȟȠȡȏȜșȪȦȜȑȜȘȜșȖȥȓȟȠȐȎȚȓșȘȖȣ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ. ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȕȎȠȞȎȐȜȘ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȖȕȏȓȔȎȠȪ ȫȠȖȣ țȓȒȜȟȠȎȠȘȜȐ Ȗ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȝȞȜȖȕȐȜȒȖȠȪ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȓ ȜȏȨȓȚțȩȣ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȣȘȞȖȟȠȎșșȜȐȏȜșȪȦȜȑȜȒȖȎȚȓȠȞȎ[9 12]. ǰȝȓȞȐȩȓ ȫȠȜȠ ȚȓȠȜȒ ȏȩș ȝȞȓȒșȜȔȓț ȄȐȓȠȘȜȐȩȚ ǰ.Ȃ. Ȗ ȀȎȖȞȜȐȩȚ Ȍ.Ǻ. Ȑ 1979 ȑȖȏȩșțȎȕȐȎțȎȐȠȜȞȎȚȖȚȜȒȖȢȖȤȖȞȜȐȎțțȩȚȚȓȠȜȒȜȚǹȓșȖ. ǰ țȎȟȠȜȭȧȓȓ ȐȞȓȚȭ ȓȑȜ țȎȕȩȐȎȬȠ ȚȓȠȜȒȜȚ ȢȖȕȖȥȓȟȘȜȑȜ ȠȞȎțȟȝȜȞȠȎ ȝȎȞȜȐ (Physical Vapour Transport – PVT). ǺȓȠȜȒ ȕȎȘșȬȥȎȓȠȟȭ Ȑ ȘȜțȒȓțȟȎȤȖȖȝȓȞȓȟȩȧȓțțȜȑȜȝȎȞȎ, ȐȜȕțȖȘȎȬȧȓȑȜȝȞȖȟȡȏșȖȚȎȤȖȖ ȟȖțȠȓȕȖȞȜȐȎțțȜȑȜ SiC țȎ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȡȬ ȕȎȠȞȎȐȘȡ. ǾȭȒ ȢȎȘȠȜȞȜȐ ȜȝȞȓȒȓșȭȬȠ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȜțțȩȗ ȞȜȟȠ. ǰȎȔțȓȗȦȖȚȖ Ȗȕ țȖȣ

ȭȐșȭȬȠȟȭ ȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȭ ȠȖȑșȭ Ȗ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȑ țȓȚ. ǸȞȖȟȠȎșșȩ ȟȠȞȓȚȭȠȟȭ ȞȎȟȠȖ ȐȒȜșȪ ȖȕȜȠȓȞȚ, Ȗ ȝȜȫȠȜȚȡ ȢȜȞȚȎ ȠȓȝșȜȐȜȑȜ ȝȜșȭ ȖȚȓȓȠ ȞȓȦȎȬȧȓȓ ȕțȎȥȓțȖȓ.

ǽȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȗȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȭ(ȦȖȣȠȎ) țȎȣȜȒȖȠȟȭȐ ȕȜțȓ ȐȩȟȜȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ (1800 2600°ǿ). ǽȎȞȩ ȝȜȟȠȡȝȎȬȠ Ș ȏȜșȓȓ ȣȜșȜȒțȜȚȡ ȘȞȖȟȠȎșșȡ-ȕȎȠȞȎȐȘȓ, țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȘȜȠȜȞȜȑȜ ȏșȎȑȜȒȎȞȭ ȝȓȞȓȟȩȧȓțȖȬȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠȘȞȖȟȠȎșșȖȕȎȤȖȭ. ǾȎȕȚȓȞȘȞȖȟȠȎșșȎȚȜȔțȜ ȡȐȓșȖȥȖȐȎȠȪȠȜșȪȘȜȝȜȟȠȓȝȓțțȜ, ȕȎȟȥȓȠȚțȜȑȜȘȞȎȠțȜȑȜȏȜȘȜȐȜȑȜȞȎȕȞȎȧȖȐȎțȖȭ. ǰȜȠșȖȥȖȓȜȠȚȓȠȜȒȎǹȓșȖ, ȑȒȓȠȞȓȏȡȬȠȟȭȚȖțȖȚȎșȪțȩȓ ȑȞȎȒȖȓțȠȩȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ, ȐȒȎțțȜȚȟșȡȥȎȓgradT ȒȜȟȠȖȑȎȬȠȕțȎȥȓțȖȗ 20 30 ȑȞȎȒ/cȚ. ǻȎȑȞȓȐȎȠȓșȪ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȞȓȕȖȟȠȖȐțȩȚ Ȗȕ ȑȞȎȢȖȠȎ, șȖȏȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ țȎȑȞȓȐ ȠȜȘȎȚȖ ȐȩȟȜȘȜȗ ȥȎȟȠȜȠȩ.

ȁȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ țȎȥȎșȪțȩȗ ȫȠȎȝ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭ ȒȜșȔȓț ȝȞȜȐȜȒȖȠȪȟȭ ȝȞȖ ȚȎșȩȣ ȟȘȜȞȜȟȠȭȣ ȞȜȟȠȎ [10, 12]. ǰ ȝȞȜȠȖȐțȜȚ ȟșȡȥȎȓ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȞȎȕȜȞȖȓțȠȖȞȜȐȎțțȩȣ ȏșȜȘȜȐ. ǽȞȖȥȖțȜȗ ȫȠȜȑȜ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȕȎȞȜȒȩȦȓȗ 3ǿ-SiC țȎ țȎȥȎșȪțȜȚ ȫȠȎȝȓ ȞȜȟȠȎ Ȗ Ȗȣ ȒȎșȪțȓȗȦȖȗ ȢȎȕȜȐȩȗ ȝȓȞȓȣȜȒ C-SiC B-SiC.

ǻȎ ȞȖȟ. 1.2Ȏ ȟȣȓȚȎȠȖȥȓȟȘȖ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎ ȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȭ ȠȖȑșȭ Ȓșȭ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ. ǻȎ Ȓțȓ ȠȖȑșȭ ȕȎȟȩȝȎțȎ ȦȖȣȠȎ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȬȧȎȭ

ǾȖȟ. 1.2. ǸȜțȟȠȞȡȘȤȖȖ ȞȜȟȠȜȐȩȣ ȭȥȓȓȘ: 1 – ȘȞȖȟȠȎșș-ȕȎȠȞȎȐȘȎ, 2 – ȖȟȠȜȥțȖȘ ȝȎȞȜȐ – ȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȗ ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ, 3 – ȠȖȑȓșȪ, 4 – ȠȓȝșȜȖȕȜșȭȤȖȭ. (Ȏ) ȚȓȠȜȒ (PVT), (ȏ) ȚȜȒȓȞțȖȕȖȞȜȐȎțțȩȗ ȚȓȠȜȒ PVT (Ǻ-PVT), (Ȑ) ȚȓȠȜȒ PVT ȟ țȓȝȞȓȞȩȐțȜȗ ȝȜȒȎȥȓȗȝȎȞȜȐ(CF-PVT), (ȑ) ȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȗ ȝȎȞȜȢȎȕțȩȗ ȚȓȠȜȒ (HTCVD) [3 8]

26 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȟȜȏȜȗȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȗȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȭ. dzȟșȖȐțȎȥȎșȓȝȞȜȤȓȟȟȎ ȞȜȟȠȎ ȦȖȣȠȎ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȎ ȞȎȐțȜȚȓȞțȜ, ȠȜ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȖ Ȗ ȘȞȖȟȠȎșșȖȕȎȤȖȖ ȐȩȕȩȐȎȬȠ ȫȐȜșȬȤȖȬ ȦȖȣȠȩ. ǸȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ ȖȟȝȎȞȭȓȠȟȭȖȕȜȏșȎȟȠȖȐțȖȔțȓȗȥȎȟȠȖȠȖȑșȭ, ȥȎȟȠȖȥțȜȘȜțȒȓțȟȖȞȡȓȠȟȭ

ȐȟȞȓȒțȓȗȥȎȟȠȖȦȖȣȠȩ,ȎȥȎȟȠȪȝȎȞȜȐȝȓȞȓțȜȟȖȠȟȭȐȕȜțȡȞȜȟȠȎ.ȋȠȜ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȟțȖȔȓțȖȬ ȝȜȠȜȘȎ ȝȎȞȜȐ Ȗ, ȘȎȘ ȞȓȕȡșȪȠȎȠ, Ș ȡȚȓțȪȦȓțȖȬ ȟȘȜȞȜȟȠȖȞȜȟȠȎ. ȁȝȞȎȐșȓțȖȓȟȘȜȞȜȟȠȪȬȞȜȟȠȎȐ ȝȞȜȤȓȟȟȓȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭȓȠȟȭȝȡȠȓȚȖȕȚȓțȓțȖȭȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȖȒȎȐșȓțȖȭȖțȓȞȠțȜȑȜ ȑȎȕȎ. ǿȘȜȞȜȟȠȪ ȞȜȟȠȎ ȖȕȚȓțȭȓȠȟȭ ȐȜ ȐȞȓȚȭ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭ Ȗ ȕȎȐȖȟȖȠȜȠȤȓșȜȑȜȞȭȒȎȢȎȘȠȜȞȜȐ: ȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȖȠȖȑșȭ, ȟȘȜȞȜȟȠȖțȎȑȞȓȐȎ, ȒȎȐșȓțȖȭ ȖțȓȞȠțȜȑȜ ȑȎȕȎ, ȖȟȣȜȒțȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȦȖȣȠȩ Ȗ ȒȞ.

ȋȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȩȐǶȂǽȖȚ. ǰ.dz. ǹȎȦȘȎȞȮȐȎǻǮǻȁȘȞȎȖțȩȝȜ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȬȟșȖȠȘȜȐSiC țȎȕȎȠȞȎȐȘȎȣȟȞȎȕșȖȥțȜȗȜȞȖȓțȠȎȤȖȓȗȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȖȣȜȟȓȗȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜ, țȓȟȚȜȠȞȭțȎȐȩȟȜȘȡȬȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȡȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭ(ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȕȎȠȞȎȐȘȖ >2300°ǿ), țȎȏșȬȒȎȬȠȟȭ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȩȓ ȞȎȕșȖȥȖȭ Ȑ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȜȟȠȎ țȎ ȞȎȕțȩȣ ȑȞȎțȭȣ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ. Dzșȭ ȜȤȓțȘȖ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȭ ȟȘȜȞȜȟȠȓȗ ȞȜȟȠȎ Ȑ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȘȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȖȣ țȎȝȞȎȐșȓțȖȭȣ Țȩ ȝȞȜȐȜȒȖșȖ ȞȜȟȠ

ȐȠȖȑșȓȟȤȖșȖțȒȞȖȥȓȟȘȜȗȟȖȚȚȓȠȞȖȓȗȠȓȝșȜȐȜȑȜȝȜșȭ. ǵȎȠȞȎȐȜȥțȩȓ ȘȞȖȟȠȎșșȩ ȕȎȘȞȓȝșȭșȖ Ȑ ȤȓțȠȞȓ ȐȓȞȣțȓȗ ȘȞȩȦȘȖ ȠȖȑșȭ, ȠȜ ȓȟȠȪ

ȐȤȓțȠȞȓȟȖȚȚȓȠȞȖȖȠȓȝșȜȐȜȑȜȝȜșȭ. ǽȞȖȞȎȐțȜȗȟȘȜȞȜȟȠȖȞȜȟȠȎȐ ȞȎȕșȖȥțȩȣ țȎȝȞȎȐșȓțȖȭȣ ȘȞȖȟȠȎșș Ȑ șȬȏȜȚ ȟȓȥȓțȖȖ ȝȎȞȎșșȓșȪțȜȚ ȕȎȠȞȎȐȘȓȒȜșȔȓțȝȜȐȠȜȞȭȠȪȓȓȢȜȞȚȡ. ǰȝȞȜȠȖȐțȜȚȟșȡȥȎȓȝȞȜȝȜȞȤȖȖ ȘȞȖȟȠȎșșȎ ȏȡȒȡȠ ȖȕȚȓțȭȠȪȟȭ Ȗ ȡȐȓșȖȥȖȐȎȠȪȟȭ Ȑ ȟȠȜȞȜțȡ ȏȜșȪȦȓȗ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȜȟȠȎ. ǻȎ ȞȖȟ. 1.3 ȟȣȓȚȎȠȖȥȓȟȘȖ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ ȟșȖȠȘȖ, ȐȩȞȎȧȓțțȩȓ țȎ ȕȎȠȞȎȐȘȎȣ, ȜȞȖȓțȠȖȞȜȐȎțțȩȣ ȝȓȞȝȓțȒȖȘȡșȭȞțȜ Ȗ ȝȎȞȎșșȓșȪțȜ ȜȟȖ ǿ. ǰ ȝȓȞȐȜȚ ȟșȡȥȎȓ ȢȜȞȚȎ ȘȞȖȟȠȎșșȎ ȜȠșȖȥȎȓȠȟȭ ȜȠ ȢȜȞȚȩ ȕȎȠȞȎȐȘȖ. ǸȞȖȟȠȎșș ȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐȓțțȜ ȞȎȕȞȎȧȖȐȎȓȠȟȭ

ȐȟȠȜȞȜțȡ ȐȓȘȠȜȞȎ Ȏ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ ȜȥȓȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȜȟȠȎ

ȐȞȎȕșȖȥțȩȣȘȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȖȣțȎȝȞȎȐșȓțȖȭȣȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȞȎȕșȖȥȎȬȠȟȭ. DzȎȔȓȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ2300 2350°ǿȜȠțȜȦȓțȖȓȟȘȜȞȜȟȠȓȗ

ȞȜȟȠȎȐțȎȝȞȎȐșȓțȖȖȝȎȞȎșșȓșȪțȜȚȜȟȖǿ(V¡¡) ȘȟȘȜȞȜȟȠȖȞȜȟȠȎȐțȎȝȞȎȐșȓțȖȖ ȝȓȞȝȓțȒȖȘȡșȭȞțȜȚ ȜȟȖ ǿ (V?) ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȡȬ ȐȓșȖȥȖțȡV¡¡/V?>1.3. ȋȠȜȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȓȠȜȠȜȚ, ȥȠȜșȖȚȖȠȖȞȡȬȧȓȗ ȟȠȎȒȖȓȗ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȞȜȟȠȎ ȭȐșȭȬȠȟȭ ȑȓȠȓȞȜȑȓțțȩȓ ȞȓȎȘȤȖȖ.

ǾȎȕșȖȥȖȓȐȟȘȜȞȜȟȠȭȣȞȜȟȠȎȘȞȖȟȠȎșșȜȐȐȜȝȞȓȒȓșȓțțȩȣȡȟșȜȐȖȭȣ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȝȜȒȎȐșȓțȖȬ ȞȜȟȠȎ ȘȞȖȟȠȎșșȎ țȎ ȕȎȠȞȎȐȘȓ ȟ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȓȗ(0001). ǾȜȟȠȟșȡȥȎȗțȩȣȕȎȞȜȒȩȦȓȗȝȞȜȖȕȐȜșȪțȜȗȜȞȖȓțȠȎȤȖȖ

ǾȖȟ. 1.3. ȂȜȞȚȩȟșȖȠȘȜȐ, ȐȩȞȎȧȓțțȩȣȐȞȎȕșȖȥțȩȣȘȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȖȣ țȎȝȞȎȐșȓțȖȭȣ: ȘȞȖȟȠȎșș 6H-SiC (Ȏ); ȟȠȞȜȓțȖȓ Ȗ ȢȜȞȚȎ ȟșȖȠȘȎ ȝȞȖ ȞȜȟȠȓ ȝȎȞȎșșȓșȪțȜȐȓȘȠȜȞȡǿ(ȏ); ȟȠȞȜȓțȖȓȖȢȜȞȚȎȟșȖȠȘȎȝȞȖȞȜȟȠȓȝȎȞȎșșȓșȪțȜ ȐȓȘȠȜȞȡ Ȏ (Ȑ). ǵȒȓȟȪ 1 – ȘȞȖȟȠȎșș ȕȎȠȞȎȐȘȎ, 2 – ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȎȭ ȥȎȟȠȪ ȟșȖȠȘȎ

ȐȏșȖȕȖ ȕȎȠȞȎȐȘȖ ȜȝȓȞȓȔȎȓȠ Ȑ ȞȜȟȠȓ ȕȎȠȞȎȐȘȡ ȟ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȓȗ (0001). ȋȠȜȝȞȖȐȜȒȖȠȘ«țȎȝȜșȕȎțȖȬ» ȖȣțȎȘȞȖȟȠȎșșȖȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬȞȎȕȜȞȖȓțȠȖȞȜȐȎțțȩȣ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ țȓȘȜțȠȞȜșȖȞȡȓȚȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ. ȅȎȧȓ ȐȟȓȑȜ ȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭ ȝȜșȖȠȖȝȩ 6H, 4H ȖșȖ 15R.

