Источники / SiCtechnologyPropertiesApplication

230 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ

ȘȜȚȡ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȡ ȠȓȝșȜȐȜȑȜ ȞȎȟȦȖȞȓțȖȭ, ȐȩȟȜȘȜȗ ȠȓȝșȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȖ, Ȗ ȐȩȟȜȘȖȚ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȚ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȎȚ.

9.1.ȀȓȣțȜșȜȑȖȖ ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎ ȘȓȞȎȚȖȘȖ

ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȞȎȕșȖȥțȩȣȚȓȠȜȒȜȐȟȐȭȕȩȐȎțȖȭȖȟȖțȠȓȕȎȝȞȖȐȜȒȭȠȘȞȎȕșȖȥȖȭȚȐȟȐȜȗȟȠȐȎȣȘȓȞȎȚȖȘȖ. ǽȜȫȠȜȚȡȝȞȖȐȩȏȜȞȓȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȖȣȚȎȠȓȞȖȎșȜȐțȓȜȏȣȜȒȖȚȜȡȥȖȠȩȐȎȠȪȫȠȖȜȟȜȏȓțțȜȟȠȖȠȓȣțȜșȜȑȖȖ Ȗȣ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ [1 5].

ȀȓȣțȜșȜȑȖȖ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ SiC ȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȖȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ

ǰ țȎȟȠȜȭȧȓȓ ȐȞȓȚȭ ȦȖȞȜȘȜ ȝȞȜȖȕȐȜȒȭȠȟȭ ȟșȓȒȡȬȧȖȓ ȐȖȒȩ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȖ:

– ǸȓȞȎȚȖȘȎ ȟȜ ȟȐȭȕȘȜȗ țȎ ȜȟțȜȐȓ țȖȠȞȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ (Silicon Nitride Bonded Silicon Carbide – SNBSiC, NBSiC ȖșȖ NBSC). ȀȎ-

ȘȜȗ ȚȎȠȓȞȖȎș ȜȏȩȥțȜ ȝȜșȡȥȎȬȠ, ȖȟȝȜșȪȕȡȭ ȟȚȓȟȪ ȑȞȎțȡș ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȘȞȓȚțȖȭ. ǵȎȑȜȠȜȐȘȖ ȖȕȒȓșȖȗ ȝȞȜȑȞȓȐȎȬȠ Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȎȕȜȠȎȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȚȓțȪȦȓȗȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȝșȎȐșȓțȖȭ ȘȞȓȚțȖȭ (1410°C). ǽȞȖȫȠȜȚȞȓȎȘȤȖȭȚȓȔȒȡȘȞȓȚțȖȓȚȖȑȎȕȜȜȏȞȎȕțȩȚȎȕȜȠȜȚ ȝȞȖȐȜȒȖȠȘȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬțȖȠȞȖȒȎȘȞȓȚțȖȭȖșȖSi3N4. ǽȞȖȚȓȞȜȚȠȎȘȜȗȘȓȞȎȚȖȘȖȭȐșȭȓȠȟȭȝȞȜȒȡȘȠȘȜȚȝȎțȖȖSilicon Carbide Products, Inc. USA – SCProbondTM N [6].

– ǾȓȎȘȤȖȜțțȜ-ȟȐȭȕȎțțȎȭ ȘȓȞȎȚȖȘȎ (Reaction Bonded Silicon Carbide – RBSiC, RBSC, SiSiC ȖșȖ SiSC) ȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȓȠȟȭ Ȗȕ ȟȚȓȟȖ ȑȞȎțȡș ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȚȓșȘȖȣ ȝȜȞȜȦȘȜȐ ȑȞȎȢȖȠȎ Ȗ ȘȞȓȚțȖȭ [7 10]. ȀȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȝȞȜȐȜȒȖȠȟȭ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 1500 1650°C. ǯșȎȑȜȒȎȞȭ ȫȘȕȜȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȞȓȎȘȤȖȖ ȚȓȔȒȡ ȘȞȓȚțȖȓȚ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒȜȚ ȜȏȞȎȕȡȓȠȟȭ ȐȠȜȞȖȥțȩȗ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȩȗ ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ, ȐȩȝȜșțȭȬȧȖȗ ȞȜșȪ ȟȐȭȕȘȖ. ȍȞȘȖȚ ȝȞȓȒȟȠȎȐȖȠȓșȓȚ ȟȎȚȜȟȐȭȕȎțțȜȑȜ ȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȜȑȜȚȎȠȓȞȖȎșȎțȎȜȟțȜȐȓȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ, ȝȜșȡȥȓțțȜȑȜȚȓȠȜȒȜȚ ȑȜȞȭȥȓȑȜȝȞȓȟȟȜȐȎțȖȭȭȐșȭȓȠȟȭRefelTM [8,9]. ǺȎȠȓȞȖȎșȏȩșȞȎȕȞȎȏȜ-

ȠȎț ȝȜ șȖȤȓțȕȖȖ United Kingdom Atomic Energy Authority (UKAEA)

ȘȎȘ ȐȩȟȜȘȜțȎȒȓȔțȜȓ ȭȒȓȞțȜȓ ȝȜȘȞȩȠȖȓ Ȓșȭ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȭ Ȑ ȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȣ ȞȓȎȘȠȜȞȎȣ ȟ ȑȎȕȜȐȩȚ ȜȣșȎȔȒȓțȖȓȚ. RefelTM ȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȓȠȟȭ ȢȖȞȚȜȗ Carbon Co., PA, USA. ȍȝȜțȟȘȎȭ ȢȖȞȚȎ ASAHI Glass Co Ltd ȝȞȖȜȏȞȓșȎ ȝȞȎȐȜ țȎ ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȜ Ȗ ȝȞȜȒȎȔȡ

RefelTM Ȑ ǮȕȖȖ. CerastarTM RB Ȗ CerastarTM RX ȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȓȠȟȭ ȢȖȞȚȜȗCarborundum Co., NY, USA, ȂȖȞȚȎSilicon Carbide Products, Inc. USA ȝȞȜȖȕȐȜȒȖȠ ȖȕȒȓșȖȭ Ȗȕ ȞȓȎȘȤȖȜțțȜ-ȟȐȭȕȎțțȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȖ

SCProbondTM R [6].

–ǸȓȞȎȚȖȘȎ, ȝȜșȡȥȎȓȚȎȭ ȝȞȭȚȩȚ ȟȖțȠȓȕȜȚ (Direct Sintered Silicon Carbide – DSSiC, DSSC). ǶȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȓȠȟȭ ȑȖȒȞȜȟȚȓȟȪ Ȗȕ ȟȡȏȚȖȘȞȜțțȩȣ ȝȜȞȜȦȘȜȐ SiC, ȟȖțȠȓȕȖȞȡȬȧȖȣ ȒȜȏȎȐȜȘ ȏȜȞȎ ȖșȖ ȎșȬȚȖțȖȭ, ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȟȐȭȕȜȘ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȒȜȏȎȐȜȘ. ȋȠȎ ȑȖȒȞȜȟȚȓȟȪ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ Ȓșȭ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȕȎȑȜȠȜȐȜȘ ȠȞȓȏȡȓȚȩȣ ȢȜȞȚ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȝȜȟșȓ ȟȡȦȘȖ ȝȜȚȓȧȎȬȠ Ȑ ȐȎȘȡȡȚțȡȬ ȝȓȥȪ Ȗ țȎȑȞȓȐȎȬȠ ȒȜ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ 2050 2175°C. ǰȜ ȐȞȓȚȭ ȫȠȜȗ ȜȝȓȞȎȤȖȖ, ȏșȎȑȜȒȎȞȭ ȝȞȜȤȓȟȟȡ ȟȖțȠȓȕȎ, ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȡȝșȜȠțȓțȖȓ ȖȕȒȓșȖȗ Ȗ ȡȚȓțȪȦȓțȖȓ ȞȎȕȚȓȞȜȐ. ȁȟȎȒȘȎ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ ȒȜ 17 20%.

–ǸȜȚȝȜȕȖȤȖȜțțȜ ȟȐȭȕȎțțȎȭ ȘȓȞȎȚȖȘȎ (Composite Bonded Silicon Carbide – CBSiC ȖșȖ CBSC). ǺȓșȘȖȗ ȝȜȞȜȦȜȘ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȐȩȟȜȘȜȗ ȥȖȟȠȜȠȩ ȟȚȓȦȖȐȎȬȠ ȟ ȘȞȓȚțȖȓȚ Ȗ ȟȐȭȕȩȐȎȬȧȖȚ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȚ. ȋȠȜ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜ țȜȐȩȗ ȘșȎȟȟ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȓȚȜȗ ȚȓȠȜȒȜȚ ȦșȖȘȓȞțȜȑȜ șȖȠȪȭ. ȀȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȝȞȜȐȜȒȖȠȟȭ

ȐȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȎȕȜȠȎ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȝȞȓȐȩȦȎȬȧȓȗ 1350°C.

ȀȎȏșȖȤȎ 9.1. ǿȐȜȗȟȠȐȎ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȢȖȞȚȩ HITECH Ceramics[11]

232ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ

–ǾȓȎȘȤȖȜțțȜ ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȎȭ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȐȎȭ ȘȓȞȎȚȖȘȎ

(reaction-formed silicon carbide ceramics – RFSC). ȀȎȘȡȬ ȘȓȞȎȚȖȘȡ ȝȞȜȖȕȐȜȒȭȠ Ȓșȭ țȡȔȒ NASA Glenn Research Center (OH, USA)

Dzșȭ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȝȞȖȚȓțȭȬȠ ȚȓȠȜȒ ȞȓȎȘȠȖȐțȜȗ ȖțȢȖșȪȠȞȎȤȖȖ ȞȎȟȝșȎȐșȓțțȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ, ȝȞȖ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜȟȠȖ, ȟȝșȎȐȜȐ ȠȡȑȜȝșȎȐȘȖȣ ȚȓȠȎșșȜȐ ȟ ȘȞȓȚțȖȓȚ Ȑ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȝȞȓȢȜȞȚȎȣ. ǸȓȞȎȚȖȘȎ ȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȓȠȟȭ ȟ ȕȎȒȎțțȜȗ ȚȖȘȞȜȟȠȞȡȘȠȡȞȜȗ Ȗ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪȬ.

ǸȞȜȚȓ ȞȎȟȟȚȜȠȞȓțțȩȣ ȓȧȓ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȦȖȞȜȘȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ Ȥȓșȩȗ ȞȭȒ SiC ȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȖȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ: ȞȓȘȞȖȟȠȎșșȖȕȖȞȜȐȎțțȩȗ ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ, ȘȓȞȎȚȖȘȎ ȟȖțȠȓȕȖȞȜȐȎțțȎȭ ȔȖȒȘȜȢȎȕțȩȚ ȚȓȠȜȒȜȚ Ȗ ȒȞȡȑȖȓ.

ǰ ȠȎȏșȖȤȓ 9.1. ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ ȟȞȎȐțȖȠȓșȪțȩȓ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ ȞȓȎȘȤȖȜțțȜȟȐȭȕȎțțȜȗ Ȗ ȟȝȓȥȓțțȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȖ. ǰ ȞȓȎȘȤȖȜțțȜ ȟȐȭȕȎțțȜȚ ȚȎȠȓȞȖȎșȓ (SCR-Si1, SCR-Si2) ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȡȓȠ ȟȐȜȏȜȒțȩȗ ȘȞȓȚțȖȗ, ȝȜȫȠȜȚȡțȓȞȓȘȜȚȓțȒȡȓȠȟȭȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȫȠȜȑȜȚȎȠȓȞȖȎșȎ Ȑ ȧȓșȜȥțȩȣ ȟȞȓȒȎȣ. ǿȝȓȥȓțțȎȭ ȘȓȞȎȚȖȘȎ (SCR-S) ȜȠșȖȥȎȓȠȟȭ ȐȩȟȜȘȜȗȥȖȟȠȜȠȜȗȖ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ, ȏȜșȓȓȐȩȟȜȘȜȗȟȠȜȖȚȜȟȠȪȬ. ȀȎȘȎȭ ȘȓȞȎȚȖȘȎ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȎ Ȑ ȎȑȞȓȟȟȖȐțȩȣ ȟȞȓȒȎȣ.

ȀȓȣțȜșȜȑȖȖ ȢȜȞȚȜȐȘȖ ȖȕȒȓșȖȗ

Dzșȭ ȢȜȞȚȜȐȘȖ ȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȖȣ ȒȓȠȎșȓȗ ȠȞȓȏȡȓȚȩȣ ȢȜȞȚ ȠȎȘȔȓ ȝȞȖȚȓțȭȬȠȟȭ ȞȎȕșȖȥțȩȓ ȚȓȠȜȒȩ. ǻȎȖȏȜșȓȓ ȞȎȟȝȞȜȟȠȞȎțȓțȩȚȖ ȭȐșȭȬȠȟȭ ȦșȖȘȓȞțȜȓ șȖȠȪȓ Ȗ ȑȜȞȭȥȓȓ ȝȞȓȟȟȜȐȎțȖȓ.

