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442 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.27. ǿȣȓȚȎ ȜȏșȡȥȓțȖȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞ Ni-SiC ȝȞȜȠȜțȎȚȖ [81]

țȖȕȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȗ ȟȝȜȟȜȏ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȟȖșȖȤȖȒȎ țȖȘȓșȭ ȝȞȖ ȟȜȣȞȎțȓțȖȖ ȫșȓȘȠȞȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȣ ȟȐȜȗȟȠȐ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ.

ǮȐȠȜȞȎȚȖ[78 81] ȏȩșȝȞȓȒșȜȔȓț ȖȞȓȎșȖȕȜȐȎțȐȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȓ ȚȓȠȜȒȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜȘȜțȠȎȘȠȎȝȡȠȓȚȜȏșȡȥȓțȖȭȟȠȞȡȘȠȡ- ȞȩNi-n-6H-SiC țȖȕȘȜȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȖȚȖȝȞȜȠȜțȎȚȖȝȞȖȀ=650 750°ǿ ȐȠȓȥȓțȖȓ10 30 ȚȖțȡȠ. ǽșȓțȘȖNi ȠȜșȧȖțȜȗ_170 țȚȟȜȕȒȎȐȎșȖȟȪ ȖȜțțȜ-șȡȥȓȐȩȚ ȞȎȟȝȩșȓțȖȓȚ țȖȘȓșȓȐȜȗ ȚȖȦȓțȖ Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓ țȎ ȑȞȎțȖ(0001) Si ȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ. ǼȏșȡȥȓțȖȓȝȞȜȠȜțȎȚȖȟȫțȓȞȑȖȓȗ, ȐȎȞȪȖȞȡȓȚȜȗ Ȑ ȝȞȓȒȓșȎȣ 10 ÷ 100 Șȫǰ, ȒȜȕȎȚȖ 1016 ÷ 5¸1017 ȟȚ 2, ȝȞȜȐȜȒȖșȜȟȪțȎȡȟȘȜȞȖȠȓșȓǻDZ-200ȁ. ǼȚȖȥȓȟȘȖȗȘȜțȠȎȘȠȢȜȞȚȖȞȜ- ȐȎșȟȭȖȜțțȜ-șȡȥȓȐȩȚȝȓȞȓȚȓȦȖȐȎțȖȓȚ, ȡȟȖșȓțțȩȚ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȜȗ ȜȏșȡȥȓțȖȭ (_650÷ 750°ǿ), ȘȜȠȜȞȎȭ țȎ 250÷ 350°ǿ țȖȔȓ ȠȖȝȖȥțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȐȔȖȑȎțȖȭ țȖȘȓșȭ Ȑ SiC (_1000°ǿ). ǸȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ țȓȟȘȜȚȝȓțȟȖȞȜȐȎțțȩȣȒȜțȜȞȜȐȐȖȟȟșȓȒȡȓȚȩȣȜȏȞȎȕȤȎȣSiC ȟȜȟȠȎȐșȭșȎ 5÷ 7¸1018 ȟȚ 3. ǽȞȜȢȖșȖ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȘȜȚȝȜțȓțȠȜȐ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȒȜ ȖȝȜȟșȓȜȏșȡȥȓțȖȭȝȞȜȠȜțȎȚȖȖȟȟșȓȒȜȐȎșȖȟȪ ȚȓȠȜȒȜȚȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ǼȔȓ-ȟȝȓȘȠȞȜȟȘȜȝȖȖ. ǰ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȫțȓȞȑȖȖ ȝȞȜȠȜțȜȐ (ȟȠȓȝȓțȖ șȜȘȎșȪțȜȟȠȖ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȖȜțȜȐ), ȎȐȠȜȞȩ [78 81] ȞȎȟȟȚȜȠȞȓșȖ 3 ȐȎȞȖȎțȠȎ ȑȓțȓȞȎȤȖȖ ȞȎȒȖȎȤȖȜțțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ (ȞȖȟ. 2.27):

–ȐȎȞȖȎțȠ Ǯ – ȜȟțȜȐțȜȓ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȜ ȞȎȒȖȎȤȖȜțțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȑȓțȓȞȖȞȡȓȠȟȭ Ȑ ȝșȓțȘȓ Ni;

–ȐȎȞȖȎțȠ B – țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ Ni-n-6H-SiC;

–ȐȎȞȖȎțȠ C – Ȑ ȜȏȨȓȚȓ n-6H-SiC.

ǮțȎșȖȕȖȞȜȐȎșȟȭ ȠȎȘȔȓ țȓȜȏșȡȥȓțțȩȗ ȜȏȞȎȕȓȤ Ni-n-6H-SiC, țȜ ȝȞȜȦȓȒȦȖȗ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȡ Ȑ Ƞȓȣ Ȕȓ ȡȟșȜȐȖȭȣ, ȥȠȜ Ȗ Ȝȏșȡȥȓțțȩȓ ȜȏȞȎȕȤȩ Ǯ, B ȖC. ȀȖȝȖȥțȩȓ ȝȞȜȢȖșȖ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȘȜȚȝȜțȓțȠȜȐ ȐȜ Ȑȟȓȣ ȖȟȟșȓȒȡȓȚȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ ȝȜȘȎȕȎțȩ țȎ ȞȖȟ. 2.28.