ȂȜȞȚȎ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ, ȝȜșȡȥȎȓȚȩȣ ȚȓȠȜȒȜȚ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȖ, ȐȜ ȚțȜȑȜȚ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȓȗ ȞȜȟȠȜȐȜȗ ȭȥȓȗȘȖ. dzȓ ȖȕȚȓțȓțȖȓ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȡȝȞȎȐșȭȠȪ ȢȞȜțȠȜȚ ȞȜȟȠȎ Ȗ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ, ȢȜȞȚȜȗ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ. ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȠȓȝșȜȐȜȑȜ ȝȜșȭ ȟ ȟȖȚȚȓȠȞȖȓȗ ȏșȖȕȘȜȗ Ș ȟȢȓȞȖȥȓȟȘȜȗ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȐȓȟȠȖ ȞȎȕȞȎȧȖȐȎțȖȓ ȘȞȖȟȠȎșșȎ ȜȒțȜȐȞȓȚȓțțȜ Ȑ ȒȐȡȣ Ȏ Ȗ ǿ țȎȝȞȎȐșȓțȖȭȣ [13, 14]. ȂȜȞȚȎ ȢȞȜțȠȎ ȞȜȟȠȎ ȠȎȘȔȓȐșȖȭȓȠțȎȜȒțȜȞȜȒțȜȟȠȪ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ șȓȑȖȞȡȬȧȖȣȝȞȖȚȓȟȓȗ Ȑ ȟșȖȠȘȎȣ. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [15] ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȜȟȪ ȐșȖȭțȖȓ ȢȜȞȚȩ ȢȞȜțȠȎ țȎ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȐȘșȬȥȓțȖȗ ȝȜșȖȠȖȝȎ 15R-SiC ȝȞȖ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȖ ȟșȖȠȘȜȐ6H-SiC. ȁȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜȝȞȖȞȜȟȠȓțȎȐȜȑțȡȠȜȗȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȕȎȠȞȎȐȜȥțȜȑȜ ȘȞȖȟȠȎșșȎ ȝȜșȖȠȖȝ 15R-SiC ȕȎȞȜȔȒȎȓȠȟȭ Ȑ ȕȜțȓ ȏșȖȕȘȜȗ Ș ȝȓȞȖȢȓȞȖȖ ȘȞȖȟȠȎșșȎ. Dzșȭ ȜȏȨȭȟțȓțȖȭ ȝȞȖȥȖț ȕȎȞȜȔȒȓțȖȭ

28 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

15R-SiC Ȑ ȘȞȖȟȠȎșșȎȣ 6H-SiC, ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȎ ȚȜȒȓșȪ ȟȠȡȝȓțȥȎȠȜȑȜ ȞȜȟȠȎ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȟȠȡȝȓțȖ ȞȜȟȠȎ ȞȎȕșȖȥțȜȗ ȐȩȟȜȠȩ, ȕȎȞȜȔȒȎȬȠȟȭ ȜȠ ȞȎȕșȖȥțȩȣȚȓȟȠțȡȘșȓȎȤȖȖ, ȥȠȜȝȞȖȐȜȒȖȠȘȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬȐȘșȬȥȓ- țȖȗ15R-SiC. ȁȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜȝȞȖȚȓțȓțȖȓȕȎȠȞȎȐȜȥțȩȣȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȟȜȟșȓȑȘȎȐȩȝȡȘșȩȚȢȞȜțȠȜȚȞȜȟȠȎȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȓȠȏȜșȓȓȟȠȎȏȖșȪțȩȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ, ȥȓȚ ȐȜȑțȡȠȩȗ ȖșȖ ȐȩȝȡȘșȩȗ ȖțȠȓȞȢȓȗȟ [15].

ȁȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ ȝȞȖ ȞȎȕȞȎȧȖȐȎțȖȖ ȕȎȠȞȎȐȜȘ SiC ȟ ȞȎȕșȖȥțȜȗ ȘȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȜȗ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȓȗ Ȑȟȓ ȝșȜȟȘȜȟȠȖ, ȘȞȜȚȓ (0001) ƙ, ȖȚȓȬȠ ȐȩȟȜȘȡȬ ȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȪ ȝȞȖ ȝȓȞȓȒȎȥȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȜȗ ȖțȢȜȞȚȎȤȖȖ. ȃȜȞȜȦȎȭ ȐȜȟȝȞȜȖȕȐȜȒȖȚȜȟȠȪ ȝȜșȖȠȖȝȎ țȎ ȐȖȤȖțȎșȪțȜȗ ȑȞȎțȖ (0001) Si ȟ ȚȎșȩȚ ȡȑșȜȚ ȞȎȕȜȞȖȓțȠȎȤȖȖ ȜȏȨȭȟțȭȓȠȟȭ ȏȜșȓȓ ȐȩȟȜȘȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȪȬ ȟȠȡȝȓțȓȗ ȞȜȟȠȎ. ǼȏȩȥțȜ ȞȜȟȠ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȟ ȔȓșȎȓȚȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȜȗ ȝȜșȖȠȖȝȎ ȝȞȜȐȜȒȖȠȟȭ țȎ ȕȎȠȞȎȐȘȎȣ ȠȜȑȜ Ȕȓ ȝȜșȖȠȖȝȎ țȎ ȝșȜȟȘȜȟȠȭȣ (1100), (1120) ȖșȖ ȝșȜȟȘȜȟȠȭȣ ȟ ȜȠȘșȜțȓțȖȓȚ ȜȠ ȜȟȖ ǿ țȎ ȚȎșȩȗȡȑȜș(ȒȜ10°). ȁȑȜș, ȐȜȟțȜȐțȜȚ, ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭȠȞȓȏȜȐȎțȖȭȚȖ Ș ȚȜȞȢȜșȜȑȖȖȐȩȞȎȧȖȐȎȓȚȜȑȜȘȞȖȟȠȎșșȎ. DzșȭȖȕȚȓțȓțȖȭȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȝȜșȖȠȖȝȎțȓȜȏȣȜȒȖȚȜȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȓȡȟșȜȐȖȗțȎțȎȥȎșȪțȜȗ ȟȠȎȒȖȖ ȞȜȟȠȎ, ȟȝȜȟȜȏȟȠȐȡȬȧȖȣȠȞȎțȟȢȜȞȚȎȤȖȖ. ȋȠȜȚȜȑȡȠȏȩȠȪțȓȟȠȎȏȖșȪțȩȓ ȡȟșȜȐȖȭȞȜȟȠȎ, ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓțȎȝȞȭȔȓțȖȭȕȎȟȥȓȠțȓȜȒțȜȞȜȒțȜȑȜșȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ, țȓȜȒțȜȞȜȒțȜȑȜȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȐ ȞȎȟȠȡȧȓȚ ȘȞȖȟȠȎșșȓ Ȗ ȐȐȓȒȓțȖȓ ȜȝȞȓȒȓșȓțțȩȣ ȝȞȖȚȓȟȓȗ.

ǰșȖȭțȖȓȝȜșȭȞțȜȟȠȖSiƙțȎȞȜȟȠȘȞȖȟȠȎșșȜȐȝȞȜȒȓȚȜțȟȠȞȖȞȜȐȎțȜȚȓȠȜȒȜȚȒȐȜȗțȩȣȕȎȠȞȎȐȜȘ, ȝȜȕȐȜșȭȬȧȖȚȝȞȜȐȜȒȖȠȪȜȒțȜȐȞȓȚȓțțȜȓ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȓ ȕȎȠȞȎȐȜȘ ȟ C Ȗ Si-ȝșȜȟȘȜȟȠȭȚȖ [15]. 4H-SiC ȘȞȖȟ- ȠȎșșȩȐȩȞȎȧȖȐȎșȖțȎC-ȝșȜȟȘȜȟȠȖ6ǻ-SiC ȕȎȠȞȎȐȜȥțȩȣȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȟon-axis ȜȞȖȓțȠȎȤȖȓȗȝȞȖȟȘȜȞȜȟȠȖȞȜȟȠȎ, ȝȞȓȐȩȦȎȬȧȓȗ1,2 ȚȚ/ȥȎȟ. ǮțȎșȜȑȖȥțȩȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȏȩșȖ ȝȜșȡȥȓțȩ Ȑ ȞȎȏȜȠȓ [16].