ȆșȖȘȓȞțȜȓ șȖȠȪȓ (Slurry casting)

ǺȓȠȜȒ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȖȕȒȓșȖȗ Ȗȕ ȐȩȟȜȘȜȘȜțȤȓțȠȞȖȞȜȐȎțțȩȣ ȟȡȟȝȓțȕȖȗ ȝȜȞȜȦȘȜȐ Ȗ ȔȖȒȘȜȟȠȓȗ țȎȕȩȐȎȓȠȟȭ ȦșȖȘȓȞțȩȚ șȖȠȪȓȚ [12]. ǰ ȟșȡȥȎȓ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȦșȖȘȓȞ ȑȜȠȜȐȭȠ Ȗȕ ȖȕȚȓșȪȥȓțțȜȑȜ SiC ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȢȞȎȘȤȖȗ, ȝȜșȡȥȓțțȜȑȜ ȚȓȠȜȒȜȚ ǮȥȓȟȟȜțȎ. ȆșȖȘȓȞȕȎșȖȐȎȬȠȐȝȜȞȖȟȠȡȬ, ȥȎȧȓȐȟȓȑȜȑȖȝȟȜȐȡȬȢȜȞȚȡ, Ȗ ȐȩȒȓȞȔȖȐȎȬȠ țȓȘȜȠȜȞȜȓ ȐȞȓȚȭ Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȕȎȑȜȠȜȐȘȖ. ǵȎȑȜȠȜȐȘȖȝȞȜȝȖȠȩȐȎȬȠȟȭȕȎȟȥȓȠȘȎȝȖșșȭȞțȜȑȜȐȟȎȟȩȐȎțȖȭȔȖȒȘȜȟȠȖ ȐȝȜȞȩȢȜȞȚȩ. ǰȚȓȟȠȓȟȔȖȒȘȜȟȠȪȬȘȟȠȓțȘȎȚȢȜȞȚȩȝȓȞȓȚȓȧȎȬȠȟȭ ȠȐȓȞȒȩȓ ȥȎȟȠȖȤȩ Ȗ ȡȝȎȘȜȐȩȐȎȬȠȟȭ, ȜȏȞȎȕȡȭ ȡȠȜșȧȎȬȧȖȗȟȭ ȟșȜȗ. ǽȜȟșȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭȕȎȑȜȠȜȐȘȖȕȎȒȎțțȜȗȠȜșȧȖțȩȦșȖȘȓȞȟșȖȐȎȬȠ, Ȏ ȕȎȑȜȠȜȐȘȡ ȝȜȟșȓ ȝȞȓȒȐȎȞȖȠȓșȪțȜȗ ȟȡȦȘȖ ȖȕȐșȓȘȎȬȠ Ȗȕ ȢȜȞȚȩ. ȋȠȜȠ ȚȓȠȜȒ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȝȜșȡȥȎȠȪ ȖȕȒȓșȖȭ ȟșȜȔțȜȗ ȢȜȞȚȩ, ȝȜșȩȓ ȖȕȒȓșȖȭ ȟ ȞȎȐțȜȚȓȞțȜȗ ȠȜșȧȖțȜȗ ȟȠȓțȘȖ, ȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȭ ȞȎȐțȜȚȓȞ-

țȡȬ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȝȜ ȜȏȨȓȚȡ. ȆșȖȘȓȞțȜȓ șȖȠȪȓ ȖȕȒȓșȖȗ Ȑ ȑȖȝȟȜȐȡȬ ȢȜȞȚȡ ȜȏșȎȒȎȓȠ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȩȚȖ țȓȒȜȟȠȎȠȘȎȚȖ, ȝȜȫȠȜȚȡ ȝȞȖȚȓțȭȓȠȟȭ ȑȜȞȭȥȓȓ ȦșȖȘȓȞțȜȓ șȖȠȪȓ. ǰ ȟȚȓȟȪ ȝȜȞȜȦȘȜȐ ȒȜȏȎȐșȭȓȠȟȭ ȝșȎȟȠȖȢȖȘȎȠȜȞ 30 70% (ȝȎȞȎȢȖț ȖșȖ ȐȜȟȘ), ȘȜȠȜȞȩȗ țȎȑȞȓȐȎȬȠ ȒȜ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȔȖȒȘȜ-ȠȓȘȡȥȓȟȠȖ 50 70Ȝǿ. ǺȓȠȎșșȖȥȓȟȘȎȭ ȢȜȞȚȎ ȕȎȝȜșțȭȓȠȟȭ ȝȜȒ ȒȎȐșȓțȖȓȚ. Dzșȭ ȡșȡȥȦȓțȖȭ șȖȠȓȗțȩȣ ȟȐȜȗȟȠȐ Ȑ ȟȜȟȠȎȐ ȦșȖȘȓȞȎ ȐȐȜȒȭȠ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜ ȎȘȠȖȐțȩȓ ȐȓȧȓȟȠȐȎ (ǽǮǰ). DzșȭȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȖȣȝȜȞȜȦȘȜȐȐȘȎȥȓȟȠȐȓǽǮǰȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȜșȓȖțȜȐȡȬ Ȗ ȟȠȓȎȞȖțȜȐȡȬ ȘȖȟșȜȠȩ, ȝȥȓșȖțȩȗ ȐȜȟȘ.

ǼȒțȖȚȖȕȝȞȓȒȟȠȎȐȖȠȓșȓȗȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȖȣȘȜȚȝȜȕȖȠȜȐ, ȝȜșȡȥȎȓȚȩȣ ȚȓȠȜȒȜȚ ȦșȖȘȓȞțȜȑȜ șȖȠȪȭ, ȭȐșȭȓȠȟȭ ǸǾǶǿȀǮǾ (CRYSTAR®) [13], ȝȞȖȚȓțȭȬȧȖȗȟȭ Ȑ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȜȗ ȝȞȜȚȩȦșȓțțȜȟȠȖ ȟ țȎȥȎșȎ 70-ȣȑȜȒȜȐ. ǼțȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȓȠȟȭȝȜȦșȖȘȓȞțȜȗȠȓȣțȜșȜȑȖȖȖȕȝȜȞȜȦȘȜȐ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȘȞȓȚțȖȭ. ǿȩȞȎȭ ȘȓȞȎȚȖȘȎ ȟȝȓȘȎȓȠȟȭ ȝȞȖ 2000°ǿ. ǵȎȠȓȚ Ȓșȭ ȡȚȓțȪȦȓțȖȭ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ ȒȜ ȐȓșȖȥȖțȩ Țȓțȓȓ 1% ȘȓȞȎȚȖȘȎ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎȓȠȟȭ ȘȞȓȚțȖȓȚ ȐȩȟȜȘȜȗ ȥȖȟȠȜȠȩ. ǸǾǶǿȀǮǾ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȓȠȟȭ ȐȩȟȜȘȜȗ țȎȒȓȔțȜȟȠȪȬ ȝȞȖ ȞȎȏȜȠȓ Ȑ ȡȟșȜȐȖȭȣ ȔȓȟȠȘȖȣ ȎȏȞȎȕȖȐțȩȣ, ȘȜȞȞȜȕȖȜțțȩȣ Ȗ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȗ. ǸǾǶǿȀǮǾ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖ ȖțȓȞȠȓț Ȗ țȓ ȞȓȎȑȖȞȡȓȠ ȟ ȟȜșȭțȜȗ, ȝșȎȐȖȘȜȐȜȗ Ȗ ȎȕȜȠțȜȗ ȘȖȟșȜȠȎȚȖ. ǰ ȠȎȏșȖȤȓ 9.2. ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ țȓȘȜȠȜȞȩȓ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ ȫȠȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ.

ȀȎȏșȖȤȎ 9.2. ǿȐȜȗȟȠȐȎ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ CRYSTAR® [13]

234 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ

DZȜȞȭȥȓȓ ȝȞȓȟȟȜȐȎțȖȓ (Hot-pressing – HP)

DZȜȞȭȥȓȓ ȝȞȓȟȟȜȐȎțȖȓ – ȫȠȜ ȝȞȜȤȓȟȟ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȖȕȒȓșȖȗ ȟȝȓȘȎțȖȓȚ ȝȜȞȜȦȘȜȐ ȝȞȖ ȜȒțȜȐȞȓȚȓțțȜȚ ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȖ ȒȎȐșȓțȖȭ Ȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ [14]. ǰ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ Ȓșȭ ȝȞȓȟȟ-ȢȜȞȚ ȥȎȧȓ ȐȟȓȑȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȑȞȎȢȖȠ ǺDZ, ǺDZ-1, ȖȚȓȬȧȖȗ ȝȞȜȥțȜȟȠȪ țȎ ȟȔȎȠȖȓ 35 45 ǺǽȎ, Ȗ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȖȓ ȝȞȓȟȟȢȜȞȚȩ, ȜȟȜȏȓțțȜ Ȗȕ ȟȝșȎȐȜȐ țȎ ȜȟțȜȐȓȚȜșȖȏȒȓțȎ. DzșȭȝȞȓȒȜȠȐȞȎȧȓțȖȭȝȞȖȐȎȞȖȐȎțȖȭȖȕȒȓșȖȗ Ș ȟȠȓțȘȎȚ ȚȎȠȞȖȤȩ Ȗ ȝȡȎțȟȜțȎȚ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȟȚȎȕȘȎ. ǰ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȟȚȎȕȘȖ ȥȎȧȓ ȐȟȓȑȜ ȝȞȖȚȓțȭȓȠȟȭ ȝȜȞȜȦȜȘ ȥȓȦȡȗȥȎȠȜȑȜ ȑȞȎȢȖȠȎ Ȑ ȐȖȒȓ ȟȡȟȝȓțȕȖȖ Ȑ ȑșȖȤȓȞȖțȓ ȖșȖ ȔȖȒȘȜȚ ȟȠȓȘșȓ [14].

ǼȑțȓȡȝȜȞțȩȓ Ȗ ȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȜțțȩȓ ȖȕȒȓșȖȭ țȎ ȜȟțȜȐȓ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȬȠȟȭ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȞȎȕțȜȑȜ ȐȖȒȎ ȟȐȭȕȜȘ – ȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȖȣ, ȘȞȓȚțȖȭ, țȖȠȞȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ, ȘȎȞȏȖȒȎ ȏȜȞȎ. ǰ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠȢȎȕȜȐȜȑȜȟȜȟȠȎȐȎ ȖȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ ȝȞȜȥțȜȟȠȪ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣȖȕȒȓșȖȗȚȓțȭȓȠȟȭȐȦȖȞȜȘȖȣȝȞȓȒȓșȎȣ. ǶțȜȑȒȎȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȖȕȒȓșȖȗ ȔȖȒȘȖȚ ȖșȖ ȝȎȞȜȜȏȞȎȕțȩȚ ȘȞȓȚțȖȓȚ. ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȚȓȠȜȒȎ ȑȜȞȭȥȓȑȜ ȝȞȓȟȟȜȐȎțȖȭ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȝȜșȡȥȎȠȪ ȖȕȒȓșȖȭ ȐȓȟȪȚȎ ȚȎșȜȗ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ (ȜȠ 1 ȒȜ 5%). Dzșȭ ȝȞȓȟȟȜȐȎțȖȭ ȞȓȘȜȚȓțȒȡȬȠȟȭ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ 2530°ǿ Ȗ ȒȎȐșȓțȖȓ 700 Șȑ/ȚȚ2.

ǽȞȖȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖȠȓȣțȖȘȖȑȜȞȭȥȓȑȜȝȞȓȟȟȜȐȎțȖȭȒșȭȝȜȐȩȦȓțȖȭ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȥȎȟȠȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȩȓ ȝȞȖȟȎȒȘȖ: ȏȜȞ, ȎșȬȚȖțȖȗ, ȡȑșȓȞȜȒ, ȖșȖ Ȗȣ ȟȜȓȒȖțȓțȖȭ, MgO Ȗ/ȖșȖ Al2O3 Ȗ/ȖșȖ Y2O3. ǿ ȒȞȡȑȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ, ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȫȠȖȣ ȝȞȖȟȎȒȜȘ ȚȜȔȓȠ ȐȩȕȩȐȎȠȪȟțȖȔȓțȖȓȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐȘȓȞȎȚȖȘȖ. ǸȞȜȚȓȠȜȑȜ, ȫȢȢȓȘȠȖȐțȜȟȠȪ ȐȐȓȒȓțȖȭ ȝȞȖȟȎȒȜȘ ȐȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȗ ȟȠȓȝȓțȖ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȜȒțȜȞȜȒțȜȟȠȖ Ȗȣ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ Ȑ ȜȏȨȓȚȓ ȘȓȞȎȚȖȘȖ.

ǵȜșȪ-ȑȓșȪ ȠȓȣțȜșȜȑȖȭ (The sol-gel process)

ǰȝȜȟșȓȒțȖȓȑȜȒȩȒșȭȝȜșȡȥȓțȖȭȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȟȜȝȞȓȒȓșȓțțȩȚȖ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȚȖ Ȗ ȢȖȕȖȘȜ-ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȚȖ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȓ ȚȓȠȜȒȩ, Ȑ ȥȎȟȠțȜȟȠȖ, ȚȓȠȜȒ ȕȜșȪ-ȑȓșȪ. ȋȠȜ ȠȓȣțȜșȜȑȖȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭȚȖȘȞȜȖțȎțȜȟȠȞȡȘȠȡȞȖȞȜȐȎțțȩȣȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȖȕȘȜșșȜȖȒțȜȑȜȞȎȟȠȐȜȞȎȐȝȞȜȤȓȟȟȓȘȜțȒȓțȟȎȤȖȖȖȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭȝȜșȖȚȓȞțȜȗ ȝȞȜȟȠȞȎțȟȠȐȓțțȜȗ ȟȓȠȖ ȟ ȔȖȒȘȜȗ ȢȎȕȜȗ (ȑȓșȭ).

ǶȕȐȓȟȠțȜ ȒȐȎ ȟȝȜȟȜȏȎ ȟȖțȠȓȕȎ ȑȓșȓȗ ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ. ǽȓȞȐȩȗ ȟȜȟȠȜȖȠ Ȗȕ Ȝȏȩȥțȩȣ ȞȓȎȘȤȖȗ, ȘȜȑȒȎ ȘȐȎȞȤ Ȑ ȐȜȒțȜȚ ȞȎȟȠȐȜȞȓ ȘȜțȒȓțȟȖȞȡȬȠ ȟ ȤȓșȪȬ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȘȐȎȞȤȓȐȜȑȜ ȘȎȞȘȎȟȎ.