ǾȖȟ. 2.28. ǽȞȜȢȖșȖȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭSi, C, Ni ȖƖȐȜȏșȡȥȓțțȩȣ(Ȏ Ȑ) ȖțȓȜȏșȡȥȓțțȩȣ(ȑ) ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ. ǻȎȝȞȜȢȖșȭȣȎ-ȐȝȞȖȐȓȒȓțȩȐȓșȖȥȖțȩȜȠțȜȦȓțȖȭC/Si ȐȞȎȕȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȜȚȟșȜȓ, ȎȟȠȞȓșȘȎȚȖȜȠȚȓȥȓțȩȐȓșȖȥȖțȩȝȞȜȓȤȖȞȜȐȎțțȜȑȜ ȝȞȜȏȓȑȎȝȞȜȠȜțȜȐRp. ǼȏȞȎȕȤȩȜȏșȡȥȓțȩȝȞȜȠȜțȎȚȖȝȜȟȣȓȚȎȚ(ȟȚ. ȞȖȟ. 2.27):

Ȏ – Ǯ, ȏ – B, Ȑ – C [81]

ǿȞȎȐțȓțȖȓȝȞȜȢȖșȓȗȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȘȜȚȝȜțȓțȠȜȐȐȘȜțȠȎȘȠȎȣ Ȝȏșȡȥȓțțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ (ȞȖȟ. 2.28Ȏ,ȏ,Ȑ) ȝȜȘȎȕȩȐȎȓȠ, ȥȠȜ Ȑ țȖȣ țȎȏșȬȒȎȬȠȟȭ 3 ȜȏșȎȟȠȖ:

–ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȗ ȟșȜȗ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ, ȜȏȜȑȎȧȓțțȩȗ ȡȑșȓȞȜȒȜȚ;

–ȝȞȖȘȜțȠȎȘȠțȩȗ ȟșȜȗ, ȟȜȒȓȞȔȎȧȖȗ ȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐȓțțȜ ȟȖșȖȤȖȒȩ țȖȘȓșȭ;

–ȟșȜȗ țȓȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ SiC, ȟȜȒȓȞȔȎȧȖȗ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȓ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȜ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ȗ țȖȘȓșȭ.

ǰ țȓȜȏșȡȥȓțțȜȚ ȜȏȞȎȕȤȓ ȫȠȖ ȜȏșȎȟȠȖ ȐȩȞȎȔȓțȩ ȟșȎȏȓȓ Ȗ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȩ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚȖ ȝȞȜȤȓȟȟȎȚȖ. ǶțȠȓțȟȖȐțȜȟȠȪ ȝȞȜȠȜțțȜ-ȟȠȖ- ȚȡșȖȞȜȐȎțțȩȣ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȝȞȖ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȓ 750°ǿ (30 ȚȖțȡȠ)

ȐȘȜțȠȎȘȠȎȣNi-n-6H-SiC ȎȐȠȜȞȩ[78 81] ȝȞȓȒșȜȔȖșȖȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȜȐȎȠȪ

444 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȜȠțȜȦȓțȖȓȚȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖȡȑșȓȞȜȒȎȖȘȞȓȚțȖȭ(C/Si) Ȑ ȞȎȕȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȜȚȟșȜȓ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȚ ȖțȠȓțȟȖȐțȩȚ ȚȎȟȟȜȝȓȞȓțȜȟȜȚȘȞȓȚțȖȭȖȕSiC ȐȝșȓțȘȡNi. ȋȠȜȜȠțȜȦȓțȖȓ (ȖșȖȟȠȓȝȓțȪ ȝȓȞȓȚȓȦȖȐȎțȖȭ ȎȠȜȚȜȐ ȚȓȠȎșșȎ Ȗ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ) ȜȘȎȕȎșȜȟȪ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȩȚ(_1.7) ȒșȭȑȓțȓȞȎȤȖȖȞȎȒȖȎȤȖȜțțȩȣȒȓȢȓȘȠȜȐțȎ ȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ Ni-n-6H-SiC (ȐȎȞȖȎțȠ B). ǽȞȖ ȜȏșȡȥȓțȖȖ ȎțȎșȜȑȖȥțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ (ȐȎȞȖȎțȠ B) ȝȞȖ Ȁ= 750°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 10 ȚȖțȡȠ ȟȠȓȝȓțȪ ȝȓȞȓȚȓȦȖȐȎțȖȭ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ ȡȐȓșȖȥȖșȎȟȪ ȒȜ 2, Ȏ ȐȓșȖȥȖțȎ ȘȜțȠȎȘȠțȜȑȜȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭȟȜȟȠȎȐȖșȎ_6.6¸10 4 ǼȚ¸ȟȚ2, Ƞ. ȓ. ȜȘȎȕȎșȎȟȪțȓȣȡȔȓ, ȥȓȚRC ȒșȭȘȜțȠȎȘȠȜȐNi2Si-n-6H-SiC, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȣ ȝȞȖ ȜȏȩȥțȜȚ ȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȚ ȜȠȔȖȑȓ [82].

ǺȓȣȎțȖȕȚȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜȘȜțȠȎȘȠȎNi-n-6H-SiC ȝȞȖ ȞȎȒȖȎȤȖȜțțȜ-ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȓ ȎȐȠȜȞȩ [78 81] ȟȐȭȕȩȐȎȬȠ ȟ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ Ȑ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ ȠȎȘȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȞȎȕȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȜȑȜ ȟșȜȭ Ȑ ȜȏșȎȟȠȖ ȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎ, ȜȏȜȑȎȧȓțțȜȑȜ ȠȓȞȚȜȎȘȠȖȐȖȞȜȐȎțțȩȚȖ ȒȜțȜȞțȩȚȖ ȤȓțȠȞȎȚȖ. ǺȓȣȎțȖȕȚ ȠȜȘȜȝȓȞȓțȜȟȎ Ȑ ȠȎȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȎȣ ȜȏȡȟșȜȐșȓț ȝȜșȓȐȜȗ ȫȚȖȟȟȖȓȗ.