ǰ ȝȜȟșȓȒțȖȓ ȑȜȒȩ țȎȚȓȠȖșȟȭ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȗ ȝȞȜȑȞȓȟȟ Ȑ ȝȜȐȩȦȓțȖȖ ȞȎȕȚȓȞȎ, ȡșȡȥȦȓțȖȖ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȜȑȜ ȟȜȐȓȞȦȓțȟȠȐȎ Ȗ ȥȖȟȠȜȠȩ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ. ǽȜȚȖȚȜȒȜȟȠȎȠȜȥțȜȣȜȞȜȦȜȞȎȕȞȎȏȜȠȎțțȜȑȜȚȓȠȜȒȎPVT ȝȜȭȐȖșȖȟȪȟȜȜȏȧȓțȖȭȜțȜȐȩȣȚȓȠȜȒȎȣȞȜȟȠȎ [17 20]. ȋȠȜ ȚȜȒȖȢȖȤȖȞȜȐȎțțȩȗ ȚȓȠȜȒ ȢȖȕȖȥȓȟȘȜȑȜ ȠȞȎțȟȝȜȞȠȎ ȝȎȞȜȐM-PVT ȖȚȓȠȜȒțȓȝȞȓȞȩȐțȜȗȝȜȒȎȥȖContinuous Feed PVT (CFPVT). ǽȜȟșȓȒțȖȗ ȚȓȠȜȒ ȜȏȨȓȒȖțȭȓȠ ȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐȎ ȚȓȠȜȒȜȐ PVT Ȗ CVD. ǻȎ ȞȖȟ. 1.2ȏ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎ ȟȣȓȚȎ ȚȜȒȓȞțȖȕȖȞȜȐȎțțȜȑȜ ȚȓȠȜȒȎ – PVT. ǼțȎȒȜȝȜșțȓțȎȠȞȡȏȘȜȗȒșȭȝȜȟȠȡȝșȓțȖȭȑȎȕȜȐȩȣȟȚȓȟȓȗ. ȋȠȜȝȜȕȐȜșȭȓȠȝȞȜȐȜȒȖȠȪșȓȑȖȞȜȐȎțȖȓȟșȖȠȘȜȐ(ȏȡșȪ) SiC ȐȝȞȜȤȓȟȟȓ ȞȜȟȠȎ (in situ), Ȏ ȠȎȘȔȓ ȞȓȑȡșȖȞȜȐȎȠȪ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȓ Si / C ȐȐȓȒȓțȖȓȚ

Si- ȖșȖC-ȟȜȒȓȞȔȎȧȖȣȘȜȚȝȜțȓțȠȠȖȝȎȟȖșȎțȎȖșȖ ȝȞȜȝȎțȎ[18, 19]. ǻȎ ȞȖȟ. 1.2ȐȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎȟȣȓȚȎ, ȝȜȕȐȜșȭȬȧȎȭȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȠȪȝȜȟȠȜȭțțȡȬȝȜȟȠȎȐȘȡȝȎȞȜȐȘȞȎȟȠȡȧȓȚȡȘȞȖȟȠȎșșȡ, ȝȡȠȓȚȝȞȜȝȡȟȘȎțȖȭ ȘȜȚȝȜțȓțȠ Ȑ ȐȖȒȓ ȝȎȞȜȐ ȥȓȞȓȕ ȦȖȣȠȡ [21]. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [22] ȟȜȜȏȧȎȓȠȟȭ Ȝ ȞȎȕȞȎȏȜȠȘȓ Ȗ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖ ȡȟȜȐȓȞȦȓțȟȠȐȜȐȎțțȜȑȜ PVT ȚȓȠȜȒȎ Ȓșȭ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭ ȟșȖȠȘȜȐ ȏȜșȪȦȜȑȜ ȒȖȎȚȓȠȞȎ (2´ Ȗ ȏȜșȓȓ 3´) ȝȜșȡȖȕȜșȖȞȡȬȧȓȑȜ Ȗ șȓȑȖȞȜȐȎțțȜȑȜ SiC. ȋȠȜȠ ȚȓȠȜȒ (Advanced PVT ȖșȖAPVT) ȟȜȥȓȠȎȓȠȡțȖȘȎșȪțȡȬȑȓȜȚȓȠȞȖȬȞȜȟȠȎȖȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȡșȪȠȞȎȥȖȟȠȜȑȜ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ ȝȎȞȜȐ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ [23]. ǼȟțȜȐțȩȚȖ ȢȎȘȠȜȞȎȚȖ, ȐȩȕȩȐȎȬȧȖȚȖ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ ȝȞȖ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȖ SiC ȚȓȠȜȒȜȚ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȖ ȖșȖ ȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȚ CVD, ȭȐșȭȬȠȟȭ ȞȎȕșȖȥțȜȑȜ ȞȜȒȎ țȎȞȡȦȓțȖȭ ȜȒțȜȞȜȒțȜȟȠȖ (ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȓ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ, ȝȜȟȠȜȞȜțțȖȓ ȐȘșȬȥȓțȖȭ Ȗ Ƞ. ȝ) Ȗ țȎȟșȓȒȜȐȎțȖȓ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ Ȗȕ ȕȎȠȞȎȐȜȥțȜȑȜ ȘȞȖȟȠȎșșȎ.

ǰȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȩȣȝȜșȖȠȖȝȎȣSiC șȬȏȜȓȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȓȖȞȓȦȓȠȜȥțȜȓ țȓȟȜȐȝȎȒȓțȖȓ ȖșȖ ȖțȜȗ ȠȖȝ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ țȎȖȏȜșȓȓ ȐȓȞȜȭȠțȜ, ȏȡȒȓȠ ȟțȖȚȎȠȪȟȭ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ ȖșȖ ȟȘȜșȪȔȓțȖȓȚ 1/3 1120§ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ ȖșȖ Ȗȣ ȥȎȟȠȖȥțȩȣ ȘȜȚȝȜțȓțȠ, 1/3 1010§ Ȑ ȏȎȕȜȐȜȗ (0001) ȝșȜȟȘȜȟȠȖ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, Ȓșȭ ȟțȖȔȓțȖȭ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ țȓȜȏȣȜȒȖȚȠȧȎȠȓșȪțȩȗȐȩȏȜȞȖȝȜȒȑȜȠȜȐȘȎȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȕȎȠȞȎȐȜȘȟ țȖȕȘȜȗȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ, ȎȠȎȘȔȓȟȠȎȏȖșȖȕȎȤȖȭȡȟșȜȐȖȗ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭ.

ǰȞȎȏȜȠȎȣ[24,25] ȒșȭȟțȖȔȓțȖȭȝșȜȠțȜȟȠȖȒȖȟșȜȘȎȤȖȗȐȟșȖȠȘȎȣ ȝȞȓȒșȎȑȎȓȠȟȭȠȎȘțȎȕȩȐȎȓȚȩȗRAF ȝȞȜȤȓȟȟ(Repeated A-Face (RAF) growth process) ȒșȭȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭȏȓȕȒȖȟșȜȘȎȤȖȜțțȩȣȕȎȠȞȎȐȜȥțȩȣ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ. ǼțȟȜȟȠȜȖȠȐȝȜȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜȚ ȞȜȟȠȓțȎȎ-ȑȞȎțȖȐȒȜșȪ1120§ ȖșȖ 1100§ Ȗ ȞȜȟȠȓ țȎ ȟ-ȑȞȎțȖ ȐȒȜșȪ ȜȟȖ ȟ Ȗ ȐȩȝȜșțȭȓȠȟȭ

ȐțȓȟȘȜșȪȘȜ (N= 2, 3, 4,…) ȫȠȎȝȜȐ. ǻȎ 1-ȜȚ ȫȠȎȝȓ ȞȜȟȠ ȝȞȜȐȜȒȖȠȟȭ țȎ Ȏ-ȑȞȎțȖ Ȑ țȎȝȞȎȐșȓțȖȖ 1120§ ȖșȖ 1100§. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȘȞȖȟȠȎșș ȞȎȟȠȓȠȟȒȜȐȜșȪțȜȐȩȟȜȘȜȗȝșȜȠțȜȟȠȪȬȒȖȟșȜȘȎȤȖȗȞȎȟȝȜșȜȔȓțțȩȣ ȝȎȞȎșșȓșȪțȜțȎȝȞȎȐșȓțȖȬȞȜȟȠȎ. ǻȎ2-ȜȚȫȠȎȝȓȐȘȎȥȓȟȠȐȓȕȎȠȞȎȐȘȖ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȘȞȖȟȠȎșș, ȝȜșȡȥȓțțȩȗ ȝȞȖ ȐȩȝȜșțȓțȖȖ 1-ȜȑȜ ȫȠȎȝȎ, țȜȝȞȖȫȠȜȚȖȕȚȓțȭȬȠ țȎȝȞȎȐșȓțȖȓ ȞȜȟȠȎȘȞȖȟȠȎșșȎ țȎ90°. ǰ ȫȠȜȚ ȟșȡȥȎȓ ȏȜșȪȦȖțȟȠȐȜ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ țȓ ȐȩȣȜȒȖȠ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ ȕȎȠȞȎȐȜȥțȜȑȜ ȘȞȖȟȠȎșșȎ, ȠȎȘ ȘȎȘ ȜțȖ țȎȝȞȎȐșȓțȩ ȝȓȞȝȓțȒȖȘȡșȭȞțȜ țȎȝȞȎȐșȓțȖȬ ȞȜȟȠȎ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ ȝȜȟșȓ ȐȩȝȜșțȓțȖȭ 2-ȜȑȜ ȫȠȎȝȎ ȚȜȔțȜ ȝȜșȡȥȖȠȪ ȘȞȖȟȠȎșș ȟ ȝȜțȖȔȓțțȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȪȬ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ. ǻȎȫȠȎȝȓ3, țȓȜȏȣȜȒȖȚȜȡȟȠȞȎțȖȠȪȒȓȢȓȘȠȩȡȝȎȘȜȐȘȖ, ȐȜȕțȖȘȎȬȧȖȓ

30 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȏșȎȑȜȒȎȞȭ ȝȞȜȐȓȒȓțȖȬ ȞȜȟȠȎ țȎ Ȏ-ȑȞȎțȖ. Dzșȭ ȫȠȜȑȜ țȎ 3-ȓȚ ȫȠȎȝȓ ȘȞȖȟȠȎșș ȜȞȖȓțȠȖȞȡȓȠȟȭ ȠȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȥȠȜȏȩ ȞȜȟȠ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖș țȎ ȟ-ȑȞȎțȖ. ȋȠȜ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȟțȖȔȓțȖȬ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȡȝȎȘȜȐȘȖ Ȗ ȥȎȟȠȖȥțȩȣ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ, ȝȜȟȘȜșȪȘȡ ȫȠȖ ȒȓȢȓȘȠȩ ȚȜȑȡȠ ȞȎȟȝȞȜȟȠȞȎțȭȠȪȟȭ ȠȜșȪȘȜ ȐȒȜșȪ ȜȟȖ ȟ.