ȀȎȘȎȭ ȘȜțȒȓțȟȎȤȖȭ ȚȜȔȓȠ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠȪ Ȑ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȐȜȒțȩȣ ȞȎȟȠȐȜȞȎȣȐȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖȜȠpH ȖȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖȟȜșȓȗ. ǽȜȟșȓȘȜțȒȓțȟȎȤȖȖȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭ ȚȎȠȓȞȖȎșȩ, ȜȏșȎȒȎȬȧȖȓȞȎȕșȖȥțȜȗ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȓȗ. Dzșȭ ȘȐȎȞȤȎ țȎȖȏȜșȓȓ ȖȕȐȓȟȠțȎȭ ȢȜȞȚȎ – ȒȞȎȑȜȤȓțțȩȗ «ȜȝȎș».

DzȞȡȑȜȗ ȟȝȜȟȜȏ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȘȐȎȞȤȎ Ȗȕ ȞȎȟȠȐȜȞȜȐ ȫȠȜ ȣȖȚȖȥȓȟȘȎȭ ȞȓȎȘȤȖȭ, ȖȟȝȜșȪȕȡȬȧȎȭ ȚȓȠȎșșȜȎșȘȜȑȜșȭȠ Ȗ ȐȜȒȡ Ȑ ȎșȘȜȑȜșȪțȜȚ ȞȎȟȠȐȜȞȖȠȓșȓ. ǽȓȞȐȎȭȞȓȎȘȤȖȭ – ȑȖȒȞȜșȖȕ, ȘȜȠȜȞȩȗȟȠȖȚȡșȖȞȡȓȠȝȜȒȟȠȎțȜȐȘȡ OR ȑȞȡȝȝ, ȟȐȭȕȎțțȩȣ ȟ ȘȞȓȚțȖȓȚ ȟȖșȎțȜș Si-OH ȑȞȡȝȝȎȚȖ. ǰțȎȥȎșȓ, ȫȠȖȣȖȚȖȥȓȟȘȖȓȐȓȧȓȟȠȐȎȞȓȎȑȖȞȡȬȠȟȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚSi-O-Si (siloxane) ȟȐȭȕȓȗ, ȝȞȖȐȜȒȭȧȖȣȘȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȬȘȐȎȞȤȓȐȜȑȜȘȎȞȘȎȟȎ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ Ȑ ȜȏȨȓȚȓ ȘȜțȠȓȗțȓȞȎ ȜȏȞȎȕȡȓȠȟȭ ȠȞȓȣȚȓȞțȎȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ.

ǰȜȏȜȖȣȟȝȜȟȜȏȎȣȟȖțȠȓȕȎȔȖȒȘȜȟȠȪȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭȘȎȘȞȎȟȠȐȜȞȖȠȓșȪ Ȓșȭ ȝȞȜȐȓȒȓțȖȭ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȣ ȞȓȎȘȤȖȗ, ȝȞȜȖȟȣȜȒȭȧȖȣ Ȑ ȝȜȞȎȣ ȠȐȓȞȒȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ. ȀȎȘ ȝȜșȡȥȎȬȠ ȑȓșȪ. ȋȠȖ ȒȐȓ ȢȎȕȩ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ ȟȜȟȠȜȭȠ Ȗȕ ȟȢȜȞȚȜȐȎțțȩȣ ȠȐȓȞȒȩȣ Ƞȓș, ȖȚȓȬȧȖȣ ȟȝȓȤȖȢȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ.

ǽȜȟșȓȡȒȎșȓțȖȭȔȖȒȘȜȟȠȖȖȕȝȜȞȝȜșȡȥȎȬȠ«ȘȟȓȞȜȑȓșȪ», («xeros» – ȟȡȣȜȗ). ȅȖȟȠȩȓțȓȜȞȑȎțȖȥȓȟȘȖȓȘȟȓȞȜȑȓșȖȞȓȒȘȜȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭ Ȗȕ-ȕȎ ȖȣȜȟȠȎȠȜȥțȜȗȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ, ȘȜȠȜȞȎȭȐȩȕȩȐȎȓȠȟțȖȔȓțȖȓȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ ȟȐȜȗȟȠȐ Ȗ țȎȒȓȔțȜȟȠȖ. ǯȜșȪȦȖțȟȠȐȜ ȘȟȓȞȜȑȓșȓȗ ȜȏșȎȒȎȓȠ ȏȜșȪȦȜȗ ȡȒȓșȪțȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪȬ, ȘȜȠȜȞȎȭ ȐȩȕȩȐȎȓȠ ȐȩȟȜȘȡȬ ȣȖȚȖȥȓȟȘȡȬ ȎȘȠȖȐțȜȟȠȪȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭȟȜȟȞȓȒȜȗ. ǶțȠȓȞȓȟȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȬȠțȜȐȩȓ ȜȏșȎȟȠȖȝȞȖȚȓțȓțȖȭ. ȋȠȜȟȐȭȕȎțȜȟȟȖțȠȓȕȜȚȟȡȏȚȖȘȞȜțțȩȣȝșȜȠțȩȣ ȥȎȟȠȖȤȘȐȎȞȤȎ. ȅȎȟȠȖȤȩȖȚȓȬȠȝȞȖȚȓȞțȜȜȒȖțȎȘȜȐȩȗȞȎȕȚȓȞ(Stober process). ǼȟȎȔȒȓțȖȓ ȥȎȟȠȖȤ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ ȟȎȚȜȜȞȑȎțȖȕȜȐȎțțȜȗȟȜȐȓȞȦȓțțȜȗȦȓȟȠȖȑȞȎțțȜȗȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȜȗȡȝȎȘȜȐȘȖȥȎȟȠȖȤ ȠȖȝȎ ȟȢȓȞȩ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ ȢȜȞȚȖȞȡȬȠȟȭ ȟȖțȠȓȠȖȥȓȟȘȖȓ ȜȝȎșȩ, ȝȜȒȜȏțȩȓțȎȠȡȞȎșȪțȩȚ. Ƕȣ ȜȝȠȖȥȓȟȘȖȓȟȐȜȗȟȠȐȎȕȎȐȖȟȭȠȜȠȞȎȕțȜȟȠȖ ȝȜȘȎȕȎȠȓșȭ ȝȞȓșȜȚșȓțȖȭ ȚȓȔȒȡ ȐȓȧȓȟȠȐȜȚ ȟȜȟȠȎȐșȭȬȧȖȚ ȟȢȓȞȩ, Ȗ ȐțȓȦțȖȚ ȜȏȨȓȚȜȚ ȟȢȓȞȩ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȜȠ ȞȎȕȚȓȞȜȐ ȟȢȓȞ.

DZȓșȖ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ Ȗȕ ȟȡȏȚȖȘȞȜțțȩȣ ȥȎȟȠȖȤ ȟȢȓȞȖȥȓȟȘȜȗ ȢȜȞȚȩ (ȜȞȑȎțȖȘȖ ȖșȖ ȘȐȎȞȤȎ), ȜȏȞȎȕȡȬȠ ȠȞȓȣȚȓȞțȩȓ (3D) ȢȜȠȜțțȩȓ ȘȞȖȟȠȎșșȩ. ȀȎȘȖȓ ȟȎȚȜȜȞȑȎțȖȕȜȐȎțțȩȓ ȘȞȖȟȠȎșșȩ ȖȚȓȬȠ țȖȕȘȖȗ ȝȜȘȎȕȎȠȓșȪ ȝȞȓșȜȚșȓțȖȭ ȟȐȓȠȎ Ȗ ȜȏșȎȒȎȬȠ ȐȩȟȜȘȜȗ ȣȞȡȝȘȜȟȠȪȬ. ǽȜȫȠȜȚȡ ȜțȖ țȓ ȝȜȒȣȜȒȭȠ Ȓșȭ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȜȝȠȜȫșȓȘȠȞȜțțȩȣ ȡȟȠȞȜȗȟȠȐ. ǵȎȝȜșțȓțȖȓ ȝȡȟȠȜȠ ȐȓȧȓȟȠȐȎȚȖ ȟ ȠȞȓȏȡȓȚȩȚ ȝȜȘȎȕȎȠȓșȓȚ ȝȞȓșȜȚșȓțȖȭ ȟ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȖȚ ȡȒȎșȓțȖȓȚ ȟȢȓȞ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȝȜșȡȥȓțȖȬ ȖțȐȓȞȠȖȞȜȐȎțțȩȣ ȜȝȎșȜȐ, ȟ ȜȝȞȓȒȓșȓțțȜȗ ȐȓșȖȥȖțȜȗ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗȕȜțȩ. ǰȞȭȒȓȞȎȏȜȠȒșȭȕȎȝȜșțȓțȖȭȝȡȟȠȜȠȝȞȓȒșȎȑȎȓȠȟȭ

236 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ

ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎȠȪ ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ. ǽȜȘȎȕȎȠȓșȪ ȝȞȓșȜȚșȓțȖȭ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȝȜșȖȠȖȝȎ SiC Ȗ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ ȜȘȜșȜ 2.8 Ȑ ȐȖȒȖȚȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ. ǽȞȖȚȓțȓțȖȓ SiC Ȓșȭ ȢȜȠȜțțȩȣ ȡȟȠȞȜȗȟȠȐ ȠȖȝȎ ȢȜȠȜțțȩȣ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȝȜȒȞȎȕȡȚȓȐȎȓȠȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȠȓȣțȜșȜȑȖȗȖțȠȓȑȞȎșȪțȜȗȫșȓȘȠȞȜțȖȘȖ, ȜȝȠȜȫșȓȘȠȞȜțȖȘȖ Ȗ ȢȜȠȜțțȩȣ ȝȞȖȏȜȞȜȐ Ȓșȭ ȡșȪȠȞȎȢȖȜșȓȠȜȐȜȑȜ Ȗ ȐȖȒȖȚȜȑȜȒȖȎȝȎȕȜțȎ. DzșȭȫȠȜȑȜțȓȜȏȣȜȒȖȚȩ țȎțȜȖȚȖȘȞȜȟȠȞȡȘȠȡȞȖȞȜȐȎțțȩȓȜȏȨȓȚțȩȓȚȎȠȞȖȤȩSiC, șȖȏȜȖțȐȓȞȠȖȞȜȐȎțțȩȓȜȝȎșȩ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȚȓȠȜȒȎȚȖ ȕȜșȪ-ȑȓșȭ SiC.

Dzșȭ ȕȎȝȜșțȓțȖȭ ȝȡȟȠȜȠ ȘȎȞȏȖȒȜȚ ȘȞȓȚțȖȭ ȐȜȕȚȜȔțȜ ȝȞȖȚȓțȓțȖȓ ȚȓȠȜȒȎ ȟȡȏșȖȚȎȤȖȖ, ȘȜȠȜȞȩȗ ȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȓȠ ȐȩȟȜȘȖȓ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȩ ȕȎȝȜșțȓțȖȭ. ǼȒțȎȘȜ, ȝȞȖ ȫȠȜȚ ȠȞȓȏȡȬȠȟȭ ȟȝȓȤȖȎșȪțȩȓ ȚȎȠȞȖȤȩ, ȟȝȜȟȜȏțȩȓ ȐȩȒȓȞȔȎȠȪ ȐȩȟȜȘȖȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȟȖțȠȓȕȎ. ǰ ȘȎȥȓȟȠȐȓȚȎȠȞȖȥțȜȑȜȚȎȠȓȞȖȎșȎȞȎȕȞȎȏȜȠȎțȩȥȖȟȠȩȓȚȜțȜȒȖȟȝȓȞȟțȩȓ țȎțȜȟȢȓȞȩ ȡȑșȓȞȜȒȎ. ǶȟȟșȓȒȜȐȎț ȒȜȐȜșȪțȜ țȓȒȜȞȜȑȜȗ ȟȝȜȟȜȏ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȘȎȞȏȖȒȜȚ ȘȞȓȚțȖȭ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȚȜȒȖȢȖȤȖȞȜȐȎțțȜȑȜ ȕȜșȪ-ȑȓșȪ ȝȞȜȤȓȟȟȎ Ȓșȭ ȕȎȝȜșțȓțȖȭ ȜȝȎșȜȐ. ǶȟȣȜȒțȩȚ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȚ Ȓșȭ ȟȖțȠȓȕȎ 3C-SiC ȚȓȠȜȒȜȚ ȕȜșȪ-ȑȓșȭ ȏȩș ȘȐȎȞȤȓȐȩȗ ȘȟȓȞȜȑȓșȪ ȟ ȡȑșȓȞȜȒȜȚ. dzȑȜ ȝȜșȡȥȎșȖ ȑȖȒȞȜșȖȕȜȚ Ȗ ȘȜțȒȓțȟȎȤȖȓȗ tetraethoxysilane (TEOS) Ȑ ȞȎȟȠȐȜȞȎȣ ȫȠȎțȜșȎ ȟ ȒȓȖȜțȖȕȖȞȜȐȎțțȜȗ ȐȜȒȜȗ Ȑ ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȖ ȟȜșȭțȜȗ ȘȖȟșȜȠȩ [15 17].

ǰȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠȝȞȜȤȓȒȡȞȩȜȠȔȖȑȎȕȜșȪ-ȑȓșȭȚȜȔțȜȝȜșȡȥȎȠȪ ȚȎȘȞȜȝȜȞȖȟȠȩȗSiC, ȎȚȜȞȢțȩȗSiC, ȖțȎțȜȖșȖȚȖȘȞȜțțȜȑȜȞȎȕȚȓȞȎ 3C-SiC ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȩ. ǽȞȖțȖȕȘȖȣȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣȜȠȔȖȑȎȝȜșȡȥȓțȩ țȎțȜȐȜșȜȘțȎ. ǺȎȘȞȜȝȜȞȖȟȠȩȗ SiC ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȓȠ ȖțȠȓȞȓȟ Ȓșȭ ȚȓȒȖȤȖțȩ, ȎȚȜȞȢțȩȗ Ȗ ȜȟȜȏȓțțȜ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȗ SiC ȖțȠȓȞȓȟțȩ Ȓșȭ ȢȜȠȜțȖȘȖ. ǶȟȝȜșȪȕȡȭȞȎȕțȩȓȞȓȔȖȚȩȜȠȔȖȑȎ, ȚȜȔțȜȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȠȪ ȘȞȖȟȠȎșșȩȟȞȎȕȚȓȞȎȚȖȜȠțȓȟȘȜșȪȘȖȣțȎțȜȚȓȠȞȜȐȒȜȟȜȠȓțȚȖȘȞȜț. ǽȜșȡȥȎȓȚȩȗ ȝȜșȖȠȖȝ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȜȠȔȖȑȎ.

9.2. ǸȓȞȎȚȖȥȓȟȘȖȓ ȚȎȠȞȖȥțȩȓ ȘȜȚȝȜȕȖȠȩ

(ceramic matrix composites – CMC)

ǸȜȚȝȜȕȖȤȖȜțțȩȓ ȚȎȠȓȞȖȎșȩ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȬȠ ȟȜȏȜȗ ȚȎȠȞȖȤȩ Ȗȕ ȞȎȕșȖȥțȩȣȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȟȕȎȒȎțțȩȚȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓȚȐțȖȣȡȝȞȜȥțȭȬȧȖȣ, ȎȞȚȖȞȡȬȧȖȣȫșȓȚȓțȠȜȐ. ǰȘȎȥȓȟȠȐȓȎȞȚȖȞȡȬȧȖȣȫșȓȚȓțȠȜȐ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠ ȐȜșȜȘțȎ, țȖȠȓȐȖȒțȩȓ ȘȞȖȟȠȎșșȩ Ȗ ȝȜȞȜȦȘȖ. ǽȜ ȟȐȜȓȚȡ ȟȠȞȜȓțȖȬȘȜȚȝȜȕȖȠȩȝȜȒȞȎȕȒȓșȭȬȠȟȭțȎȐȜșȜȘțȖȟȠȩȓ, ȡȝȞȜȥțȮțțȩȓ țȓȝȞȓȞȩȐțȩȚȖ ȐȜșȜȘțȎȚȖ Ȗ țȖȠȓȐȖȒțȩȚȖ ȘȞȖȟȠȎșșȎȚȖ, ȚȎȠȓȞȖ-

Ȏșȩ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȝȡȠȮȚ ȐȐȓȒȓțȖȭ Ȑ ȚȎȠȞȖȤȡ ȒȖȟȝȓȞȟțȩȣ ȥȎȟȠȖȤ Ȗ ȟșȜȖȟȠȩȓ ȚȎȠȓȞȖȎșȩ, ȟȜȕȒȎțțȩȓ ȝȡȠȓȚ ȝȞȓȟȟȜȐȎțȖȭ ȖșȖ ȝȞȜȘȎȠȘȖ ȞȎȕțȜȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ. ǰ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ țȎȕțȎȥȓțȖȭ ȝȡȠȓȚ ȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ ȘȜȚȝȜțȓțȠ ȟ ȞȎȕșȖȥțȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȜȗ Ȗ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȓțțȩȚ ȟȜȒȓȞȔȎțȖȓȚȚȜȔțȜȝȜșȡȥȎȠȪȚȎȠȓȞȖȎșȩȟȠȞȓȏȡȓȚȩȚȖȕțȎȥȓțȖȭȚȖ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ, ȠȓȝșȜȐȩȣ, ȚȎȑțȖȠțȩȣ, ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ.

ǰ ȝȜȟșȓȒțȖȓ ȑȜȒȩ ȜȟȜȏȩȗ ȖțȠȓȞȓȟ ȐȩȕȩȐȎȬȠ ȘȜȚȝȜȕȖȤȖȜțțȩȓ ȚȎȠȓȞȖȎșȩ, ȎȞȚȖȞȜȐȎțțȩȓ ȐȖȟȘȓȞȎȚȖ Ȗ ȐȜșȜȘțȎȚȖ ȠȡȑȜȝșȎȐȘȖȣ ȟȜȓȒȖțȓțȖȗ Ȗ ȫșȓȚȓțȠȜȐ. ǰȜșȜȘțȎ Ȗȕ ȞȭȒȎ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ: ȡȑșȓȞȜȒȎ, SiC, ȜȘȟȖȒȎ ȎșȬȚȖțȖȭ Ȗ țȖȠȞȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȦȖȞȜȘȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭ

ȐȘȎȥȓȟȠȐȓ ȎȞȚȖȞȡȬȧȖȣ, ȡȝȞȜȥțȭȬȧȖȣ ȫșȓȚȓțȠȜȐ ȝȞȖ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȖ ȘȜȚȝȜȕȖȤȖȜțțȩȣ ȖȕȒȓșȖȗ Ȓșȭ ȎȐȠȜȚȜȏȖșȪțȜȗ, ȎȐȖȎȤȖȜțțȜȗ Ȗ ȘȜȟȚȖȥȓȟȘȜȗȝȞȜȚȩȦșȓțțȜȟȠȖ. ǽȞȖȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȖȘȜȚȝȜȕȖȤȖȜțțȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȐȜșȜȘțȎȐȟȠȞȎȖȐȎȬȠȐȚȎȠȞȖȤȡ, ȘȜȠȜȞȎȭȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȓȠȖȣ ȣȖȚȖȥȓȟȘȡȬ ȕȎȧȖȠȡ, ȞȎȟȝȞȓȒȓșȭȓȠ țȎȑȞȡȕȘȖ Ȗ ȟȜȣȞȎțȭȓȠ ȢȜȞȚȡ.

ǽȜ ȣȎȞȎȘȠȓȞȡ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȎȞȚȖȞȡȬȧȓȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ ȘȜȚȝȜȕȖȠȩ ȚȜȔțȜ ȞȎȕȒȓșȖȠȪ țȎ ȒȐȎ ȜȟțȜȐțȩȣ ȘșȎȟȟȎ: ȘȜȚȝȜȕȖȠȩ ȟ ȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȩȚ Ȗ țȓȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȩȚ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓȚ ȎȞȚȖȞȡȬȧȖȣ ȫșȓȚȓțȠȜȐ. ǰȘȜȚȝȜȕȖȠȎȣȟȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȩȚȎȞȚȖȞȜȐȎțȖȓȚȚȎȠȞȖȤȎ ȟȜȣȞȎțȭȓȠ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȬ ȡȝȞȜȥțȭȬȧȖȣ ȐȜșȜȘȜț. ȀȎȘȖȓ ȘȜȚȝȜȕȖȠȩ ȜȏșȎȒȎȬȠ ȝȜȐȩȦȓțțȩȚȖ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȚȖ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ, ȟȐȭȕȎțțȩȚȖ

ȟȞȎȒȖȡȟȜȚȖȒșȖțȜȗȟȎȚȖȣȐȜșȜȘȜț. ǿȐȜȗȟȠȐȎȘȜȚȝȜȕȖȠȜȐȜȝȞȓȒȓșȭȬȠȟȭ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ ȐȜșȜȘȜț Ȗ Ȗȣ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȓȗ. ǵȎȒȎțțȎȭ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȭ ȎȞȚȖȞȡȬȧȖȣ ȘȜȚȝȜțȓțȠ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠ ȎțȖȕȜȠȞȜȝȖȬ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ, ȠȓȝșȜȐȩȣ Ȗ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȘȜȚȝȜȕȖȠȜȐ.

ǰțȓȒȞȓțȖȓ ȐȜșȜȘȜț ȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠ ȠȐȓȞȒȜȟȠȪ ȖțȟȠȞȡȚȓțȠȎ Ȗ ȓȑȜ ȖȕțȜȟȜȟȠȜȗȘȜȟȠȪ [18 28]. ǸȓȞȎȚȖȥȓȟȘȎȭ ȜȘȟȖȒțȎȭ ȚȎȠȞȖȤȎ, ȜȟȜ-

ȏȓțțȜ Al2O3, ȝȞȖ ȒȜȏȎȐșȓțȖȖ ȐȩȟȜȘȜȠȐȓȞȒȩȣ ȥȎȟȠȖȤ ȖșȖ ȐȜșȜȘȜț ȚȜȔȓȠ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜ ȝȜȐȩȟȖȠȪ ȟȐȜȖ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ. ǾȭȒ

ȖțȟȠȞȡȚȓțȠȎșȪțȩȣȘȓȞȎȚȖȘ, ȠȖȝȎAl2O3 /TiC, Al2O3 /TiB2, Al2O3 / ZrO2,

Al2O3 / Ti(CN), Al2O3 / (WTI)C, Ȗ Al2O3 / SiCw, ȦȖȞȜȘȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭ

ȐȚȎȦȖțȜȟȠȞȜȓțȖȖ. ǰȖȟȘȓȞțȩȓ ȘȜȚȝȜȕȖȠȩ Al2O3 / SiCw ȜȏșȎȒȎȬȠ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȩȚȖ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȜȝȞȓȒȓșȭȬȠȟȭ ȫșȓȘȠȞȜțțȩȚȖ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȎȚȖ ȐȖȟȘȓȞȜȐ.

SiC ȘȜȚȝȜȕȖȠȩ țȎ ȜȟțȜȐȓ ȝșȎȟȠȚȎȟȟ Ȗ ȐȖȟȘȓȞȜȐ ȚȜȑȡȠ ȏȩȠȪ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȩ Ȓșȭ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȚȖȘȞȜȖțȟȠȞȡȚȓțȠȜȐ Ȗ ȒȓȠȎșȓȗ Ȓșȭ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȭ Ȑ ȏȖȜșȜȑȖȖ, ȚȓȒȖȤȖțȓ Ȗ ȝȞȖ ȞȎȕȞȎȏȜȠȘȓ ȜȏȜȞȡȒȜȐȎțȖȭ Ȓșȭ ȖțȢȜȞȚȎȤȖȜțțȩȣ ȠȓȣțȜșȜȑȖȗ.

238 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ

ȀȓȣțȜșȜȑȖȖ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ SiC ȚȎȠȞȖȥțȩȣ ȘȜȚȝȜȕȖȠȜȐ

ȀȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȓ ȚȓȠȜȒȩ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȐȜ ȚțȜȑȜȚ ȜȝȞȓȒȓșȭȬȠ ȟȐȜȗȟȠȐȎȘȜȚȝȜȕȖȤȖȜțțȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ. ǰȟșȡȥȎȓC / SiC ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ ȝȞȖȚȓțȭȬȠȟȭ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȓ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȝȎȞȎȚȖ, ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȔȖȒȘȖȚȖ ȝȜșȖȚȓȞȎȚȖ (liquid polymer, infiltration LPI), ȝȞȜȝȖȠȩ-

ȐȎțȖȓ ȔȖȒȘȖȚ ȘȞȓȚțȖȓȚ Ȗ ȞȭȒ ȒȞȡȑȖȣ ȟȝȜȟȜȏȜȐ.

ǺȓȠȜȒ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȝȎȞȎȚȖ (Chemical vapors infiltration, CVI). ǻȎțȎȑȞȓȠȩȓ ȕȎȑȜȠȜȐȘȖȖȕȐȜșȜȘȜțȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ ȝȞȜȐȜȒȭȠ ȜȟȎȔȒȓțȖȓ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗȕ ȑȎȕȜȐȜȗ ȢȎȕȩ. ȀȎȘȖȓ CVI SiC / SiC ȘȜȚȝȜȕȖȠȩȜȏșȎȒȎȬȠȐȩȟȜȘȜȗȠȓȞȚȜȟȠȜȗȘȜȟȠȪȬ, țȖȕȘȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȪȬ Ȗ ȐȩȟȜȘȖȚȖ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȚȖ ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚȖ [29 34].

ȃȖȚȖȥȓȟȘȜȓ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȝȎȞȎȚȖ Ȗ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȔȖȒȘȖȚȖ ȝȜșȖȚȓȞȎȚȖȝȜȕȐȜșȭȬȠȝȜșȡȥȎȠȪ ȚȎȠȓȞȖȎșȩȟȔȓȟȠȘȜȗȟȠȞȡȘȠȡȞȜȗ Ȗ ȐȩȟȜȘȖȚȖ ȞȎȏȜȥȖȚȖ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȎȚȖ. ǰ ȫȠȜȚ ȟșȡȥȎȓ Ȓșȭ ȝȜȐȩȦȓțȖȭȝȞȜȥțȜȟȠȖțȎȖȕȑȖȏțȓȜȏȣȜȒȖȚȜ, ȥȠȜȏȩȎȒȑȓȕȖȭȚȓȔȒȡȐȜșȜȘțȎȚȖȖȚȎȠȞȖȤȓȗȏȩșȎțȓȐȩȟȜȘȜȗ. ǽȜȫȠȜȚȡȔȓșȎȠȓșȪțȜțȎȐȜșȜȘțȎ țȎțȜȟȖȠȪ ȝȜȘȞȩȠȖȭ Ȗȕ ȡȑșȓȞȜȒȎ ȖșȖ țȖȠȞȖȒȎ ȏȜȞȎ. ȋȠȜ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȚȡ ȡȒȜȞȜȔȎțȖȬ ȝȞȜȒȡȘȤȖȖ Ȗ țȖȕȘȜȗ ȡȟȠȜȗȥȖȐȜȟȠȖ ȝȞȖ ȫȘȟȝșȡȎȠȎȤȖȖ Ȑ ȜȘȖȟșȖȠȓșȪțȜȗ ȟȞȓȒȓ.

ǽȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓȔȖȒȘȖȚȘȞȓȚțȖȓȚ(Liquid silicon infiltration, LSI).

ȀȓȣțȜșȜȑȖȭȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭȔȖȒȘȖȚȘȞȓȚțȖȓȚȟȞȎȐțȖȠȓșȪțȜȒȓȦȓȐȎ. ǼȒțȎȘȜ, ȔȖȒȘȖȗ ȘȞȓȚțȖȗ ȞȓȎȑȖȞȡȓȠ țȓ ȠȜșȪȘȜ ȟ ȡȑșȓȞȜȒȜȚ ȚȎȠȞȖȤȩ, țȜ Ȗ ȟ ȡȑșȓȞȜȒțȩȚȖ ȐȜșȜȘțȎȚȖ. ȋȠȜ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȝȜȐȩȦȓțțȜȚȡ ȟȜȒȓȞȔȎțȖȬ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ, ȟțȖȔȓțȖȬ ȝȞȜȥțȜȟȠȖ Ȗ ȝȜȐȩȦȓțțȜȗ ȣȞȡȝȘȜȟȠȖ ȘȜȚȝȜȕȖȠȎ. ǽȜȫȠȜȚȡțȓȜȏȣȜȒȖȚȜȝȞȜȐȜȒȖȠȪ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȝȞȖȝȜțȖȔȓțțȜȚȟȜȒȓȞȔȎțȖȖȘȞȓȚțȖȭ. ǽȜșȡȥȎȓȚȩȗȚȎȠȓȞȖȎșȟȜȟȠȜȖȠ ȖȕȡȑșȓȞȜȒțȩȣȐȜșȜȘȜț, ȜȘȞȡȔȓțțȩȣȡȑșȓȞȜȒȜȚ, ȘȎȞȏȖȒȜȚȘȞȓȚțȖȭȖ ȜȟȠȎȠȜȥțȩȚȘȞȓȚțȖȓȚ[35]. ǯșȎȑȜȒȎȞȭȏȜșȪȦȜȚȡȟȜȒȓȞȔȎțȖȬȡȑșȓȞȜȒȎ Ȑ ȚȎȠȞȖȤȓ, ȠȎȘȜȗ ȚȎȠȓȞȖȎș țȎȕȩȐȎȬȠ C/C-SiC.

ǽȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȔȖȒȘȖȚȖ ȚȓȠȎșșȎȚȖ (Melt Infiltration – MI).

ǶȕȑȜȠȜȐșȓțȖȓ ȘȜȚȝȜȕȖȠȜȐ țȎȥȖțȎȓȠȟȭ ȟ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȚțȜȑȜȟșȜȗțȩȣ ȕȎȑȜȠȜȐȜȘ Ȗȕ ȠȘȎțȓȗ, Ȓșȭ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȟȏȎșȎțȟȖȞȜȐȎțțȜȗ ȡȝȎȘȜȐȘȖ ȟșȜȖ ȞȎȕȐȜȞȎȥȖȐȎȬȠ ȝȜȒ ȡȑșȜȚ 90° ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜ ȒȞȡȑ ȒȞȡȑȎ. ǽȜȟșȓ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȠȎȘȖȣ ȕȎȑȜȠȜȐȜȘ ȚȓȠȜȒȜȚ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȝȎȞȎȚȖ (CVI) țȎțȜȟȭȠ ȒȐȡȣȟȠȜȞȜțțȓȓ ȝȜȘȞȩȠȖȓ Ȗȕ BN/ SiC. ǰțȡȠȞȓțțȖȗ ȟșȜȗBN ȕȎȧȖȧȎȓȠȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ ȐȜșȜȘȜțțȜȗ ȚȎȠȞȖȤȩ, Ȏ ȐțȓȦțȓȓ SiC ȝȜȘȞȩȠȖȓ ȕȎȘȞȩȐȎȓȠ ȟșȜȗ BN Ȗ ȐȜșȜȘțȎ

ȜȠ ȜȘȖȟșȓțȖȭ Ȗ ȞȓȎȘȤȖȖ ȟ ȞȎȟȝșȎȐșȓțțȩȚ ȎșȬȚȖțȖȓȚ ȐȜ ȐȞȓȚȭ ȝȜȟșȓȒȡȬȧȖȣ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȜȝȓȞȎȤȖȗ. ǵȎȑȜȠȜȐȘȡ ȝȞȖȐȜȒȭȠ Ȑ ȟȜȝȞȖȘȜȟțȜȐȓțȖȓ ȟ ȞȎȟȝșȎȐșȓțțȩȚ ȎșȬȚȖțȖȓȐȩȚ ȟȝșȎȐȜȚ. ǽȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 900 1000°C ȎșȬȚȖțȖȗ ȐȟȠȡȝȎȓȠ Ȑ ȞȓȎȘȤȖȬ ȟ

ȀȎȏșȖȤȎ 9.3. ǿȐȜȗȟȠȐȎ ȘȜȚȝȜȕȖȠȜȐ țȎ ȜȟțȜȐȓ ȐȜșȜȘȜț Ȗȕ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ [3]

240 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ

ȘȖȟșȜȞȜȒȜȚ Ȗȕ ȜȘȞȡȔȎȬȧȓȑȜ ȐȜȕȒȡȣȎ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȜȏȞȎȕȡȓȠȟȭ ȠȞȓȣȚȓȞțȎȭ, ȚȎȠȞȖȤȎ Ȗȕ ȜȘȟȖȒȎ ȎșȬȚȖțȖȭ [36, 37].

DZȜȞȭȥȓȓȝȞȓȟȟȜȐȎțȖȓ (Hot-pressing). ȋȠȜȠȚȓȠȜȒȠȎȘȔȓȝȞȖȚȓțȭȓȠȟȭ Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȘȜȚȝȜȕȖȤȖȜțțȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ. ǰ ȥȎȟȠțȜȟȠȖ, Ȝț ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭȒșȭȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭȖȕȒȓșȖȗțȎȜȟțȜȐȓȜȘȖȟȖȎșȬȚȖțȖȭ Ȗ SiC ȐȖȟȘȓȞȜȐ [38,39].

ǽȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȔȖȒȘȖȚȖ ȝȜșȖȚȓȞȎȚȖ Ȗ ȝȖȞȜșȖȕ (Polymer Infiltration and Pyrolysis – PIP). ǶȒȓȭ ȚȓȠȜȒȎ ȜȠȞȎȔȓțȎ Ȑ ȓȑȜ țȎȕȐȎțȖȖ. ǽȜȟșȓȒțȖȓȒȜȟȠȖȔȓțȖȭȐȠȓȣțȜșȜȑȖȖȝȜșȡȥȓțȖȭȠȓȞȚȜȟȠȜȗȘȖȣ ȐȜșȜȘȜț ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȜȕȐȜșȭȬȠ ȝȞȜȐȜȒȖȠȪ ȝȖȞȜșȖȕ ȚȎȠȞȖȥțȩȣ ȝȞȓȘȡȞȟȜȞȜȐ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ Ȗ ȝȞȜȖȕȐȜȒȖȠȪ ȫȠȖȚ ȚȓȠȜȒȜȚ (PIP) – SiC / SiC ȘȜȚȝȜȕȖȠȩ Ȓșȭ ȫȘȟȝșȡȎȠȎȤȖȖ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȖȣ ȞȎȒȖȎȤȖȜțțȩȣ țȎȑȞȡȕȘȎȣ [40].

ǽȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓțȎțȜȝȜȞȜȦȘȎȚȖȖȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȫȐȠȓȘȠȖȥȓȟȘȜȗ ȢȎȕȩ(Nano-powder Infiltration and Transient Eutectic Phase – NITE).

ǺȓȠȜȒ ȕȎȘșȬȥȎȓȠȟȭ Ȑ ȝȞȜȝȖȠȘȓ ȠȘȎțȖ Ȗȕ ȔȑȡȠȜȐ ȐȜșȜȘȜț SiC țȎțȜȞȎȕȚȓȞțȩȚȖ ȝȜȞȜȦȘȎȚȖ C-SiC Ȑ ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȖ țȓȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȣ ȘȜșȖȥȓȟȠȐ Al2O3, Y2O3 Ȗ SiO2 ȟ ȝȜȟșȓȒȡȬȧȖȚ ȑȜȞȭȥȖȚ ȝȞȓȟȟȜȐȎțȖȓȚ ȝȞȖ Ȁ= 1750 1800°ǿ Ȗ ȒȎȐșȓțȖȖ 15 20 Ǻǽa. ȋȠȜȠ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȗ ȝȞȜȤȓȟȟ ȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȓȠ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȝșȜȠțȩȣ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȣ ȐȜșȜȘȜț Ȗ ȚȎȠȞȖȤȩ ȟ ȏșȖȕȘȖȚȖ ȞȎȕȚȓȞȎȚȖ ȕȓȞȓț. Dzșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȐȩȟȜȘȖȣ ȟȐȜȗȟȠȐ ȘȜȚȝȜȕȖȠȎ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȡȬ ȞȜșȪ ȖȑȞȎȓȠ ȥȖȟȠȜȠȎ Ȗ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥțȜȟȠȪ ȐȜșȜȘȜț. ǸȜȚȝȜȕȖȠ ȟȜȟȠȜȖȠ Ȗȕ ȟșȓȒȡȬȧȖȣ ȘȜȚȝȜțȓțȠ (SiC-ȐȜșȜȘȜț, SiC-ȚȎȠȞȖȤȩ Ȗ ȝȓȞȓȣȜȒțȜȑȜ ȟșȜȭ).

ǾȎȕȞȎȏȜȠȘȎ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎ SiC ȐȜșȜȘȜț ȝȜșȜȔȖșȎ țȎȥȎșȜȤȓșȜȚȡȟȓȚȓȗȟȠȐȡȘȜȚȚȓȞȥȓȟȘȖȣȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȣȘȜȚȝȜȕȖȠȜȐ[41, 42]. ǰȠȎȏșȖȤȓ9.3 ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩțȓȘȜȠȜȞȩȓȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ȚȎȠȞȖȥțȩȣȘȜȚȝȜȕȖȠȜȐ. ǿȠȜȖȚȜȟȠȪȠȎȘȖȣȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȥȞȓȕȐȩȥȎȗțȜ ȐȩȟȜȘȎ Ȗ ȒȜȟȠȖȑȎȓȠ 10 000$ ȕȎ ȘȖșȜȑȞȎȚȚ [3].

ǺȓȠȜȒȩ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȐȜșȜȘȜț (ȐȖȟȘȓȞȜȐ)

ǸȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȓ ȚȎȠȓȞȖȎșȩ ȝȞȖ ȜȝȞȓȒȓșȓțțȩȣ ȡȟșȜȐȖȭȣ ȚȜȑȡȠ ȜȏȞȎȕȜȐȩȐȎȠȪ ȚȖȘȞȜ- Ȗ țȎțȜȟȠȞȡȘȠȡȞȩ Ȑ ȐȖȒȓ ȐȜșȜȘȜț, ȘȜȠȜȞȩȓ ȝȜșȡȥȖșȖțȎȕȐȎțȖȓȡȟȜȐȖșȖȐȖȟȘȓȞȜȐ. ǿȠȜȥȘȖȕȞȓțȖȭȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘ ȐȜșȜȘțȜ Ȗ ȠȞȓȣȚȓȞțȜȓ ȠȓșȜ ȐȓȒȡȠ ȟȓȏȭ ȝȜ ȞȎȕțȜȚȡ. ǿ ȜȒțȜȗȟȠȜȞȜțȩȝȞȜȭȐșȭȓȠȟȭȚȎȟȦȠȎȏțȩȗȫȢȢȓȘȠ – ȞȎȕȚȓȞȒȓȢȓȘȠȜȐ, ȟțȖȔȎȬȧȖȣȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ, ȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭȟȡȚȓțȪȦȓțȖȓȚȞȎȕȚȓȞȜȐȠȓș. ǿȒȞȡȑȜȗȟȠȜȞȜțȩ, ȐȜșȜȘțȎȭȐșȭȬȠȟȭȜȒțȜȚȓȞțȩȚȖ

ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȚȖȖȒȓȢȓȘȠȩȞȎȟȝȜșȎȑȎȬȠȟȭȐțȖȣȡȝȜȞȭȒȜȥȓțȜ, ȞȎȟȝȜșȎȑȎȭȟȪ Ȑ ȜȒțȡ șȖțȖȬ. ȋȠȖ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȖ ȜȏȡȟșȜȐșȖȐȎȬȠ ȖȟȘșȬȥȖȠȓșȪțȩȓ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȐȜșȜȘȜț. ǰȩȟȜȘȜȝȞȜȥțȩȓ ȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȜțțȩȓ ȐȜșȜȘțȎ ȚȜȑȡȠ ȖȚȓȠȪ ȎȚȜȞȢțȡȬ, ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȡȬ ȖșȖ ȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȡȬ ȟȠȞȡȘȠȡȞȡ. ǰ ȝȜȟșȓȒțȓȚ ȟșȡȥȎȓ ȐȜșȜȘțȎ (ȡȑșȓȞȜȒ, ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȞȭȒ ȒȞȡȑȖȣ), ȘȎȘ ȝȞȎȐȖșȜ, țȎțȜȟȠȞȡȘȠȡȞȖȞȜȐȎțȩ. Ƕȕ-ȕȎ ȚȎșȩȣ ȞȎȕȚȓȞȜȐ ȐȖȟȘȓȞȩ ȭȐșȭȬȠȟȭ ȜȒțȜȗ Ȗȕ ȞȎȕțȜȐȖȒțȜȟȠȓȗ ȜȒțȜȚȓȞțȩȣ țȎțȜȟȠȞȡȘȠȡȞ. ǼțȖ ȚȜȑȡȠ ȖȚȓȠȪ ȞȎȕșȖȥțȩȓ ȢȜȞȚȩ: ȐȜșȜȘȜț, ȠȞȡȏȜȘ, ȝȞȜȐȜșȜȘ, ȘȜșȓȤ, ȜȔȓȞȓșȖȗ Ȗ Ƞ. Ȓ., ȞȖȟ. 9.1. ǰȖȟȘȓȞȩ ȝȞȖȚȓțȭȬȠ, ȘȎȘ Ȓșȭ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȚȎȠȞȖȥțȩȣ ȘȜȚȝȜȕȖȠȜȐ, ȠȎȘ Ȗ Ȓșȭ țȎțȓȟȓțȖȭ ȕȎȧȖȠțȩȣ ȝȜȘȞȩȠȖȗ. ȅȠȜȏȩ ȕȎȧȖȠȖȠȪ ȡȑșȓȞȜȒ/ȡȑșȓȞȜȒțȩȓ ȘȜȚȝȜȕȖȠȩ ȜȠ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ, ȝȜȘȞȩȠȖȓ țȎțȜȟȖȠȟȭ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ C/C. ǼȒțȎȘȜ, ȞȎȕșȖȥȖȓ Ȑ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎȣ ȠȓȝșȜȐȜȑȜ ȞȎȟȦȖȞȓțȖȭ ȚȓȔȒȡ ȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȖȚ ȝȜȘȞȩȠȖȓȚ Ȗ C/C ȘȜȚȝȜȕȖȠȜȚ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ ȠȞȓȧȖț Ȗ ȜȠȟșȜȓțȖȬ ȝȜȘȞȩȠȖȗ. ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȐȖȟȘȓȞȜȐ ȜȏȡȟșȜȐșȖȐȎȓȠ ȡȝȞȜȥțȓțȖȓ ȝȜȘȞȩȠȖȗ Ȗ ȝȜȐȩȦȓțȖȓ ȡȟȠȜȗȥȖȐȜȟȠȖ Ș ȜȘȖȟșȓțȖȬ. ǽȞȖȚȓțȓțȖȓ ȚȓȠȜȒȎ ȟȝȓȘȎțȖȭ ȒȖȟȝȓȞȑȖȞȜȐȎțțȩȣ SiC ȐȖȟȘȓȞȜȐ Ȑ ȝȜȞȜȦȘȎȣ Ȓșȭ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȘȜȚȝȜȕȖȤȖȜțțȩȣ ȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȖȣ ȝȜȘȞȩȠȖȗ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș țȓȖȕȏȓȔțȩȚ ȝȜȠȓȞȭȚ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ ȟȐȜȗȟȠȐ SiC ȐȖȟȘȓȞȜȐ. Dzșȭ ȞȓȦȓțȖȭ ȫȠȜȗ ȝȞȜȏșȓȚȩȞȎȕȞȎȏȜȠȎțȎȒȐȡȣȟȠȡȝȓțȥȎȠȎȭȚȓȠȜȒȖȘȎȡȝȞȜȥțȓțȖȭȝȜȘȞȩȠȖȭ ȘȓȞȎȚȖȘȖ SiC ȐȖȟȘȓȞȎȚȖ. ǽȓȞȐȎȭ ȟȠȡȝȓțȪ – ȜȟȎȔȒȓțȖȓ ȝșȓțȘȖ SiC ȐȖȟȘȓȞȜȐ ȚȓȠȜȒȜȚ CVD țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ C/C ȘȜȚȝȜȕȖȠȎ. ǰȠȜȞȎȭ – ȕȎȝȜșțȓțȖȓ ȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȜȗ ȚȎȠȞȖȤȩ ȝȡȠȓȚ ȟȝȓȘȎțȖȭ.

ǽȜ ȟȞȎȐțȓțȖȬ ȟ ȐȖȟȘȓȞȎȚȖ SiC țȎțȜȐȜșȜȘțȎ ȖȚȓȬȠ ȒȞȡȑȖȓ ȑȓȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȖȓ ȝȞȜȝȜȞȤȖȖ, ȏȜșȪȦȓȓ ȜȠțȜȦȓțȖȓ ȒșȖțȩ Ș ȒȖȎȚȓȠȞȡ Ȗ șȡȥȦȖȓ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ: ȫșȎȟȠȖȥțȜȟȠȪ Ȗ ȝȞȜȥ-

ǾȖȟ. 9.1. SiC țȎțȜȐȜșȜȘțȎ. [ǰ.ǿ. ǸȖȟȓșȓȐ, ǽ.Ǻ. ǹȖȠȐȖț, Ǯ.dz. ǯȓșȭȓȐ, ȥȎȟȠțȜȓ ȟȜȜȏȧȓțȖȓ]

242 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ

țȜȟȠȪ. ǯșȎȑȜȒȎȞȭ ȝȞȖȐșȓȘȎȠȓșȪțȩȚ ȜȝȠȖȥȓȟȘȖȚ, ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȚ, ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȚ Ȗ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚ, (1D) SiC țȎțȜȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȐȩȕȩȐȎȬȠ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȗ ȖțȠȓȞȓȟ. ǼțȖ ȚȜȑȡȠ ȏȩȠȪ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȩ Ȑ ȒȖȟȝșȓȭȣȟȝȜșȓȐȜȗȫȚȖȟȟȖȓȗ, ȐȘȎȥȓȟȠȐȓțȎțȜȟȓțȟȜȞȜȐȐțȎțȜȚȎȟȦȠȎȏțȩȣ ȫșȓȘȠȞȜțțȩȣ ȝȞȖȏȜȞȎȣ. SiC ȐȖȟȘȓȞȩ ȖȟȟșȓȒȡȬȠ ȚȓȠȜȒȎȚȖ ȞȓțȠȑȓțȜȐȟȘȜȗ ȢȜȠȜȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȟȝȓȘȠȞȜȟȘȜȝȖȖ, ȟȘȎțȖȞȡȬȧȓȗ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȚȖȘȞȜȟȘȜȝȖȖ (SEM), ȝȞȜȟȐȓȥȖȐȎȬȧȓȗ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȟȝȓȘȠȞȜȟȘȜȝȖȖ (TEM) ȖȘȜȚȏȖțȎȤȖȜțțȜȑȜȞȎȟȟȓȭțȖȭȟȐȓȠȎ. ȋȢȢȓȘȠȖȐțȩȗ ȚȓȠȜȒ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȫșȓȘȠȞȜțțȩȣ Ȗ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȟȐȜȗȟȠȐ SiC ȐȖȟȘȓȞȜȐ – ȟȝȓȘȠȞȜȟȘȜȝȖȭ ǶǸ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ.

DzșȭȟȖțȠȓȕȎ SiC țȎțȜȟȠȞȡȘȠȡȞ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȤȓșȩȗȞȭȒȞȎȕșȖȥțȩȣ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȚȓȠȜȒȜȐ. ǾȓȎȘȤȖȖ ȟ ȡȑșȓȞȜȒțȩȚȖ țȎțȜȠȞȡȏȘȎȚȖ, ȒȡȑȜȐȜȗ ȞȎȕȞȭȒ, șȎȕȓȞțȎȭ ȎȏșȭȤȖȭ, ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȓ ȜȟȎȔȒȓțȖȓ ȝȎȞȜȐ (CVD), ȐȩȟȜȘȜȥȎȟȠȜȠțȩȗ ȖțȒȡȘȤȖȜțțȩȗ țȎȑȞȓȐ Ȗ ȘȎȞȏȜȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȓ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȘȞȓȚțȓȕȓȚțȜȑȜ ȘȟȓȞȜȑȓșȭ. ǻȓȒȜȟȠȎȠȘȜȚ ȫȠȖȣ ȚȓȠȜȒȜȐ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȐȩȟȜȘȎȭ ȟȠȜȖȚȜȟȠȪ, ȏȜșȪȦȎȭ ȒșȖȠȓșȪțȜȟȠȪ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ, ȒȜȞȜȑȜȟȠȜȭȧȓȓ ȜȏȜȞȡȒȜȐȎțȖȓ, țȖȕȘȖȗ ȐȩȣȜȒ ȝȞȜȒȡȘȤȖȖ

ȖțȓȜȏȣȜȒȖȚȜȟȠȪ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȭ ȘȎȠȎșȖȕȎȠȜȞȜȐ. ǽȜȟșȓȒțȓȓ ȜȑȞȎțȖȥȖȐȎȓȠ ȜȏșȎȟȠȖ ȝȞȖȚȓțȓțȖȭ ȝȞȜȒȡȘȤȖȖ. ǰ ȏȜșȪȦȖțȟȠȐȓ ȟșȡȥȎȓȐ Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȐȖȟȘȓȞȜȐ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭ ȚȓȠȜȒȩ ȘȎȞȏȜȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȘȞȓȚțȓȕȓȚȎ, ȞȎȕșȜȔȓțȖȓ ȜȞȑȎțȖȥȓȟȘȖȣ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȣȟȜȓȒȖțȓțȖȗȖȞȓȎȘȤȖȖȚȓȔȒȡȘȞȓȚțȖȓȐȩȚȖȑȎșȜȖȒȎȚȖ(halides)

ȖCCl4, ȎȠȎȘȔȓȝȎȞȜ-ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȓȜȟȎȔȒȓțȖȓ(CVD) ȟȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȖȣ ȘȎȠȎșȖȕȎȠȜȞȜȐ (Ni ȖșȖ Fe) [28, 43 55]. ǿȞȓȒȖ ȫȠȖȣ ȚȓȠȜȒȜȐțȎȖȏȜșȓȓȦȖȞȜȘȜȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭȚȓȠȜȒȩȘȎȞȏȜȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ Ȗ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȟȎȔȒȓțȖȭ.

ǺȓȠȜȒ ȘȎȞȏȜȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ SiO2 ȭȐșȭȓȠȟȭ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȝȞȜȟȠȩȚ. ǽȞȖ ȘȎȞȏȜȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȚ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȖ SiC Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȐȖȟȘȓȞȜȐ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠ ȠȞȖ ȚȓȣȎțȖȕȚȎ ȞȜȟȠȎ:ȚȓȣȎțȖȕȚ ȝȎȞ-ȠȐȓȞȒȜȓ (vapor-solid (VS)) [43, 44]; ȚȓȣȎțȖȕȚ ȒȐȡȣȟȠȡȝȓțȥȎȠȜȑȜ ȞȜȟȠȎ(two-stage growth (TS)) [45, 46]; ȚȓȣȎțȖȕȚȝȎȞ-ȔȖȒȘȜȓ-ȠȐȓȞȒȜȓ

(vapor-liquid-solid (VLS)) [47 50].

ǺȓȠȜȒȜȚ (VS) ȐȖȟȘȓȞȩȝȜșȡȥȎȬȠ ȝȞȭȚȜȗȎȘȘȜȚȜȒȎȤȖȓȗȎȠȜȚȜȐ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒȎ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȞȜȟȠȎ [51 54].

ǺȓȠȜȒȜȚ (TS) ȝȜșȡȥȎȬȠ Ȗȕ ȟȩȞȪȭ ȟȜȒȓȞȔȎȧȓȑȜ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȖȓ ȝȞȖȚȓȟȖ. ǻȎȝȞȖȚȓȞ, Ȗȕ ȞȖȟȜȐȜȗ ȦȓșȡȣȖ. Ƕȕ-ȕȎ ȝȞȖȚȓȟȓȗ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȞȜȟȠȎ ȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭ ȘȎȝșȖ. ǼțȖ ȏȩȟȠȞȜ ȝȜȘȞȩȐȎȬȠȟȭ ȘȜȚȝȜțȓțȠȎȚȖ ȝȎȞȜȐ Ȗ ȟșȡȔȎȠ ȤȓțȠȞȎȚȖ țȡȘșȓȎȤȖȖ Ȓșȭ ȞȜȟȠȎ ȐȖȟȘȓȞȜȐ [55].

ǺȓȠȜȒȜȚ (VLS) ȐȖȟȘȓȞȩ ȝȜșȡȥȎȬȠ ȝȡȠȓȚ ȞȎȟȠȐȜȞȓțȖȭ ȝȎȞȜȐ ȘȞȓȚțȖȭȖȡȑșȓȞȜȒȎȐȔȖȒȘȖȣȘȎȝșȭȣ[47 50]. ȋȠȖȘȎȝșȖȢȜȞȚȖȞȡȬȠȟȭ Ȗȕ ȞȎȟȝșȎȐșȓțțȜȑȜ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȎȠȎșȖȕȎȠȜȞȎ. ǰ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȔȖȒȘȖȣ ȘȎȝȓșȪ ȟșȡȔȎȠ ȚȓȠȎșșȩ: ȔȓșȓȕȜ, țȖȘȓșȪ, ȚȓȒȪ Ȗ ȕȜșȜȠȜ. ǾȎȟȠȐȜȞȓțțȩȓ ȘȞȓȚțȖȗ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒțȩȓ ȎȠȜȚȩ ȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȠ ȥȓȞȓȕ ȘȎȝșȬ, ȕȎȠȓȚȜȟȎȔȒȎȬȠȟȭțȎȝșȜȟȘȜȟȠȖȞȜȟȠȎȐȐȖȒȓSiC. ǰȞȎȟȝșȎȐȓ ȘȎȠȎșȖȕȎȠȜȞȎ ȜȟȎȔȒȎȬȠȟȭ ȝȓȞȓȟȩȧȓțțȩȓ ȝȎȞȩ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒȎ. ǾȜȟȠ ȘȞȖȟȠȎșșȜȐ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȝȞȖ ȜȟȎȔȒȓțȖȖ Ȗȕ ȝȓȞȓȟȩȧȓțțȜȑȜ ȞȎȟȠȐȜȞȎ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ.

ǾȜȟȠSiC țȎțȜȐȜșȜȘȜțȚȓȠȜȒȜȚȘȎȞȏȜȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȐȜ ȚțȜȑȜȚ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȚȖ ȢȎȘȠȜȞȎȚȖ: ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȜȗ, ȐȞȓȚȓțȓȚ ȝȞȜȤȓȟȟȎ, ȟȘȜȞȜȟȠȪȬ ȝȜȠȜȘȎ ȑȎȕȜȐ Ȗ ȘȎȥȓȟȠȐȜȚ ȝȜȞȜȦȘȎ SiO2.