2.3.7. ǿȜȕȒȎțȖȓ ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȑȓȠȓȞȜȝȓȞȓȣȜȒȜȐ

ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȑȓȠȓȞȜȝȓȞȓȣȜȒȎ 3C-SiC–6H-SiC Ȑ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȞȎȟȟȚȜȠȞȓțȜ Ȑ [83]. ǻȎ ȝȜȒșȜȔȘȓ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȎ

n-6H-SiC c nx(1 2)¸1018 ȟȚ 3 ȟȜȕȒȎȐȎșȎȟȪ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȎȭ ȝșȓțȘȎ n-3C-SiC c nx(1 3)¸1019 ȟȚ 3 ȠȜșȧȖțȜȗ _200 țȚ. Ǽȏȓ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ

ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ (ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȎȭ Ȗ ȝȜȒșȜȔȓȥțȎȭ) ȚȓȠȎșșȖȕȖȞȜȐȎșȖȟȪȝȡȠȓȚțȎȝȩșȓțȖȭȝșȓțȘȖNi ȠȜșȧȖțȜȗ_100 țȚȖȝȜȒȐȓȞȑȎ-

ǾȖȟ. 2.29. ǽȜșțȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȎ Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȜȏȞȎȠțȜȗ ȐȓșȖȥȖțȩ ȡȒȐȜȓțțȜȑȜ ȒȖȎȚȓȠȞȎ Ȓșȭ 3C-SiC–6H-SiC ȑȓȠȓȞȜȘȜțȠȎȘȠȎ. [83]

șȖȟȪǯȀǼȝȞȖȀ= 1000°ǿȐȠȓȥȓțȖȓ30 ȟ. RC ȝȜșȡȥȓțțȩȣțȓȐȩȝȞȭȚșȭȬȧȖȣȘȜțȠȎȘȠȜȐȟȜȟȠȎȐȖșȜ1.7¸10 5 ǼȚ¸ȟȚ2 țȎȘȞȓȚțȖȓȐȜȗȑȞȎțȖ Ȗ 6¸10 5 ǼȚ¸ȟȚ2 – țȎ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ. ǻȎ ȞȖȟ. 2.29 ȝȞȖȐȓȒȓțȎ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȎȜȠȜȏȞȎȠțȜȗȐȓșȖȥȖțȩȟȜȏȟȠȐȓțțȜȑȜ ȒȖȎȚȓȠȞȎ Ȓșȭ 3C-SiC–6H-SiC ȑȓȠȓȞȜȘȜțȠȎȘȠȎ, ȖȕȚȓȞȓțțȜȑȜ ȚȓȠȜȒȜȚ ǸȜȘȟȎ-ǿȠȞȓȘȎțȎȘȞȓȚțȖȓȐȜȗȑȞȎțȖ. DzșȭȟȞȎȐțȓțȖȭȎȐȠȜȞȩ [83] ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȖ ȜȚȖȥȓȟȘȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȩ Ni-n-6H-SiC, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȓ ȐȠȓȣ ȔȓȡȟșȜȐȖȭȣǯȀǼ, ȥȠȜȖȝȞȓȒȩȒȡȧȖȓ. RC ȫȠȖȣȜȚȖȥȓȟȘȖȣȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȟȜȟȠȎȐȖșȜ ~1¸10 4 ǼȚ¸ȟȚ2.

ǰ[83] ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȟȭȠȎȘȔȓȜȚȖȥȓȟȘȖȗȘȜțȠȎȘȠȟȑȓȠȓȞȜȝȓȞȓȣȜȒȜȚ p-3C-SiC–p-6H-SiC. ǺȓȠȎșșȖȕȎȤȖȭ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭșȎȟȪ ȝȜȟșȜȗțȩȚ țȎȝȩșȓțȖȓȚAl ȠȜșȧȖțȜȗ150 țȚȖTi ȠȜșȧȖțȜȗ15 țȚȟȝȜȟșȓȒȡȬȧȖȚ ȐȔȖȑȎțȖȓȚ Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȎȕȜȠȎ ȝȞȖ Ȁ= 950°ǿ 120 ȟ. RC Ȓșȭ ȠȎȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȟȜȟȠȎȐȖșȜ (2 3)¸10 5 ǼȚ¸ȟȚ2.

2.3.8. ǿȜȕȒȎțȖȓ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș SiC ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȟȜȓȒȖțȓțȖȗ Ȗ ȚțȜȑȜȟșȜȗțȜȗ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ

ǹȎȏȜȞȎȠȜȞțȩȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȚțȜȑȖȣ ȖȟȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪȟȘȖȣ ȑȞȡȝȝ ȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜ ȝȓȞȟȝȓȘȠȖȐțȩȚȖ ȚȎȠȓȞȖȎșȎȚȖ Ȓșȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș ȘȎȞȏȖȒȡȘȞȓȚțȖȭȭȐșȭȬȠȟȭȟȝșȎȐȩȖȣȖȚȖȥȓȟȘȖȓȟȜȓȒȖțȓțȖȭȚȓȠȎșșȜȐ ȟȚȓȠȎșșȎȚȖ(ȖțȠȓȞȚȓȠȎșșȖȒȩ) ȖțȓȚȓȠȎșșȎȚȖ(țȖȠȞȖȒȩ, ȏȜȞȖȒȩ) [3, 9, 15, 45]. ǽȞȜȖșșȬȟȠȞȖȞȡȓȚ ȫȠȜ țȓȟȘȜșȪȘȖȚȖ ȝȞȖȚȓȞȎȚȖ.

ǼȚȖȥȓȟȘȖȓȘȜțȠȎȘȠȩȘSiC țȎȜȟțȜȐȓȟȜȓȒȖțȓțȖȗ. ǮȐȠȜȞȩ [84] Ȗȟ-

ȟșȓȒȜȐȎșȖȘȜțȠȎȘȠȩȘn-4H-SiC Ȗn-6H-SiC țȎȜȟțȜȐȓNiCr (80%/20%). ǽșȓțȘȖNiCr ȠȜșȧȖțȜȗ200 țȚțȎțȜȟȖșȖȟȪȚȎȑțȓȠȞȜțțȩȚȞȎȟȝȩșȓțȖȓȚ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȓȐ SiC. ȀȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȝȜșȡȥȓțțȩȣȟȠȞȡȘȠȡȞȝȞȜȐȜȒȖșȎȟȪȝȞȖ1100°ǿȐȠȓȥȓțȖȓ3 ȚȖțȐȐȎȘȡȡȚȓ. ȁȒȓșȪțȜȓ ȝȓȞȓȣȜȒțȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ țȎ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȟșȜȭȣ ȟ ȞȎȕșȖȥțȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ ȝȞȖȚȓȟȖ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȜ Ȑ ȠȎȏșȖȤȓ 2.8. ǿșȎȏȡȬ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȡȒȓșȪțȜȑȜ ȝȓȞȓȣȜȒțȜȑȜ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȜȠ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ șȓȑȖȞȡȬȧȓȗ ȝȞȖȚȓȟȖ Ȑ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȜȚ ȟșȜȓ ȎȐȠȜȞȩ [84] ȟȐȭȕȩȐȎȬȠ ȟȜ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȚ (țȎ 2 3 ȝȜȞȭȒȘȎ) ȞȎȕȏȞȜȟȜȚȕțȎȥȓțȖȗȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖșȓȑȖȞȡȬȧȓȗȝȞȖȚȓȟȖȐȜȏȞȎȕȤȎȣȝȜ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȒȖȎȚȓȠȞȜȚ 3.3 ȟȚ.

ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖȚȓȠȜȒȎȚȖȫșȓȘȠȞȜțțȜȗǼȔȓ-ȟȝȓȘȠȞȜ- ȟȘȜȝȖȖȖȜȏȞȎȠțȜȑȜȞȓȕȓȞȢȜȞȒȜȐȟȘȜȑȜȞȎȟȟȓȭțȖȭȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜȐ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣȝȜȟșȓȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȖȝȞȖȀ= 1100°ǿ(3 ȚȖțȡȠȩ) Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ Ni2Si Ȗ țȎȘȜȝșȓțȖȓ ȟȐȜȏȜȒțȜȑȜ ȡȑșȓȞȜȒȎ țȎ

446 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȀȎȏșȖȤȎ 2.8. ȁȒȓșȪțȜȓ ȝȓȞȓȣȜȒțȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ NiCr-SiC [84]

ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ. ǻȎșȖȥȖȭȟȜȓȒȖțȓțȖȗȣȞȜȚȎțȓȐȩȭȐșȓțȜ. ǾȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗȘȜțȠȎȘȠȜȐTiN-n-6H-SiC ȜȝȡȏșȖȘȜȐȎțȩȐ [85]. ǰȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȓȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ ȝȜȒșȜȔȘȖn-6H-SiC ȢȖȞȚȩCree Research. Inc. ȟ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ ȖȜțȖȕȖȞȜȐȎțțȩȣ ȒȜțȜȞȜȐ _1.6¸1018 ȟȚ 3. ǽșȓțȘȖ TiN ȠȜșȧȖțȜȗ _15 20 țȚ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȖȟȪ ȝȜ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ, ȘȜȠȜȞȎȭ ȐȘșȬȥȎșȎ ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȓ ȞȎȟȝȩșȓțȖȓ ȠȖȠȎțȎ ȟ ȜȒțȜȐȞȓȚȓțțȩȚ țȎȝȡȟȘȜȚ Ȑ ȐȎȘȡȡȚțȡȬ ȘȎȚȓȞȡ ȎȕȜȠȎ Ȗ ȓȑȜ ȖȜțțȜșȡȥȓȐȡȬ ȎȘȠȖȐȎȤȖȬ Ȑ ȝȞȜșȓȠțȜȚ ȝȞȜȟȠȞȎțȟȠȐȓ Ȗ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ, țȎȑȞȓȠȜȗ ȒȜ 350°ǿ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖșȎ ȎȘȠȖȐȎȤȖȭ ȞȓȎȘȤȖȖ țȖȠȞȖȒȖȞȜȐȎțȖȭ ȠȖȠȎțȎ Ȗ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ ȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ TiN, ȥȠȜ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȓȠȟȭ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȚȖ ȚȓȠȜȒȜȚ ǼȔȓȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȟȝȓȘȠȞȜȟȘȜȝȖȖ. ȁȒȓșȪțȜȓ ȝȓȞȓȣȜȒțȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȟȜȟȠȎȐȖșȜ 4.0¸10 2 ǼȚ¸ȟȚ2. ȀȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ450°ǿȖ550°ǿțȓȝȞȖȐȜȒȖȠȘ ȕȎȚȓȠțȜȚȡ ȖȕȚȓțȓțȖȬ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ.

ǰ [3] ȎțȎșȖȕȖȞȡȬȠȟȭ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȩ ȝȜ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȬ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ TiW-n-6H-SiC c n_4.7¸1018 ȟȚ 3, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȣȚȎȑțȓȠȞȜțțȩȚȞȎȟȝȩșȓțȖȓȚ. ȀȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȎȟȠȞȡȘȠȡȞȝȞȜȐȜȒȖșȎȟȪȐȘȖȟșȜȞȜȒțȜȗȝșȎȕȚȓȝȞȖ600°ǿȐȠȓȥȓțȖȓ5 ȚȖțȡȠ. ȁȒȓșȪțȜȓȝȓȞȓȣȜȒțȜȓȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣȘȜțȠȎȘȠȜȐȝȜȟșȓȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȖȟȜȟȠȎȐȖșȜ7.8¸10 4 ǼȚ¸ȟȚ2. ǽȞȖȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖȝȜȒșȜȔȓȘn-6H-SiC c nx7 8¸1018 cȚ 3 ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȟȠȞȡȘȠȡȞ ȝȞȜȐȜȒȖșȎȟȪ ȝȞȖ 750°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 5 ȚȖțȡȠ, ȡȒȓșȪțȜȓ ȝȓȞȓȣȜȒțȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȟȜȟȠȎȐȖșȜ 8¸10 4 ǼȚ¸ȟȚ2.

ǶȕȝȞȖȐȓȒȓțțȩȣ ȒȎțțȩȣ ȐȖȒțȜ, ȟȘȜșȪȟȡȧȓȟȠȐȓțțȎ ȐȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȖȐȓșȖȥȖțȩRC ȞȜșȪȞȓȔȖȚȜȐȖȡȟșȜȐȖȗȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȖ, ȜȏȡȟșȜȐșȖȐȎȬȧȖȣ ȢȖȕȖȘȜ-ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȓ ȝȞȜȤȓȟȟȩ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ ȘȜțȠȎȘȠȜȜȏȞȎȕȡȬȧȖȗ ȟșȜȗ-SiC, ȖȜȒțȜȞȜȒțȜȟȠȪ ȫșȓȘȠȞȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ.

ǼȚȖȥȓȟȘȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȩ Ș SiC țȎ ȜȟțȜȐȓ ȚțȜȑȜȟșȜȗțȜȗ ȚȓȠȎș-

șȖȕȎȤȖȖ. ǽȜșȜȔȖȠȓșȪțȩȗ ȫȢȢȓȘȠ ȜȠ ȝȞȖȚȓțȓțȖȭ ȚțȜȑȜȟșȜȗțȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞȟȐȭȕȎț, ȐȜȟțȜȐțȜȚ, ȟȝȞȖȚȓțȓțȖȓȚȚȓȠȎșșȜȐ, ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȡȬȧȖȣ ȟ ȡȑșȓȞȜȒȜȚ Ȗ ȘȞȓȚțȖȓȚ; ȝȞȖ ȫȠȜȚ ȝȜȟșȓ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȢȜȞȚȖȞȡȓȠȟȭ ȘȜțȠȎȘȠ ȟ ȏȜșȓȓ ȜȒțȜȞȜȒțȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȜȗ. ȀȓȣțȜșȜȑȖȭ ȟȜȕȒȎțȖȭ ȚțȜȑȜȟșȜȗțȜȗ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ Ș SiC, ȠȎȘ Ȕȓ ȘȎȘ Ȑ ȟȠȎțȒȎȞȠțȩȣ ȠȓȣțȜșȜȑȖȭȣ ȟ ȚțȜȑȜȟșȜȗțȩȚȖ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȖȚȖ ȝȜȘȞȩȠȖȭȚȖ Ș Si Ȗ GaAs, ȒȜȝȡȟȘȎȓȠ ȝȞȖȚȓțȓțȖȓ ȟșȜȓȐ, ȡșȡȥȦȎȬȧȖȣ ȎȒȑȓȕȖȬ Ș ȝȜȒșȜȔȘȓ, ȝȜȐȩȦȎȬȧȖȣ ȫșȓȘȠȞȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȪ ȘȜțȠȎȘȠțȩȣ ȟșȜȓȐ Ȗ ȕȎȧȖȧȎȬȧȖȣ Ȗȣ ȜȠ ȜȘȖȟșȓțȖȭ ȝȞȖ ȫȘȟȝșȡȎȠȎȤȖȖ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȩȣ ȏȎȞȪȓȞȜȐ, ȟȝȜȟȜȏȟȠȐȡȬȧȖȣ ȟȜȣȞȎțȓțȖȬ ȟșȜȓȐȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ Ȗ ȝȜȐȩȦȓțȖȬ țȎȒȓȔțȜȟȠȖ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ.

ǰ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎȣ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțțȩȣ Ȑ [86, 87], ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ ȝȜȒșȜȔȘȖ p-6H-SiC ȢȖȞȚȩ Cree Research. Inc. ȟ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȚ ȟșȜȓȚ n-6H-SiC (nx2.0¸1019 ȟȚ 3) ȠȜșȧȖțȜȗ 0.5 ȚȘȚ țȎ (0001) ȑȞȎțȖ. ǽȜȟșȓ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗ ȜȥȖȟȠȘȖ Ȗ ȜȘȖȟșȓțȖȭ, țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȜȑȜ ȟșȜȭ ȚȎȑțȓȠȞȜțțȩȚ ȞȎȟȝȩșȓțȖȓȚ Ȗ ȝȜȟșȓȒȡȬȧȓȗ ȢȜȠȜșȖȠȜȑȞȎȢȖȓȗȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȖȟȪȘȜțȠȎȘȠȩPt-TaSi2-Ti ȟȠȜșȧȖțȎȚȖ ȟșȜȓȐ 300 țȚ, 200 țȚ Ȗ 100 țȚ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ. ȀȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȝȞȜȐȜȒȖșȎȟȪ Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȐȜȒȜȞȜȒȎ ȝȞȖ 600°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 30 ȚȖțȡȠ. ǽȞȜȢȖșȖ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȘȜȚȝȜțȓțȠȜȐ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȎȣ Pt-TaSi2Ti-n-6H-SiC, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȚȓȠȜȒȜȚ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ǼȔȓ-ȟȝȓȘȠ- ȞȜȟȘȜȝȖȖ ȝȜȟșȓ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȖ Ȑ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȞȓȔȖȚȎȣ, ȜȠȞȎȔȎȬȠ ȐȩȟȜȘȡȬȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȪȟȠȞȡȘȠȡȞȩ. ǽȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣȝȜȞȭȒȘȎ600°ǿ ȡ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȓ ȝșȎȠȖțȩ ȟ ȟȖșȖȤȖȒȜȚ ȠȎțȠȎșȎ ȟ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ Pt2Si Ȗ ƚƨ, Ȏ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ ȟ ȘȎȞȏȖȒȜȚȘȞȓȚțȖȭȢȜȞȚȖȞȡȓȠȟȭ TiC. ǻȎȞȖȟ. 2.30 ȝȜȘȎȕȎțȎ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȡȒȓșȪțȜȑȜ ȝȓȞȓȣȜȒțȜȑȜ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȜȠȐȞȓȚȓțȖ țȎȑȞȓȐȎ țȎ ȐȜȕȒȡȣȓ ȝȞȖ 500°ǿ.

ǾȓȕȡșȪȠȎȠȩȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐȘȜțȠȎȘȠȜȐAl-Ni-Ti-n-4H-SiC ȜȏȜȏȧȓțȩȐȞȎȏȜȠȓ[88]. ǰȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎȣȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ ȝȜȒșȜȔȘȖ n-6H-SiC c nx7.0¸1018 ȟȚ 3. ǽȜȟșȓȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗȜȥȖȟȠȘȖȖȜȘȖȟșȓțȖȭțȎ (0001)ȑȞȎțȖȝȜȒșȜȔȓȘȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȩȚțȎȝȩșȓțȖȓȚȖȢȜȠȜșȖȠȜȑȞȎ- ȢȖȓȗ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȖȟȪ ȘȜțȠȎȘȠȩ Al(10 țȚ)-Ni(75 țȚ)-Ti(20 țȚ)-n-4H-SiC. DzșȭȟȞȎȐțȓțȖȭȝȜȎțȎșȜȑȖȥțȜȗȠȓȣțȜșȜȑȖȖȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȖȟȪȘȜțȠȎȘȠȩ Al(10 țȚ)-Ni(75 țȚ)-Al(20 țȚ) -n-4H-SiC. ȀȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȝȞȜȐȜȒȖșȎȟȪ ȝȞȖ 900°ǿ Ȗ 1000°ǿ Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȎȞȑȜțȎ.

448 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.30. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪȡȒȓșȪțȜȑȜ ȝȓȞȓȣȜȒțȜȑȜ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Pt-TaSi2-Ti-n-6H-SiC

ȜȠ ȐȞȓȚȓțȖ țȎȑȞȓȐȎ ȝȞȖ 500°ǿ țȎ ȐȜȕȒȡȣȓ [87]

ǶȕȚȓȞȓțȖȭ ȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜ ȜȏȎ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȭȐșȭȬȠȟȭ ȜȚȖȥȓȟȘȖȚȖ. ȁȒȓșȪțȜȓ ȝȓȞȓȣȜȒțȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȒȜ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȖ țȎȣȜȒȖșȜȟȪ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȕțȎȥȓțȖȗ (10 2 10 3) ǼȚ¸ȟȚ2, ȝȜȟșȓ ȠȓȞ- ȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȖȝȞȖ1000°ǿȒșȭȘȜțȠȎȘȠȜȐAl-Ni-Ti-n-6H-SiC ȜțȜȟȜȟȠȎȐȖ-

șȜ 4.5¸10 5 ǼȚ¸ȟȚ2, Ȏ Ȓșȭ Al-Ni-Al-n-4H-SiC – 7.0¸10 5 ǼȚ¸ȟȚ2 [88].

ǾȓțȠȑȓțȜȢȎȕȜȐȩȗ ȎțȎșȖȕ ȝȜȘȎȕȎș, ȥȠȜ Ȗȕ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȣ ȟȜȓȒȖțȓ- țȖȗȐȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣAl-Ni-Ti-n-4H-SiC ȝȜȟșȓȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭȝȞȖȟȡȠȟȠȐȡȓȠ ȠȜșȪȘȜNi3Si. ǽȜȟșȓȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȖȝȞȖ900°ǿNi3Si Ȑ ȟȠȞȡȘȠȡȞȓȖȟȥȓȕȎȓȠ, ȖȢȜȞȚȖȞȡȬȠȟȭNi2Si ȖTiC. ȀȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȎȝȞȖ1000°ǿȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȝȜȭȐșȓțȖȬ ȘȞȖȟȠȎșșȖȠȜȐ Ni2Si ȞȎȕșȖȥțȜȗ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȖ.

ǰ [89] ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȖ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Pt-Ti-WSi-Ni-n-4H-SiC, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȣ ǯȀǼ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 30 ȟȓȘ ȝȞȖ 950°ǿ Ȗ 1000°ǿ. ǿȠȎȏȖșȪțȜȟȠȪ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȎȟȪ ȝȡȠȓȚ țȎȑȞȓȐȎ ȝȞȖ 650°ǿ Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȎȕȜȠȎ. ǮțȎșȖȕ ǰǮȃ ȝȜȘȎȕȎș, ȥȠȜ ȘȜțȠȎȘȠȩ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȓ ǯȀǼ ȝȞȖ 950°ǿ, ȟȜȣȞȎțȭȬȠ ȟȐȜȖ ȜȚȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȝȜȟșȓ țȎȑȞȓȐȎ ȝȞȖ 650°ǿȐȠȓȥȓțȖȓ50 ȥȎȟȜȐ, ȣȜȠȭȖȣȡȒȓșȪțȜȓȝȓȞȓȣȜȒțȜȓȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠȟȭ. ǽȜȟșȓțȎȑȞȓȐȎȝȞȖ650°ǿȐȠȓȥȓțȖȓ75 ȥȎȟȜȐȫȠȖ ȘȜțȠȎȘȠȩ ȟȠȎțȜȐȭȠȟȭ ȐȩȝȞȭȚșȭȬȧȖȚȖ. ǸȜțȠȎȘȠȩ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȓ ǯȀǼ ȝȞȖ 1000°ǿ, ȏȜșȓȓ ȟȠȎȏȖșȪțȩ, țȜ ȝȜȟșȓ țȎȑȞȓȐȎ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 50 ȥȎȟȜȐșȖțȓȗțȜȟȠȪǰǮȃțȎȞȡȦȎȓȠȟȭ, ȎȝȓȞȓȣȜȒțȜȓȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠȟȭ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȭ ȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎ Ȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȜȒțȜȞȜȒțȩ, ȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎ ȞȓȕȘȖȓ, Ȏ Ȑ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ ȜȠȟȡȠȟȠȐȡȬȠ ȐȘșȬȥȓțȖȭ, ȝȜȞȩ Ȗ ȠȞȓȧȖțȩ.

ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȚȓȠȜȒȜȚ ȞȓȕȓȞȢȜȞȒȜȐȟȘȜȑȜ ȜȏȞȎȠțȜȑȜ ȞȎȟȟȓȭțȖȭ ȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜ Ȑ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȣ ǯȀǼ ȝȞȖ 950°ǿ, țȓ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȝȜșțȜȑȜ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭ ȚȓȔȒȡ ȘȜȚȝȜțȓțȠȎȚȖ ȚȓȠȎș-

ȀȎȏșȖȤȎ 2.9. ȁȒȓșȪțȜȓ ȝȓȞȓȣȜȒțȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș n-3C-SiC [45]

șȖȕȎȤȖȖ. ǵȎȐȓȞȦȓțȖȓȫȠȜȑȜȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭȐȝȞȜȤȓȟȟȓțȎȑȞȓȐȎȝȞȖ ȫȘȟȝșȡȎȠȎȤȖȖ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȝȞȖȥȖțȜȗ țȓȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȖ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ [89]. Ǹ ȟȜȔȎșȓțȖȬ ȒȜ țȎȟȠȜȭȧȓȑȜ ȐȞȓȚȓțȖ ȢȖȕȖȘȜ-ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȝȜ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȬ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș SiC, ȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȪ Ȗȣ Ȑ ȡȟșȜȐȖȭȣ ȫȘȟȝșȡȎȠȎȤȖȖ Ȗ ȚȓȣȎțȖȕȚȩ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ, ȘȎȘ ȠȜ ȏȩșȜ ȝȞȜȐȓȒȓțȜ Ȓșȭ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș ȟȜȓȒȖțȓțȖȭȚ AIIIBV [90 93], ȝȜșțȜȟȠȪȬ țȓ ȕȎȐȓȞȦȓțȩ, ȥȎȟȠȪ ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȒȎțțȩȣ țȓȐȜȟȝȞȜȖȕȐȜȒȖȚȎ, ȥȎȟȠȪ ȝȞȜȠȖȐȜȞȓȥȖȐȎ.

DzȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȦȖȞȜȘȜ ȖȟȟșȓȒȡȬȠȟȭ ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȖ ȟȜȕȒȎțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ țȎ ȜȟțȜȐȓ ȚțȜȑȜȟșȜȗțȩȣ ȟȖȟȠȓȚ Ș n-3C-SiC. ȀȎȘ, Ȑ [45] ȟȜ-

ȜȏȧȎȓȠȟȭ Ȝȏ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȚțȜȑȜȟșȜȗțȩȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș n-3C-SiC (nx1016 1017 ȟȚ 3) țȎ ȜȟțȜȐȓ Ti Ȗ W, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȣ

ȚȎȑțȓȠȞȜțțȩȚ ȞȎȟȝȩșȓțȖȓȚ. ǶȣȡȒȓșȪțȜȓȝȓȞȓȣȜȒțȜȓȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȜ Ȑ ȠȎȏș. 2.9.

ǶȕȠȎȏș. 2.9 ȐȖȒțȜ, ȥȠȜȝȞȓȒȝȜȥȠȖȠȓșȪțȩȚ ȠȖȝȜȚȘȜțȠȎȘȠțȜȗ Țȓ- ȠȎșșȖȕȎȤȖȖȭȐșȭȓȠȟȭAu-Pt-TiN-Ti-n-3C-SiC, ȠȎȘȘȎȘȜțȎȟȜȣȞȎțȭȓȠȟȐȜȖ ȜȚȖȥȓȟȘȖȓȟȐȜȗȟȠȐȎȝȞȖ650°ǿȏȜșȓȓȒșȖȠȓșȪțȜȓȐȞȓȚȭ, ȥȓȚȠȞȖȒȞȡȑȖȣ ȘȜțȠȎȘȠțȩȣȟȠȞȡȘȠȡȞȩ. ǽȞȖȫȠȜȚȡȒȓșȪțȜȓȝȓȞȓȣȜȒțȜȓȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȣȘȜțȠȎȘȠȜȐȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ1.4¸10 4 ǼȚ¸ȟȚ2, Ȏ ȝȜȟșȓȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȖ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 1 ȥȎȟȎ ȝȜȐȩȦȎȓȠȟȭ ȒȜ 4.9¸10 4 ǼȚȟȚ2. ǰȩȟȜȘȡȬ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȡȬȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȪȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȓȠTiN, ȝȜȟȘȜșȪȘȡȜțȭȐșȭȓȠȟȭ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȩȚ ȏȎȞȪȓȞȜȚ, ȝȞȓȝȭȠȟȠȐȡȬȧȖȚ ȐȕȎȖȚțȜȗ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȫșȓȚȓțȠȜȐ Ȑ ȟȠȞȡȘȠȡȞȓ.

ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș p(n)-SiC4H(6H) ȝȜ ȒȎț-

țȩȚ [94–123] Ȗ [54, 87 89, 101, 125–135] ȝȞȖȐȓȒȓțȩ Ȑ ȠȎȏș. 2.10

Ȗ ȠȎȏș. 2.11. ǻȎȖȏȜșȓȓ ȝȜșțȎȭ ȖțȢȜȞȚȎȤȖȭ Ȝȏ ȡȟșȜȐȖȭȣ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ Ȗ ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȣ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș n(p)-4H(6H,3C) ȝȞȖȐȓȒȓțȎ Ȑ [124].

ȀȎȏșȖȤȎ 2.10. ǼȚȖȥȓȟȘȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȩ Ș p-4H(6H)SiC [94 123]

ȝȞȜȒȜșȔȓțȖȓ ȠȎȏșȖȤȩ 2.10.

.ȒȞ Ȗ .ǰ.Ǿ ǸȜțȎȘȜȐȎ ,.ǿ.ǰ ǸȖȟȓșȓȐ ,.ǿ.ǻ ǯȜșȠȜȐȓȤ ,.dz.Ǯ ǯȓșȭȓȐ ,.Ǯ.Ǽ ǮȑȓȓȐ 450

2 DZșȎȐȎ III, ȅȎȟȠȪ

451

ȝȞȜȒȜșȔȓțȖȓ ȠȎȏșȖȤȩ 2.10.

ȝȞȜȒȜșȔȓțȖȓ ȠȎȏșȖȤȩ 2.10.

.ȒȞ Ȗ .ǰ.Ǿ ǸȜțȎȘȜȐȎ ,.ǿ.ǰ ǸȖȟȓșȓȐ ,.ǿ.ǻ ǯȜșȠȜȐȓȤ ,.dz.Ǯ ǯȓșȭȓȐ ,.Ǯ.Ǽ ǮȑȓȓȐ 452

2 DZșȎȐȎ III, ȅȎȟȠȪ

453

ȀȎȏșȖȤȎ 2.11. ǼȚȖȥȓȟȘȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȩ Ș n-4H(6H)SiC

ȝȞȜȒȜșȔȓțȖȓ ȠȎȏșȖȤȩ 2.11.