ǿȘȜȞȜȟȠȪ ȞȜȟȠȎ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐ Ȗ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȓȐ ȜȘȎȕȩȐȎȓȠ ȞȓȦȎȬȧȓȓ ȐșȖȭțȖȓ țȎ Ȗȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȜȓ ȟȜȐȓȞȦȓțȟȠȐȜ Ȗ ȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȬ. ǶȕȐȓȟȠțȜ, ȥȠȜ ȝȎȞȜȐȎȭ ȢȎȕȎ ȝȞȖ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȜțțȜȚ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȖSiC ȜȏȜȑȎȧȓțȎȘȞȓȚțȖȓȚ. ǿȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜȖȎȒȟȜȞȏȤȖȜțțȩȗȟșȜȗțȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȞȎȟȠȡȧȓȑȜȘȞȖȟȠȎșșȎȏȡȒȓȠȠȎȘȔȓȜȏȜȑȎȧȓțȘȞȓȚțȖȓȚ. ȀȎȘȖȚȜȏȞȎȕȜȚȟȜȟȠȎȐȞȎȟȠȡȧȓȑȜȘȞȖȟȠȎșșȎȒȜșȔȓț ȜȝȞȓȒȓșȭȠȪȟȭ ȒȜȟȠȎȐȘȜȗ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ș ȢȞȜțȠȡ ȞȜȟȠȎ. ǽȞȖ ȏȜșȪȦȖȣ ȟȘȜȞȜȟȠȭȣ ȞȜȟȠȎ Vp, ȘȜȑȒȎ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖ ȎȠȜȚȜȐ ȡȑșȓȞȜȒȎ Vc ȚțȜȑȜȚȓțȪȦȓȟȘȜȞȜȟȠȖȞȜȟȠȎVp, ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȡȑșȓȞȜȒȎȐ ȘȞȖȟȠȎșșȓ ȏȡȒȓȠ ȜȝȞȓȒȓșȭȠȪȟȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ ȓȑȜ Ȑ ȎȒȟȜȞȏȤȖȜțțȜȚ ȟșȜȓ. ǽȞȖ ȚȎșȩȣ ȟȘȜȞȜȟȠȭȣ ȞȜȟȠȎ Vp Vc ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ȑ ȘȞȖȟȠȎșșȓ ȏȡȒȓȠ ȏșȖȕȘȎ Ș ȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȜȗ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ ȞȎȐțȜȐȓȟțȜȓ ȕțȎȥȓțȖȓ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȜȟȠȎ ȞȎȐțȜ

ȑȒȓDc –ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȒȖȢȢȡȕȖȖȡȑșȓȞȜȒȎ, E –ȠȜșȧȖțȎȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜ ȝȜȑȞȎțȖȥțȜȑȜȟșȜȭ. ǼȤȓțȘȖȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎȒȖȢȢȡȕȖȖȡȑșȓȞȜȒȎȐ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 2000°ǿ ȒȎȬȠ Dcx1.10 11 ȟȚ2/ȟ [26]. ǰȓșȖȥȖțȎ E ȞȎȐțȎ ȐȩȟȜȠȓ ȟȠȡȝȓțȖ ȞȜȟȠȎ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȓȗ ȞȎȕȚȓȞȡ ȜȒțȜȗȖșȖțȓȟȘȜșȪȘȖȣȫșȓȚȓțȠȎȞțȩȣȭȥȓȓȘ. Dzșȭ6ǻ-SiC ȝȜȟȠȜȭțțȎȭ ȞȓȦȓȠȘȖ ȟ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ 15.078 Å. ǽȜȒȟȠȎȐșȭȭ ȫȠȖ ȕțȎȥȓțȖȭ Ȑ (1.1) ȝȜșȡȥȖȚ, ȥȠȜ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 2000°ǿ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȞȜȟȠȎ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ țȓ ȒȜșȔțȎ ȝȞȓȐȩȦȎȠȪ ȕțȎȥȓțȖȭ VȞ< 0.96 2.4 ȚȚ/ȥȎȟ.

dzȟșȖ ȡȟșȜȐȖȭ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭ ȒȎșȓȘȖ ȜȠ ȞȎȐțȜȐȓȟțȩȣ, ȠȜ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȓ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȗ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ȑ ȞȎȟȠȡȧȓȚ ȘȞȖȟȠȎșșȓ ȜȠșȖȥȎȓȠȟȭ ȜȠ ȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȕțȎȥȓțȖȭ. ȋȠȜ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ ȠȜȥȓȥțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȕȎ ȟȥȓȠ ȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȭ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȐȎȘȎțȟȖȗ. ǽȞȖȥȓȚȐȎȘȎțȟȖȖȖȚȓȬȠȟșȡȥȎȗțȩȗ ȣȎȞȎȘȠȓȞȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭȐȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗȞȓȦȓȠȘȓȖȝȜȫȠȜȚȡȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȟțȖȔȎȬȠ ȝȜȒȐȖȔțȜȟȠȪ țȜȟȖȠȓșȓȗ ȕȎȞȭȒȎ. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȓ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ ȟȐȓȠȎ Ȑ ȦȖȞȜȘȜȚ ȒȖȎȝȎȕȜțȓȒșȖțȐȜșț. ǰȠȎȘȖȣȘȞȖȟȠȎșșȎȣțȎȏșȬȒȎȓȠȟȭșȖțȓȗȥȎȠȎȭ

șȬȚȖțȓȟȤȓțȤȖȭȟȜȟȝȓȘȠȞȜȚDz1, ȜȏȩȥțȜȝȞȜȭȐșȭȬȧȎȭȟȭȐȜȏȞȎȕȤȎȣ, Ȝȏșȡȥȓțțȩȣ ȐȩȟȜȘȜȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȖȚȖ ȥȎȟȠȖȤȎȚȖ.

ǽȞȖȜȞȑȎțȖȕȎȤȖȖȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎȟșȖȠȘȜȐȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭțȓȜȏȣȜȒȖȚȜȐȝȓȞȐȡȬȜȥȓȞȓȒȪȟȜȕȒȎȠȪȏȎțȘȕȎȠȞȎȐȜȥțȩȣȘȞȖȟȠȎșșȜȐȠȞȓȏȡȓȚȜȑȜ ȞȎȕȚȓȞȎ Ȗ ȝȜșȖȠȖȝțȜȑȜ ȟȜȟȠȎȐȎ. ǸȜȚȚȓȞȥȓȟȘȖȓ ȘȞȖȟȠȎșșȩ ȞȎȕșȖȥțȩȣȢȖȞȚȖȚȓȬȠȠȜșȧȖțȡȝȜȞȭȒȘȎ350 ȚȘȚ, ȫȠȜțȓȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȒșȭȖȣȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȭȐȘȎȥȓȟȠȐȓȕȎȠȞȎȐȜȥțȩȣȘȞȖȟȠȎșșȜȐ. ǽȜȫȠȜȚȡ ȘȎȔȒȩȗȝȞȜȖȕȐȜȒȖȠȓșȪ ȐȩțȡȔȒȓțȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȠȪ ȖȣȟȎȚȜȟȠȜȭȠȓșȪțȜ. ǸȠȎȘȖȚȘȞȖȟȠȎșșȎȚȝȞȓȒȨȭȐșȭȬȠȟȭȟȎȚȩȓȐȩȟȜȘȖȓȠȞȓȏȜȐȎțȖȭ: ȚȖțȖȚȎșȪțȎȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ, ȜȠȟȡȠȟȠȐȖȓ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȡȝȎȘȜȐȘȖ, țȎȝȞȭȔȓțȖȗ Ȗ ȞȎȕȜȞȖȓțȠȖȞȜȐȎțțȩȣ ȜȏșȎȟȠȓȗ.

ǰ țȎȟȠȜȭȧȓȓ ȐȞȓȚȭ ȚȓȠȜȒ PVT ȭȐșȭȓȠȟȭ ȜȟțȜȐțȩȚ ȟȝȜȟȜȏȜȚ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ Ȗ ȝȜȒșȜȔȓȘ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȏȜșȪȦȖȣ ȞȎȕȚȓȞȜȐ. ǼȒțȎȘȜ ȟȠȜȖȚȜȟȠȪ ȠȎȘȖȣ ȝȜȒșȜȔȓȘ ȜȟȠȎȓȠȟȭ ȜȥȓțȪ ȐȩȟȜȘȜȗ (ȠȎȏșȖȤȎ 1.1).

1.4. ǿȫțȒȐȖȥ-ȚȓȠȜȒ

ȋȠȜȠȚȓȠȜȒȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȒșȭțȎțȓȟȓțȖȭ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȓȐ țȎ ȘȞȖȟȠȎșșȩ Ȗ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ. ǼȟțȜȐțȜȗ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȪȬ ȟȫțȒȐȖȥ-ȚȓȠȜȒȎ ȖșȖ ȚȓȠȜȒȎ ȚȎșȩȣ ȝȞȜȚȓȔȡȠȘȜȐ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȠȜ, ȥȠȜȖȟȠȜȥțȖȘȜȚȖȕȎȠȞȎȐȘȜȗȟșȡȔȎȠȘȞȖȟȠȎșșȩȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ. ǾȜȟȠ Ȑ ȠȎȘȖȣ ȟȖȟȠȓȚȎȣ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȓȠȟȭ ȚȎșȩȚȖ ȝȜȠȓȞȭȚȖ ȘȜȚȝȜțȓțȠ ȝȎȞȜȐȜȗ ȢȎȕȩ Ȗ ȜȥȓțȪ ȐȩȟȜȘȜȗ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȜȟȠȪȬ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȝȓȞȓțȜȟȎ [27 32].

ǼȒțȜ Ȗȕ ȜȟțȜȐțȩȣ ȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐ ȚȓȠȜȒȎ – ȘȐȎȕȖȖȕȜșȖȞȜȐȎțțȜȟȠȪ ȝȎȞȩ ȖȟȠȜȥțȖȘ ȝȜȒșȜȔȘȎ ȜȠ ȐțȓȦțȓȗ ȟȞȓȒȩ, ȥȠȜ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȝȜșȡȥȎȠȪ ȏȓȕȒȖȟșȜȘȎȤȖȜțțȩȓ Ȗ ȟșȎȏȜșȓȑȖȞȜȐȎțțȩȓ ȐȩȟȜȘȜȜȚțȩȓ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ. ǽȡȠȓȚ ȖȕȚȓțȓțȖȭ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȗ/ȖșȖ ȑȞȎȒȖȓțȠȎ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȚȜȔțȜ șȓȑȘȜ ȞȓȑȡșȖȞȜȐȎȠȪ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȓ

32 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 1.4. ǿȣȓȚȎȞȎȟȝȜșȜȔȓțȖȭ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȝȞȖ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖ ȟȫțȒȐȖȥ-ȚȓȠȜȒȎ (a); – ȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȭ ȞȜȟȠȜȐȜȗ ȭȥȓȗȘȖ Ȗ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȑ ȚȓȠȜȒȓ ȝȞȭȚȜȑȜ ȟȖțȠȓȕȎ (ȏ)

ȟȘȜȞȜȟȠȓȗ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜ ȚȎȟȟȜȝȓȞȓțȜȟȎ Ȗ ȑȓȠȓȞȜȑȓțțȩȣ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȣ ȞȓȎȘȤȖȗ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȭȣ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ Ȗ ȝȜȒșȜȔȘȖ. ǻȎ ȞȖȟ. 1.4Ȏ ȝȜȘȎȕȎțȜ ȐȕȎȖȚțȜȓ ȞȎȟȝȜșȜȔȓțȖȓ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ Ȑ ȟȫțȒȐȖȥ ȭȥȓȗȘȓ. ǸȞȖȟȠȎșș, țȎȣȜȒȭȧȖȗȟȭ Ȑ ȕȜțȓ ȟ ȏȜșȪȦȓȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȜȗ ȟșȡȔȖȠ ȖȟȠȜȥțȖȘȜȚȝȎȞȜȐ, ȎȟȚȓțȪȦȓȗ – ȝȜȒșȜȔȘȜȗ, țȎȘȜȠȜȞȜȗȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȗȞȜȟȠ. ǽȞȖȚȎșȩȣȞȎȟȟȠȜȭțȖȭȣd ȚȓȔȒȡȖȟȠȜȥțȖȘȜȚ Ȗ ȝȜȒșȜȔȘȜȗ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȜȟȠȎ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȓȐ țȎ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȑȞȎțȭȣ ȘȞȖȟȠȎșșȎ ȞȎȕșȖȥȎȬȠȟȭ. ǽȞȖȥȓȚ țȎ ȑȞȎțȖ (0001) C ȜțȎ ȐȩȦȓ, ȥȓȚ țȎ ȑȞȎțȭȣ (0001) Si Ȗ (1210). ȁȐȓșȖȥȓțȖȓ ȞȎȟȟȠȜȭțȖȭ d ȝȞȖȐȜȒȖȠȘȡȚȓțȪȦȓțȖȬȟȘȜȞȜȟȠȖȞȜȟȠȎȖȟțȖȔȓțȖȬȐșȖȭțȖȭȑȞȎțȖ. ǽȞȖȞȎȟȟȠȜȭțȖȖd> 1.5 ȚȚȝȜșȭȞțȜȟȠȪȑȞȎțȖȡȔȓȚȎșȜȟȘȎȕȩȐȎȓȠȟȭ țȎ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȜȟȠȎ.

ǸȎȥȓȟȠȐȜȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȓȐ, ȝȜșȡȥȓțțȩȣȟȫțȒȐȖȥ-ȚȓȠȜȒȜȚ Ȑ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȗ ȟȠȓȝȓțȖ ȕȎȐȖȟȖȠ ȘȎȘ ȜȠ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȑȜ ȞȓȔȖȚȎ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭ, ȠȎȘ Ȗ ȜȠ ȘȎȥȓȟȠȐȎ ȝȞȓȒȐȎȞȖȠȓșȪțȜȗ ȝȜȒȑȜȠȜȐȘȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ. ǰ ȞȭȒȓ ȞȎȏȜȠ ȞȓȘȜȚȓțȒȡȬȠ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎȠȪ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȜțțȜȓ ȠȞȎȐșȓțȖȓ ȝȜȒșȜȔȓȘ Ȑ ȞȜȟȠȜȐȜȗ ȝȓȥȖ țȓȝȜȟȞȓȒȟȠȐȓțțȜ ȝȓȞȓȒ ȝȞȜȐȓȒȓțȖȓȚ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭ ȝșȓțȘȖ. ȀȎȘȜȓ ȠȞȎȐșȓțȖȓ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȝȜșȖȞȡȬȧȖȚ Ȓșȭ ȑȞȎțȓȗ (0001) Si Ȗ (0001) C. ǿȡȏșȖȚȎȤȖȜțțȜȓȠȞȎȐșȓțȖȓȡȚȓțȪȦȎȓȠȠȜșȧȖțȡȝȓȞȓȣȜȒțȜȑȜȟșȜȭ ȚȓȔȒȡ ȝȜȒșȜȔȘȜȗ Ȗ ȝșȓțȘȜȗ ȒȜ ȐȓșȖȥȖțȩ Țȓțȓȓ 1 ȚȘȚ.

1.5. ǽȞȭȚȜȗ ȟȖțȠȓȕ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ

ǼȒțȖȚ Ȗȕ ȟȝȜȟȜȏȜȐ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȚȓȠȜȒ ȝȞȭȚȜȑȜ ȟȖțȠȓȕȎ SiC Ȗȕ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒȎ. ǰ ȞȎȕțȩȓ ȑȜȒȩ ȚȓȠȜȒ ȖȚȓș ȞȎȕșȖȥțȩȓ țȎȕȐȎțȖȭ: ȚȓȠȜȒ ǻȜȞȠȜțȎ, ȚȓȠȜȒ ǹȋȀǶ Ȗ ȒȞ [33 38]. ǶȚȓȬȠȟȭ ȟȜȜȏȧȓțȖȭ Ȝȏ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖ ȫȠȜȑȜ ȚȓȠȜȒȎ Ȓșȭ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭȟșȖȠȘȜȐ, ȜȒțȜȐȞȓȚȓțțȜȑȜȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭȘȞȖȟȠȎșșȜȐȟ ȖȟȝȜșȪ-

ȕȜȐȎțȖȓȚȏȜșȪȦȜȑȜȘȜșȖȥȓȟȠȐȎ ȕȎȠȞȎȐȜȘ, ȒșȭțȎțȓȟȓțȖȭ ȝȜȘȞȩȠȖȗ Ȗȕ SiC țȎ ȑȞȎȢȖȠȜȐȩȓ ȖȕȒȓșȖȭ Ȗ ȒȞ. ǻȎ ȞȖȟ. 1.4ȏ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎ ȟȣȓȚȎȠȖȥȓȟȘȜȓ ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȓ ȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȖ ȞȜȟȠȜȐȜȗ ȭȥȓȗȘȖ Ȗ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȑ țȓȗ.

ǼȟțȜȐțȩȓ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȓ ȞȓȎȘȤȖȖ Ȓșȭ ȫȠȜȑȜ ȟșȡȥȎȭ ȖȚȓȬȠ ȐȖȒ:

ǽȞȖȞȜȟȠȓȘȞȖȟȠȎșșȜȐȖȕȟȜȏȟȠȐȓțțȩȣȝȎȞȜȐȖȟȠȜȥțȖȘȝȎȞȎȒȜșȔȓțȖȚȓȠȪ ȏȜșȪȦȡȬ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȡ ȀȖȟȠ, ȥȓȚ ȞȎȟȠȡȧȖȗ ȘȞȖȟȠȎșș ȀȘȞ. ǾȎȕțȜȟȠȪ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ ȝȜșȜȔȖȠȓșȪțȎ %Ȁ= ȀȖȟȠ ȀȘȞ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȞȓȎȘȤȖȭ

ǽȞȖ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖ ȚȓȠȜȒȎ ȝȞȭȚȜȑȜ ȟȖțȠȓȕȎ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȖȕȞȎȕȒȓșȪțȩȣȖȟȠȜȥțȖȘȜȐȘȞȓȚțȖȭȖȡȑșȓȞȜȒȎ, ȝȎȞȏȜșȓȓșȓȠȡȥȓȑȜ ȘȜȚȝȜțȓțȠȎ(ȘȞȓȚțȖȭ), ȞȓȎȑȖȞȡȭȟȡȑșȓȞȜȒȜȚ, ȝȞȖȐȜȒȖȠȘȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȩȣ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ Si2C Ȗ SiC2 ȝȜ ȞȓȎȘȤȖȖ

ǿȜȑșȎȟțȜ ȜȤȓțȘȎȚ ǰ.Ȃ. ȄȐȓȠȘȜȐȎ [38] ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ Țȓțȓȓ 2000°ǿ ȒȎȐșȓțȖȓ ȝȎȞȜȐ ȕȎ ȟȥȓȠ ȞȓȎȘȤȖȖ (1.6) țȎ ȒȐȎ ȝȜȞȭȒȘȎ ȝȞȓȐȩȦȎȓȠȒȎȐșȓțȖȓȝȎȞȜȐȕȎȟȥȓȠȞȓȎȘȤȖȖ(1.5). ǽȞȖȝȜȐȩȦȓțȖȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȭ ȫȠȖȣ ȒȎȐșȓțȖȗ ȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ Ȗ ȝȞȖ 2600°ǿ ȫȠȜ ȜȠțȜȦȓțȖȓ ȝȞȖȏșȖȔȎȓȠȟȭ Ș ȓȒȖțȖȤȓ.

ǸȞȖȟȠȎșș-ȕȎȠȞȎȐȘȎ Ȗ ȘȞȓȚțȖȗ țȎȣȜȒȭȠȟȭ Ȑ ȕȜțȎȣ ȟ ȝȞȜȠȖȐȜȝȜșȜȔțȩȚȖ ȕțȎȘȎȚȖ ȑȞȎȒȖȓțȠȎ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ. ǾȓȎȘȤȖȖ ȟȖțȠȓȕȎ ȝȞȜȖȟȣȜȒȭȠ țȎ ȑȜȞȭȥȖȣ ȟȠȓțȘȎȣ ȠȖȑșȭ Ȑ ȜȏșȎȟȠȖ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ. ǽȞȖ țȓȏȜșȪȦȖȣ ȞȎȟȟȠȜȭțȖȭȣ ȚȓȔȒȡ ȖȟȠȜȥțȖȘȜȚ ȝȎȞȜȐ Ȗ ȕȎȠȞȎȐȘȜȗȚȎȟȟȜȝȓȞȓțȜȟȜȟȡȧȓȟȠȐșȭȓȠȟȭȚȜșȓȘȡșȭȞțȩȚȖȝȡȥȘȎȚȖ. ǽȞȖȒȎȐșȓțȖȭȣȚȓțȓȓ10 4 ǺǽȎȟȞȓȒțȭȭȒșȖțȎȟȐȜȏȜȒțȜȑȜȝȞȜȏȓȑȎ

34 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȎȠȜȚȜȐ Ȑ ȑȎȕȜȐȜȗ ȟȞȓȒȓ ȟȞȎȐțȖȚȎ ȟ ȞȎȕȚȓȞȎȚȖ ȠȖȑșȭ, ȠȎȘ ȥȠȜ ȎȠȜȚțȩȚȖ ȖșȖ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȩȚȖ ȟȠȜșȘțȜȐȓțȖȭȚȖ ȚȜȔțȜ ȝȞȓțȓȏȞȓȥȪ.

ǺȓȠȜȒ ȟȖțȠȓȕȎ Ȗȕ ȞȎȕȒȓșȪțȩȣ ȖȟȠȜȥțȖȘȜȐ ȚȜȔȓȠ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎȠȪȟȭ ȠȎȘȔȓ Ȓșȭ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭ ȠȜșȟȠȩȣ ȟșȜȓȐ ȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȜȗ ȥȖȟȠȜȠȩ, Ȏ ȠȎȘȔȓ Ȓșȭ țȎțȓȟȓțȖȭ ȕȎȧȖȠțȩȣ SiC ȝȜȘȞȩȠȖȗ țȎ ȑȞȎȢȖȠȜȐȡȬ ȜȟțȎȟȠȘȡ [39]. ǻȎ ȞȖȟ. 1.5. ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎ ȢȜȠȜȑȞȎȢȖȭ ȠȖȑșȭ Ȗȕ ȑȞȎȢȖȠȎ ȟ ȕȎȧȖȠțȩȚ SiC ȝȜȘȞȩȠȖȓȚ, ȝȜșȡȥȓțțȩȚȐǶȂǽȖȚ. ǰ.dz. ǹȎȦȘȎȞȮȐȎǻǮǻȁȘȞȎȖțȩȚȓȠȜȒȜȚ ȝȞȭȚȜȑȜ ȟȖțȠȓȕȎ. ǿȘȜȞȜȟȠȪ ȜȟȎȔȒȓțȖȭ ȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȑȞȎȒȖȓțȠȜȚ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȜȗ ȟȠȓțȜȘ ȟȖțȠȓȕȎȠȜȞȎ. ǽȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȏȜșȓȓ 2000°ǿ ȚȎȟȟȜȝȓȞȓțȜȟ ȚȜȔȓȠ ȒȜȟȠȖȑȎȠȪ 100 ȑ/ȥȎȟ. ǽȞȜȤȓȟȟ ȞȜȟȠȎ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ Ȑ țȓȞȎȐțȜȐȓȟțȩȣ ȡȟșȜȐȖȭȣ: ȐȩȟȜȘȎȭ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȚȎȟȟȜȝȓȞȓțȜȟȎ, ȏȜșȪȦȖȓ ȑȞȎȒȖȓțȠȩ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȖȐȩȟȜȘȜȓȝȓȞȓȟȩȧȓțȖȓ. ǼȟȎȔȒȓțȖȓțȎȥȖțȎȓȠȟȭȟȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭȕȎȞȜȒȩȦȓȗ. ǿșȜȗȝȜȘȞȩȠȖȭ, țȓȝȜȟȞȓȒȟȠȐȓțțȜȝȞȖȚȩȘȎȬȧȖȗ

ȘȑȞȎȢȖȠȡ, ȚȓșȘȜȕȓȞțȖȟȠȩȗ Ȗ ȏȓȟȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȗ. ǽȜ ȚȓȞȓ ȡȐȓșȖȥȓțȖȭ ȠȜșȧȖțȩ ȜȟȎȔȒȓțțȜȑȜ ȟșȜȭ Ȑȟȓ ȜȠȥȓȠșȖȐȓȓ ȝȞȜȭȐșȭȓȠȟȭ ȟȠȜșȏȥȎȠȎȭ ȢȜȞȚȎ ȕȓȞȓț Ȗ Ȗȣ ȠȓȘȟȠȡȞȖȞȜȐȎțțȜȟȠȪ. ǵȓȞțȎ ȝȞȖ ȜȟȎȔȒȓțȖȖ ȞȎȟȠȡȠ ȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐȓțțȜȝȜ țȜȞȚȎșȖȘȝȜȒșȜȔȘȓ(țȎȝȞȎȐșȓțȖȓȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȑȜ ȜȠȐȜȒȎ ȠȓȝșȎ), țȜ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȞȜȟȠȎ ȕȓȞȓț ȞȎȕțȜȗ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȖ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜ ȝȜȠȜȘȎ ȝȎȞȜȐ ȞȎȕșȖȥțȎ.

ǵȓȞțȎ ȜȞȖȓțȠȖȞȜȐȎțțȩȓ țȎȐȟȠȞȓȥȡ ȝȜȠȜȘȡ ȞȎȕȞȎȟȠȎȬȠȟȭ ȟȖșȪțȓȓ, ȝȜȒȎȐșȭȭ ȝȞȖ ȫȠȜȚ ȞȜȟȠ ȟȜȟȓȒȓȗ.