9.3. ǯȖȜȚȜȞȢțȎȭ ȘȓȞȎȚȖȘȎ

ǰ ȝȜȟșȓȒțȓȓ ȐȞȓȚȭ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȓ ȡȟȖșȖȭ țȎȝȞȎȐșȓțȩ țȎ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȓ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ, ȝȞȜȖȕȐȜȒțȩȣ ȜȠ ȏȖȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȜȏȨȓȘȠȜȐ. ȅȎȧȓȐȟȓȑȜȫȠȜȘȓȞȎȚȖȘȎȖȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȖȓȟȚȓȟȖ. ǸȎȘȝȞȎȐȖșȜ, ȠȓȣțȜșȜȑȖȭȝȜșȡȥȓțȖȭȏȖȜȚȜȞȢțȩȣȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȟȜȟȠȜȖȠȖȕȒȐȡȣȜȟțȜȐțȩȣ ȫȠȎȝȜȐ– ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȓȡȑșȓȞȜȒțȩȣȚȎȠȞȖȤȖȕȏȖȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣȜȏȨȓȘȠȜȐ Ȗ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ Ȗȣ Ȑ ȘȓȞȎȚȖȘȡ. ǽȞȖȑȜȠȜȐșȓțȖȓ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȞȖȤ Ȗȕ ȏȖȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȜȏȪȓȘȠȜȐ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȝȜșȡȥȎȠȪ ȚȎȠȓȞȖȎșȩ ȝȟȓȐȒȜȚȜȞȢțȩȓ ȫȠȖȚȜȏȨȓȘȠȎȚȠ.Ș. ȐȜȟȝȞȜȖȕȐȜȒȖȠȟȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȏȖȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ Ȑ ȚȖȘȞȜ-, ȚȓȕȜ- Ȗ ȚȎȘȞȜ ȚȎȟȦȠȎȏȓ. ȀȎȘȖȓ ȓȟȠȓȟȠȐȓțțȩȓ ȖȓȞȎȞȣȖȥȓȟȘȖȓȝȜȞȖȟȠȩȓȟȠȞȡȘȠȡȞȩȜȏșȎȒȎȬȠȐȩȟȜȘȖȚ ȡȞȜȐțȓȚ ȟșȜȔțȜȟȠȖ, ȘȜȠȜȞȩȗ țȓȒȜȟȠȡȝȓț Ȓșȭ ȒȞȡȑȖȣ ȟȜȐȞȓȚȓțțȩȣ ȠȓȣțȜșȜȑȖȗ. ǶțȠȓȞȓȟȘȝȜșȡȥȓțȖȬȏȖȜȚȜȞȢțȩȣȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȐȩȕȐȎț ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜȗ ȝȞȜȟȠȜȠȜȗ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ Ȗ ȤȓșȩȚ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȚ ȝȜșȓȕțȩȣȟȐȜȗȟȠȐ. ǼȏșȎȟȠȖȐȜȕȚȜȔțȜȑȜȝȞȖȚȓțȓțȖȭȠȎȘȜȗȫȘȜȘȓȞȎȚȖȘȖ: ȎȫȞȜȘȜȟȚȖȥȓȟȘȎȭ Ȗ ȎȐȠȜȚȜȏȖșȪțȎȭ ȝȞȜȚȩȦșȓțțȜȟȠȪ, ȚȓȒȖȤȖțȎ (ȜȞȠȜȝȓȒȖȭ), ȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȓ ȠȓȝșȜȜȏȚȓțțȖȘȖ, ȠȓȞȚȜȚȓȠȞȩ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ, ȒȎȠȥȖȘȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȗ ȐșȎȔțȜȟȠȖ, ȎȏȟȜȞȏȓțȠȩ, țȜȟȖȠȓșȖ ȘȎȠȎșȖȕȎȠȜȞȜȐ, ȠȓȞȚȜȖȕȜșȭȤȖȭ Ȗ ȒȞ.

ǯȖȜȚȜȞȢțȩȓ ȘȜȚȝȜȕȖȠȩ țȎ ȜȟțȜȐȓ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ țȎȕțȎȥȓțȖȭ ȖȚȓȬȠ ȞȭȒ țȎȕȐȎțȖȗ – ȏȖȜ-SiC, ȫȘȜȘȓȞȎȚȖȘȎ

(ecoceramicsenvironment conscious ceramics). ǸȓȞȎȚȖȘȎ țȎ ȜȟțȜȐȓ ȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȓȠȟȭțȎȏȜȞȜȚȞȭȒȎȟȐȜȗȟȠȐ. ȋȠȜȐȩȟȜ-

244 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ

ȘȎȭȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȎȭȝȞȜȥțȜȟȠȪ, ȡȟȠȜȗȥȖȐȜȟȠȪȘȘȜȞȞȜȕȖȖȖȜȘȖȟșȓțȖȬ, ȚȎșȩȗ Ȑȓȟ, ȏȜșȪȦȎȭ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪ, ȝȞȖȐȜȒȭȧȎȭ Ș ȏȜșȪȦȜȗ ȝșȜȧȎȒȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ 1000 Ț2ȑ 1, ȡȟȠȜȗȥȖȐȜȟȠȪ Ș ȠȓȞȚȜȡȒȎȞȎȚ Ȗ ȒȞ.

Dzșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȏȖȜȘȓȞȎȚȖȘȖ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠ ȞȎȕșȖȥțȩȓ ȏȖȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȓȜȏȪȓȘȠȩȖȚȎȠȓȞȖȎșȩ. ǶȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭȡȑșȓȞȜȒțȩȓȚȎȠȞȖȤȩȖȕ ȘȎȞȠȜțȎ, ȏȡȚȎȑȖ, ȕȓȞȓț ȝȞȜȟȎ Ȗ ȒȞȡȑȖȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ. ǽȞȜȐȜȒȭȠȟȭ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȒȎȔȓȠȎȘȖȣȫȘȕȜȠȖȥȓȟȘȖȣȜȏȪȓȘȠȜȐȘȎȘȘȞȩșȪȭȏȎȏȜȥȓȘ, ȚȓȚȏȞȎțȩȭȖȤȖȠ. Ȓ. [56]. ǻȜȥȎȧȓȐȟȓȑȜȏȖȜȘȓȞȎȚȖȘȡȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȬȠ țȎ ȜȟțȜȐȓ «ȘȎțȎșȪțȩȣ» ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȞȖȤ, ȝȜșȡȥȎȓȚȩȣ ȝȡȠȓȚ ȝȖȞȜșȖȕȎȞȎȕșȖȥțȩȣȟȜȞȠȜȐȒȞȓȐȓȟȖțȩ. DzșȭȫȠȖȣȤȓșȓȗȝȞȖȚȓțȭȬȠ ȒȞȓȐȓȟȖțȡ ȟȜȟțȩ, ȫȐȘȎșȖȝȠȎ, ȚȎțȑȜ, ȒȡȏȎ, ȏȡȘȎ, ȘșȓțȎ Ȗ Ƞ. Ȓ. DzȖȎȚȓȠȞȘȎțȎșȜȐȐȎȞȪȖȞȡȓȠȟȭȜȠ4 ȒȜ100 ȚȘȚ. ǸșȓȠȜȥțȡȬȎȞȣȖȠȓȘȠȡȞȡ ȒȞȓȐȓȟțȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȓȠ ȖȓȞȎȞȣȖȥȓȟȘȖ ȝȜȟȠȞȜȓțțȎȭ ȎțȎȠȜȚȖȭ, ȟșȜȔțȎȭ ȎȞȣȖȠȓȘȠȡȞȎ Ȗ ȜȒțȜȜȟțȎȭ ȎțȖȕȜȠȞȜȝțȎȭ ȜȠȘȞȩȠȎȭ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪ ȟ ȦȖȞȜȘȖȚ ȞȎȕțȜȜȏȞȎȕȖȓȚ ȭȥȓȖȟȠȩȣ/ȝȜȞȖȟȠȩȣ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȗ, ȡțȖȘȎșȪțȩȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȜ-ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ. Dzșȭ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȫȠȖȣ ȚȎȠȞȖȤ Ȑ ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠ ȞȎȕșȖȥțȩȓ ȚȓȠȜȒȩ [57 73]. ǻȎȖȏȜșȓȓ ȞȎȕȞȎȏȜȠȎțțȩȚȖ Ȗȕ țȖȣ ȭȐșȭȬȠȟȭȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓȔȖȒȘȖȚȘȞȓȚțȖȓȚ[57, 58], ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȝȎȞȎȚȖȘȞȓȚțȖȭȝȡȠȓȚȖȟȝȎȞȓțȖȭSi [60 62] ȖșȖSiO [68, 69], ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȓ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȝȎȞȎ-

ȚȖchemical vapor infiltration and reaction (CVI-R) [70 72].

ǽȞȖțȤȖȝȖȎșȪțȩȚ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȠȜ, ȥȠȜ ȒȞȓȐȓȟȖțȎ – ȫȠȜ ȝȜȞȖȟȠȩȗ ȚȎȠȓȞȖȎș ȟ ȜȠȘȞȩȠȜȗ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪȬ, ȥȠȜȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȓȠ ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȪ ȓȓ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȝȎȞȎȚȖ ȖșȖ ȔȖȒȘȖȚ ȘȞȓȚțȖȓȚ. ǼȒțȎȘȜ, ȒșȭȏȜșȪȦȖțȟȠȐȎ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ ȐȟȓȑȒȎ ȟȡȧȓȟȠȐȡȓȠ țȓȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȖȓ Ȑ ȟȠȓȝȓțȖ ȐȜȟȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȖ ȖȟȣȜȒțȩȣ ȓȟȠȓȟȠȐȓțțȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȑȜ ȚȎȞȦȞȡȠȎ, ȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȬȧȓȑȜ ȠȜȥțȜȓȡȝȞȎȐșȓțȖȓȐȎȔțȩȚȖ

ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚȖ ȘȓȞȎȚȖȘȖ, ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ, ȞȎȕȚȓȞȎ ȝȜȞ Ȗ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȞȎȕȚȓȞȜȐ ȝȜȞ ȝȜȘȎ țȓ ȞȎȕȞȎȏȜȠȎțȜ. ǸȎȘ ȝȞȎȐȖșȜ, ȘȜțȓȥțȩȗ ȝȞȜȒȡȘȠ ȟȜȟȠȜȖȠ Ȗȕ SiC Ȗ ȜȟȠȎȠȜȥțȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒȎ. ǺȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȜȝȞȓȒȓșȭȬȠȟȭ ȘȎȞȏȖȒȜȚ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȓȗ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ.

ǻȎ ȞȖȟ. 9.2. ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎ ȠȖȝȜȐȎȭ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȎȭ ȟȣȓȚȎ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȏȖȜȚȜȞȢțȜȑȜ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ. ǰȖȒțȜ, ȥȠȜ ȝȞȜȤȓȟȟ ȟȜȟȠȜȖȠ Ȗȕ ȞȭȒȎ ȝȜȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȩȣ ȫȠȎȝȜȐ.

ǼȟȜȏȓțțȜȟȠȖ ȟȠȞȜȓțȖȭ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ Ȗ ȝȞȜȐȓȒȓțȖȓ ȝȖȞȜșȖȕȎ

ǾȎȕșȖȥȎȬȠ ȒȐȎ ȜȟțȜȐțȩȣ ȐȖȒȎ ȒȞȓȐȓȟțȩȣ ȝȜȞȜȒ: șȖȟȠȐȓțțȩȓ

(hardwood, dicotlyedonous angiosperms) Ȗ ȣȐȜȗțȩȓ (softwoods, coniferous wood ȖșȖ gymnosperms). ȋȠȖ ȠȓȞȚȖțȩ țȓ ȖȚȓȬȠ ȜȠțȜȦȓțȖȭ

ȘȠȐȓȞȒȜȟȠȖ, ȎȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȬȠ ȎțȎȠȜȚȖȥȓȟȘȡȬ ȟȠȞȡȘȠȡȞȡ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ. ǰȩȏȜȞ ȖȟȣȜȒțȜȗ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ ȐȜ ȚțȜȑȜȚ ȚȜȔȓȠ ȜȝȞȓȒȓșȭȠȪ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȏȖȜȘȓȞȎȚȖȘȖ: ȝșȜȠțȜȟȠȪ, ȝȜȞȖȟȠȡȬ ȟȠȞȡȘȠȡȞȡ Ȗ ȒȞȡȑȖȓ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ.