ǽȞȖ țȖȕȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ ȑȞȎȢȖȠȜȐȜȗȝȜȒșȜȔȘȖ(Ȁ<1700°ǿ) ȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐȓțțȜ ȜȟȎȔȒȎȓȠȟȭ ȘȡȏȖȥȓȟȘȖȗ ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ, ȝȜȐȩȦȓțȖȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȝȞȖȐȜȒȖȠ

ȘȜȟȎȔȒȓțȖȬ SiC B-ȚȜȒȖȢȖȘȎ-

ǹȖȠȓȞȎȠȡȞȎ

1.Acheson E.G. Synthese von SiC während des Schmelzprozesses

von Kohlenstoff und Aluminiumsilikaten. – British Patent

Ɋ 17911, 1892; U.S.Pat.492767, Feb.28, 1893.

2.Lely J.A. Darstellung von einkristallen von siliziumcarbid und beherrrshing von art und mende der eingebeunten verunreininungen // Ber.Dt.Keram.Ges. – 1955. – 32. – P. 229–231.

3.ǻȜȐȖȘȜȐ ǰ.ǽ., ǶȜțȜȐ ǰ.Ƕ., ǿȝȎȟȟȘȎȭ ǻ.ǿ. ǽȜșȡȥȓțȖȓ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȚȓȠȜȒȜȚ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȖ // ǸȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ (ȟȠȞȜȓțȖȓ, ȟȐȜȗȟȠȐȎ Ȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȝȞȖȚȓțȓțȖȭ). – ǸȖȓȐ:

ǻȎȡȘȜȐȎ ȒȡȚȘȎ, 1966. – ǿ. 217–224.

4.Knippenberg W.F. Growth phenomena in silicon carbide // Phillips Res. Rept. – 1963. – 18. – P. 161–274.

5.ǻȜȐȖȘȜȐ ǰ.ǽ., ǶȜțȜȐ ǰ.Ƕ. ǽȜșȡȥȓțȖȓ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐ B-ȘȎȞ- ȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ // ǾȜȟȠ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ. – Ǻ.: ǻȎȡȘȎ, 1965. – 6. –

ǿ. 203–205.

6.DZșȎȑȜȐȟȘȖȗ Ǯ.Ǯ. ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȓ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȞȜȟȠȎ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȞȖ ȚȎȟȟȜȐȜȗ ȘȞȖȟȠȎșșȖȕȎȤȖȖ // ǶȕȐ.

ǹȋȀǶ. – 1977. – ǿ. 211–215.

7.Lebedev A.A., Tregubova A.S., Chelnokov V.E., Scheglov M.P., Glagovskii A.A. Growth and investigation of the big area Lelygrown substrates // Mat. Sci. Eng. – 1997. – B 46. – P. 291–295.

8.ǰșȎȟȘȖțȎ ǿ.Ƕ., ǿȐȓȥțȖȘȜȐ DZ.ǿ., ǿȚȩțȠȩțȎ ǽșȓțȘȖ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ. – ǼȒȓȟȟȎ: ǮȟȠȞȜȝȞȖțȠ, 2007.

9.Tairov Yu.M., Tsvetkov V.F. Investigation of growth processes of ingots of silicon carbide single crystals // J. Cryst. Growth. – 1978. – 43, N2. – P. 209–212.

10.Tairov Yu.M., Tsvetkov V.F. General principles of growing largesize single crystals of various silicon carbide polytypes // J. Cryst. Growth. – 1981. – 52, N1. – P. 146–150.

11.Tairov Yu.M., Tsvetkov V.F. Crystal growth and characterization of polytype structures. – Pergamon Press. London, 1983.

36 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

12.Ziegler G., Lanig P., Theis D., Weyrich C. Single crystal growth of SiC substrate material for blue light emitting diodes // IEEE Trans. Electron Dev. – 1983. – ED-30, N.4. – P. 277–281.

13.Avramenko S.F., Kiselev V.S., Valakh M.Ya., Yukhimchuk V.A. Some aspects of sublimation growth of SiC ingots // Mat. Sci. Forum. – 2001. V. – P. 353–356.

14.ǺȎȟșȜȐ ǰ.ǽ., ǮȐȞȎȚȓțȘȜ ǿ.Ȃ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǿȎȐȜȞȜȐȟȘȖȗ Ȃ.DZ. ǿȝȜȟȜȏ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭ ȟșȖȠȘȜȐ ȘȞȖȟȠȎșȜȐ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ,

ǽȎȠȓțȠ ȁȘȞȎȖțȩ, Ɋ119994, ǺǽǸ 7H01L 21/205, H01L 21/36, 26.03.2004.

15.Xianxiang Li, Shouzhen Jiang, Xiaobo Hu, Jie Dong, Juan Li, Chen Xiufang, Wang Li, Xu Xiangang, Jiang Minhua. Polytype Control in 6H-SiC Grown via Sublimation Method // Mat. Sci. Forum. – 2006. – 527–529. –P. 95–98.

16.Heydemann V.D., Schulze N., Barrett D.L., Pensl G. Growth of 6H and 4H silicon carbide single crystals by the modiÀed Lely process utilizing a dual-seed crystal method // Appl. Phys. Lett. – 1996. – 69, N24. – P. 3728–3731.

17.Avramenko S.F., Kiselev V.S., Valakh M.Ya., Visotski V.G. Investigation of structural perfection of SiC ingots grown by a sublimation method // SPQEO. – 1999. – 2, N.1. – P. 76–79.

18.Wellmann P., Muller R., Pons M. Modeling and experimental veriÀcation of SiC M-PVT bulk crystal growth // Mat. Sci. Forum. – 2006. – 527–529. – P. 75–78.

19.Straubinger T.L., Bikermann M., Weingartner R., Wellman P.J., Winnaker A. Aluminum p-type doping of silicon carbide crystals using a modiÀed physical vapor transport qrowth method // J.Cryst.Growth. – 2002. – 240, N1–2. – P. 117–123.

20.Pons M., Blanquet E., Dedulle J.M., Ucar M., Wellmann P., Danielsson O., Ferret P., Cioccio L.Di., Baillet F., Chaussende D., Madar R. Progress and limits of the numerical simulation of SiC bulk and epitaxy growth processes // Mat.Sci.Forum. – 2005. –

483–485. – P. 3–8.

21.Chaussende D., Wellmann P., Ucar M., Pons M., Madar R. In-situ observation of mass transfer in the CF-PVT growth process by X- ray imaging // Mat. Sci. Forum. – 2006. – 527–529. – P. 63–66.

22.Anderson T., Barrett D., Chen J., Emorhokpor E., Gupta A., Hopkins R., Souzis A., Tanner C., Yoganathan M., Zwieback I., Choyke W.J., Devaty R.P., Fei Yan. Growth of large diameter SiC crystals by Advance Physical Vapor Transport // Mat.Sci. Forum. – 2005. – 483–485. – P. 9–12.

23.Balakrishna V., Augustine G., Gaida E., Noel Thomas R., Hopkins R.H. Advance physical vapor transport method and apparatus for growing high purity single crystal silicon carbide, US Patent No 6.056.820, May 2, 2002.

24.Nakamura D. Reduction of Dislocations in the Bulk Growth of SiC Crystals // Mat. Sci.For. – 2006. – 527–529. – P. 3–8.

25.Nakamura D., Ito T., Kondo H., Naito M. SiC single crystal, method for manufacturing SiC single crystal, SiC wafer having an epitaxial Àlm, and SiC electronic device, United States Patent, Patent No.: US 6,890,600 B2, May 10, 2005.

26.Hong J.D., Davis R.F. Self-diffusion of carbon-14 in highpurity and N-doped -SiC single crystals. // J. Am. Ceram. Soc. – 1980. – 63, N3–10. – P. 546–552.

27.Vodakov Yu.A., Mokhov E.N. Method for epitaxial production of semiconductor silicon carbide utilizing a close-space sublimation deposition technique, US Patent No 4147572, Apr.3, 1979.

28.ǰȜȒȎȘȜȐ Ȍ.Ǻ., ǺȜȣȜȐ dz.ǻ. ǿȡȏșȖȚȎȤȖȜțțȩȗ ȟȫțȒȐȖȥ-ȚȓȠȜȒ, UK Patent, No 1458445, 1974.

29.Vodakov Yu.A., Mokhov E.N., Ramm M.G., Roenkov A.D. Epitaxial growth of silicon carbide layers by sublimation «Sandwich method»(1), Growth kinetics in vacuum // Krist. Tech. – 1979. – 14, N6. – P. 729–740.

30.Tairov Yu.M., Tsvetkov V.F. Investigations of kinetic and thermal conditions of silicon carbide epitaxial layer growth from the vapourphase // J.Cryst.Growth. – 1979. – 46, N3. – P. 403–409.