ǽȜȝȓȞȓȥțȩȗȟȞȓȕȒȞȓȐȓȟȖțȩȟȜȟȠȜȖȠȖȕȘȜțȤȓțȠȞȖȥȓȟȘȖȣȑȜȒȖȥțȩȣȟșȜȓȐȟȜȠȐȓȞȟȠȖȭȚȖ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȬȧȖȚȖȟȜȏȜȗȟȓȥȓțȖȭȟȜȟȡȒȜȐ. ȆȖȞȖțȎ ȫȠȖȣ ȟșȜȓȐ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȝȜȞȜȒȩ, ȡȟșȜȐȖȗ ȞȜȟȠȎ Ȗ ȝȜșȜȔȓțȖȭ Ȑ ȟȠȐȜșȓ. ǸȎȔȒȩȗ ȑȜȒȖȥțȩȗ ȟșȜȗ ȟȜȟȠȜȖȠ Ȗȕ ȒȐȡȣ ȥȎȟȠȓȗ – ȞȎțțȓȗ Ȗ ȝȜȕȒțȓȗ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ: ȞȎțțȭȭ ȒȞȓȐȓȟȖțȎ (ȐțȡȠȞȓțțȭȭ) ȜȏȞȎȧȓțȎ

ȘȟȓȞȒȤȓȐȖțȓ, ȝȜȕȒțȭȭ ȒȞȓȐȓȟȖțȎ ȜȏȞȎȧȓțȎ Ș ȘȜȞȓ. ǿȜȟȡȒȩ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȬȠ ȟȜȏȜȗ ȟȖȟȠȓȚȡ ȘȎțȎșȜȐ ȞȎȟȝȞȜȟȠȞȎțȭȬȧȖȣȟȭ ȐȒȜșȪ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ, ȟșȡȔȎȧȖȣ Ȓșȭ ȝȞȜȐȓȒȓțȖȭ ȐȜȒȩ ȟ ȞȎȟȠȐȜȞȓțțȩȚȖ Ȑ țȓȗ ȚȖțȓȞȎșȪțȩȚȖ ȐȓȧȓȟȠȐȎȚȖ. ǿȜȟȡȒȩ – Ȗȣ ȥȎȟȠȜ țȎȕȩȐȎȬȠ ȝȜȞȎȚȖ, ȭȐșȭȬȠȟȭ ȠȖȝȖȥțȩȚȖ Ȓșȭ șȖȟȠȐȓțțȩȣ ȝȜȞȜȒ Ȗ ȡ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜȞȜȒ Ȑ ȟȓȥȓțȖȖ ȟȠȐȜșȎ ȚȜȑȡȠ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȭȠȪȟȭ ȞȎȕșȖȥțȩȚ ȜȏȞȎȕȜȚ. ȁ șȖȟȠȐȓțțȩȣ ȘȜșȪȤȓȟȜȟȡȒȖȟȠȩȣ ȝȜȞȜȒȘȞȡȝțȩȓȟȜȟȡȒȩȥȎȧȓȐȟȓȑȜ ȞȎȟȝȜșȜȔȓțȩȐȞȎțțȓȗȒȞȓȐȓȟȖțȓȖțȎȝȜȝȓȞȓȥțȜȚȞȎȕȞȓȕȓȜȏȞȎȕȡȬȠ ȟȝșȜȦțȜȓȘȜșȪȤȜ. ȁȞȎȟȟȓȭțȜȟȜȟȡȒȖȟȠȩȣ ȝȜȞȜȒȒȞȓȐȓȟȖțȩȚȓșȘȖȓȖ ȘȞȡȝțȩȓȟȜȟȡȒȩȞȎȟȝȞȓȒȓșȭȬȠȟȭȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜȞȎȐțȜȚȓȞțȜȝȜȐȟȓȚȡ ȟȓȥȓțȖȬ ȟȠȐȜșȎ. ȅȎȟȠȜ Ȑ șȖȠȓȞȎȠȡȞȓ, ȝȜȟȐȭȧȓțțȜȗ ȏȖȜȘȓȞȖȚȖȘȓ, ȟȜȟȡȒȩ țȎȕȩȐȎȬȠ ȝȜȞȎȚȖ. ǽȜȞȜȒȩ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ ȜȏșȎȒȎȬȠ ȚȡșȪȠȖ ȖșȖ ȚȜțȜȚȜȒȎșȪțȩȚ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓȚ ȝȜȞ. ȀȎȘ ȟȜȟțȎ, ȜȠțȜȟȭȧȎȭȟȭ Ș ȣȐȜȗțȩȚ ȝȜȞȜȒȎȚ ȖȚȓȓȠ ȚȜțȜȚȜȒȎșȪțȜȓ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȝȜȞ, Ȏ șȖȟȠȐȓțțȩȓ ȝȜȞȜȒȩ – ȚȡșȪȠȖȚȜȒȎșȪțȜȓ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ.

ǸșȓȠȘȖ, ȟȜȟȠȎȐșȭȬȧȖȓ ȒȞȓȐȓȟȖțȡ, ȞȎȕțȜȜȏȞȎȕțȩ ȝȜ ȢȜȞȚȓ Ȗ ȐȓșȖȥȖțȓ. ǾȎȕșȖȥȎȬȠ ȒȐȎ ȜȟțȜȐțȩȣ ȐȖȒȎ ȘșȓȠȜȘ: ȝȎȞȓțȣȖȚțȩȓ Ȗ

246 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ

ȝȞȜȕȓțȣȖȚțȩȓ. ǽȎȞȓțȣȖȚțȩȓȘșȓȠȘȖȟșȡȔȎȠȒșȭȜȠșȜȔȓțȖȭȝȖȠȎȠȓșȪțȩȣ ȐȓȧȓȟȠȐ. DzȞȓȐȓȟȖțȎ ȣȐȜȗțȩȣ ȝȜȞȜȒ Țȓțȓȓ ȟșȜȔțȎ ȎțȎȠȜȚȖȥȓȟȘȖ, ȝȜȟȘȜșȪȘȡ ȜțȎ ȟȜȒȓȞȔȖȠ ȚȓțȪȦȓ ȞȎȕțȜȐȖȒțȜȟȠȓȗ ȘșȓȠȜȘ ȟ ȚȓțȪȦȓȗ ȐȎȞȖȎȤȖȓȗ ȞȎȕȚȓȞȜȐ Ȗ ȞȎȕȚȓȧȓțȖȗ Ȑ ȒȞȓȐȓȟȖțȓ.

DzȞȓȐȓȟțȩȗ ȡȑȜșȪ – ȡȑșȓȞȜȒțȩȗ ȚȎȠȓȞȖȎș, ȝȜșȡȥȓțțȩȗ ȝȖȞȜșȖȕȜȚȏȖȜȚȎȟȟȩ, ȥȎȧȓȐȟȓȑȜȒȞȓȐȓȟȖțȩ. DZșȎȐțȩȗȟȝȜȟȜȏȝȜșȡȥȓțȖȭ ȒȞȓȐȓȟțȜȑȜ ȡȑșȭ ȖȕȐȓȟȠȓț ȜȘȜșȜ ȦȓȟȠȖ Ƞȩȟȭȥ șȓȠ, Ȗ ȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐȓțțȜ ȐȘșȬȥȎȓȠ ȠȓȝșȜȐȡȬ ȜȏȞȎȏȜȠȘȡ ȏȖȜȚȎȟȟȩ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ ȐȩȦȓ650 K ȐțȓȜȘȖȟșȖȠȓșȪțȜȗȎȠȚȜȟȢȓȞȓ. ǿȎȚȜȓȖȕȐȓȟȠțȜȓȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȒȞȓȐȓȟțȜȑȜ ȡȑșȭ – ȘȜțȐȓȞȟȖȭ ȫțȓȞȑȖȖ Ȑ ȝȞȜȚȩȦșȓțțȜȟȠȖ. Ǽț ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ Ȑ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȖȟȣȜȒțȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ Ȗ ȞȓȎȘȠȖȐȎ Ȓșȭ ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎ ȟȠȎșȖ, Ȏ ȠȎȘȔȓ Ȑ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗ Ȗ ȢȎȞȚȎȤȓȐȠȖȥȓȟȘȜȗ ȝȞȜȚȩȦșȓțțȜȟȠȖ. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȎȘȠȖȐȖȞȜȐȎțțȩȗ ȡȑȜșȪ ȦȖȞȜȘȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ Ȑ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȎȒȟȜȞȏȤȖȜțțȜȑȜ ȎȑȓțȠȎ.

ǽȞȖȝȖȞȜșȖȕȓȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓȐȩȦȓ600°ǿșȓȠȡȥȖȓȘȜȚȝȜțȓțȠȩ – ȐȜȒȎ, CO2, ȘȖȟșȜȠȩ, ȘȎȞȏȜțȖșȪțȩȓȑȞȡȝȝȩȖȟȝȖȞȠȩȡȒȎșȭȬȠȟȭ ȝȡȠȓȚȞȎȕșȜȔȓțȖȭȟȠȞȡȘȠȡȞȏȖȜȝȜșȖȚȓȞȎ. ǽȞȖȫȠȜȚ, ȜȟțȜȐțȩȓȘȜȚȝȜțȓțȠȩ ȏȖȜȝȜșȖȚȓȞȎ, ȟȜȟȠȎȐșȭȬȧȖȓ ȚȎȠȓȞȖȎș ȭȥȓȓȘ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ, ȝȞȓȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭ Ȑ ȡȑșȓȞȜȒțȩȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ. ȁȟȎȒȘȎ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ ȝȞȖ ȝȖȞȜșȖȕȓ ȖȚȓȓȠ ȎțȖȕȜȠȞȜȝțȩȗ ȣȎȞȎȘȠȓȞ. Dzșȭ ȝȖȞȜșȖȕȎ Ȗȕ ȞȎȕțȩȣ ȝȜȞȜȒ ȒȓȞȓȐȎ ȖȕȑȜȠȎȐșȖȐȎȬȠȟȭ ȜȏȞȎȕȤȩ ȠȞȓȏȡȓȚȜȗ ȢȜȞȚȩ. ǽȖȞȜșȖȕ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ ȝȞȜȐȜȒȖȠȟȭ Ȑ țȓȟȘȜșȪȘȜ ȫȠȎȝȜȐ. ȋȠȜ ȒșȖȠȓșȪțȎȭ ȟȡȦȘȎ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ ȝȞȖ 70 85°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 15 24 ȥȎȟ. ǰȠȜȞȜȗ ȫȠȎȝ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȕȎȘșȬȥȎȓȠȟȭ Ȑ țȎȑȞȓȐȓ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȎȕȜȠȎ ȒȜ 500°ǿ. ǼȟȜȏȓțțȜ, ȝȜȒȥȓȞȘȖȐȎȓȠȟȭțȓȜȏȣȜȒȖȚȜȟȠȪțȖȕȘȜȗȟȘȜȞȜȟȠȖ țȎȑȞȓȐȎ ȜȘȜșȜ 1 ȑȞȎȒ/ȚȖț. ǻȎ ȟșȓȒȡȬȧȓȚ ȫȠȎȝȓ ȟȘȜȞȜȟȠȪ țȎȑȞȓȐȎ ȚȜȔțȜȝȜȐȩȟȖȠȪȒȜ5 ȑȞȎȒ/ȚȖț. ǻȎȑȞȓȐȝȞȜȖȕȐȜȒȭȠȒȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ 800 1000°ǿ. ǶȕȐȓȟȠțȜ, ȥȠȜȐȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖȜȠȘȜțȓȥțȜȗȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖȖȟȝȜȟȜȏțȜȟȠȖȚȎȠȓȞȖȎșȎȡȝȜȞȭȒȜȥȖȐȎȠȪȟȐȜȬȟȠȞȡȘȠȡȞȡ, ȞȎȕșȖȥȎȬȠȘȎȞȏȜțȖȕȖȞȜȐȎțțȩȓ ȖȑȞȎȢȖȠȖȕȖȞȜȐȎțțȩȓ ȡȑșȓȞȜȒțȩȓ ȚȎȠȓȞȖȎșȩ.

ǸȎȞȏȜțȖȕȖȞȜȐȎțțȩȗ ȚȎȠȓȞȖȎș – ȫȠȜ ȡȑșȓȞȜȒțȩȗ ȚȎȠȓȞȖȎș, ȝȞȜȦȓȒȦȖȗ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȡ ȒȜ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ țȎȥȎșȎ ȑȞȎȢȖȠȖȕȎȤȖȖ Ȗ ȜȏșȎȒȎȬȧȖȗ ȝȎȞȎȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȖșȖ ȠȡȞȏȜȟȠȞȎȠțȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȜȗ. DZȞȎȢȖȠȖȕȎȤȖȭ – ȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȎȭ ȜȏȞȎȏȜȠȘȎ, ȝȞȖ ȘȜȠȜȞȜȗ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȝȓȞȓȣȜȒ ȡȑșȓȞȜȒțȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ Ȑ ȟȜȟȠȜȭțȖȓ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȑȜ ȑȞȎȢȖȠȎ. ǽȜȫȠȜȚȡ Ȑ ȞȭȒȓ ȟșȡȥȎȓȐ ȜȏȞȎȕȤȩ ȜȏȞȎȏȎȠȩȐȎȬȠ ȢȡȞȢȡȞȖșȜȐȩȚ ȟȝȖȞȠȜȚ, Ȗ ȝȞȜȐȜȒȭȠ Ȗȣ ȑȞȎȢȖȠȖȕȎȤȖȬ

ȝȞȖ 1800 2000°ǿ Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓ. ȀȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȝȖȞȜșȖȕȎȒȜșȔțȎ ȐșȖȭȠȪ țȎ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȩȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗȚȎȠȞȖȤȩ, ȜȒțȎȘȜȒȜȟȠȜȐȓȞțȩȣ ȒȎțțȩȣ țȓȠ.

ǽȖȞȜșȖȕȜȏȞȎȕȤȜȐȝȞȜȐȜȒȭȠ Ȑ ȡȟȠȎțȜȐȘȎȣ, ȝȜȕȐȜșȭȬȧȖȣ ȝȞȜȐȜȒȖȠȪ țȎȑȞȓȐ ȜȏȞȎȕȤȜȐ Ȑ ȝȜȠȜȘȓ ȖțȓȞȠțȜȑȜ ȑȎȕȎ,

țȎȝȞȖȚȓȞ ȎȕȜȠȎ. ǻȎ ȞȖȟ. 9.3 ǾȖȟ. 9.3. ǽȞȖțȤȖȝȖȎșȪțȎȭ ȟȣȓȚȎ ȡȟȠȎ- ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎ ȟȣȓȚȎ ȡȟȠȎțȜȐ-

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ǾȖȟ. 9.4. DzȞȓȐȓȟțȩȗ ȟȠȐȜș Ȗ ȚȓȟȠȜ ȐȩȒȓșȓțȖȭ ȕȎȑȜȠȜȐȘȖ (Ȏ), ȠȜȞȓȤ ȕȎȑȜȠȜȐȘȖ ȒȜ (ȏ) Ȗ ȝȜȟșȓ ȝȞȜȐȓȒȓțȖȭ ȝȖȞȜșȖȕȎ (Ȑ)