.ȒȞ Ȗ .ǰ.Ǿ ǸȜțȎȘȜȐȎ ,.ǿ.ǰ ǸȖȟȓșȓȐ ,.ǿ.ǻ ǯȜșȠȜȐȓȤ ,.dz.Ǯ ǯȓșȭȓȐ ,.Ǯ.Ǽ ǮȑȓȓȐ 454

2 DZșȎȐȎ III, ȅȎȟȠȪ

455

456 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȜȝȩȠ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȭ ȚțȜȑȜȟșȜȗțȜȗ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ Ȑ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȎȣ Ș ȘȎȞȏȖȒȡ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȜȘȎȕȎș țȓȜȏȣȜȒȖȚȜȟȠȪ ȒȎșȪțȓȗȦȖȣ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ, ȟȐȭȕȎțțȩȣ, Ȑ ȝȓȞȐȡȬ ȜȥȓȞȓȒȪ, ȟ ȞȓȦȓțȖȓȚȕȎȒȎȥȠȓȞȚȜȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȖȖȒȜșȑȜȐȓȥțȜȟȠȖ(țȎȒȓȔțȜȟȠȖ) ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȐȫȘȟȠȞȓȚȎșȪțȩȣ ȡȟșȜȐȖȭȣȫȘȟȝșȡȎȠȎȤȖȖ. ǸȟȜȔȎșȓțȖȬ, Ȑ țȎȟȠȜȭȧȓȓ ȐȞȓȚȭ ȠȎȘȖȓ ȒȎțțȩȓ ȜȠȟȡȠȟȠȐȡȬȠ.

ǵȎȘșȬȥȓțȖȓ

(ǻȎȝȞȎȐșȓțȖȭ ȒȎșȪțȓȗȦȖȣ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ)

ǰțȎȟȠȜȭȧȓȓȐȞȓȚȭȖțȠȓțȟȖȐțȜȐȓȒȡȠȟȭȞȎȏȜȠȩȝȜȟȜȕȒȎțȖȬȐȩȟȜȘȜțȎȒȓȔțȩȣțȖȕȘȜȜȚțȩȣȘȜțȠȎȘȠȜȐȘȞȎȕșȖȥțȩȚȝȜșȖȠȖȝȎȚ SiC, Ȑ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȖ Ș 4H-SiC, ȖțȠȓȞȓȟ Ș ȘȜȠȜȞȜȚȡ ȜȏȡȟșȜȐșȓț ȓȑȜ ȢȖȕȖȥȓȟȘȖȚȖ ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚȖ – ȏȜșȓȓ ȦȖȞȜȘȜȗ, ȥȓȚ ȡ ȒȞȡȑȖȣ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ, ȦȖȞȖțȜȗ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ Ȗ ȏȜșȓȓ ȐȩȟȜȘȜȗ ȝȜȒȐȖȔțȜȟȠȪȬ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ. ǰ ȫȠȜȚ țȎȝȞȎȐșȓțȖȖ țȎȏșȬȒȎȬȠȟȭ ȜȝȞȓȒȓșȓțțȩȓ ȡȟȝȓȣȖ, ȜȏȡȟșȜȐȖȐȦȖȓ, țȎȞȭȒȡȟȒȜȟȠȖȔȓțȖȭȚȖȐȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȓȒȓțȖȖ, ȟȜȕȒȎțȖȓ ȚȜȧțȩȣ ȟȖșȜȐȩȣ ȝȞȖȏȜȞȜȐ țȎ ȜȟțȜȐȓ SiC. ǰȚȓȟȠȓ ȟ ȠȓȚ, ȒȜ ȟȖȣ ȝȜȞȝȞȜȏșȓȚȎȠȖȥțȩȚȖȜȟȠȎȬȠȟȭȘȎȘȚȓȠȜȒȖȥȓȟȘȖȓ, ȠȎȘȖȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȓȎȟȝȓȘȠȩȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭȖȒȖȎȑțȜȟȠȖȘȖȜȚȖȥȓȟȘȖȣȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș SiC. ǿȞȓȒȖ țȖȣ ȓȟȠȪ ȕȎȒȎȥȖ ȢȡțȒȎȚȓțȠȎșȪțȜȑȜ ȝșȎțȎ, ȜȏȧȖȓ Ȓșȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș ȦȖȞȜȘȜȚȡ ȘșȎȟȟȡ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐ. ǻȎȝȞȖȚȓȞ, ȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȖ țȓ ȞȎȕȞȎȏȜȠȎțȩ ȟȝȜȟȜȏȩ ȡȝȞȎȐșȓțȖȭ ȝȜșȜȔȓțȖȓȚ ȡȞȜȐțȭ ȂȓȞȚȖ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ. ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȝȜ ȡȚȓțȪȦȓțȖȬ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ ȕȎ ȟȥȓȠ ȟȝȓȤȖȎșȪțȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC, ȝȞȖȐȓȒȓțțȩȓ Ȑ [66 68], ȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜ

ȠȎȘȜȗ ȝȡȠȪ ȐȜȕȚȜȔȓț. ǼȒțȎȘȜ ȡȚȓțȪȦȓțȖȓ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣȟȜȟȠȜȭțȖȗ ȜȠ2.8¸1013 ȟȚ 2ȫǰ 1 ȒȜ 4.63¸1010 ȟȚ 2ȫǰ 1 ȐȕȎȐȖȟȖ-

ȚȜȟȠȖ ȜȠ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȠȜșȪȘȜ Ȓșȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ti-n-4H-SiC ȠȞȎțȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȜ ȏȎȞȪȓȞțȩȗ ȘȜțȠȎȘȠ Ȑ ȜȚȖȥȓȟȘȖȗ, ȠȜȑȒȎ ȘȎȘ Ȓșȭ ȘȜțȠȎȘȠȎ Ni-n-4H-SiC ȐȩȟȜȠȎ ȏȎȞȪȓȞȎ ȆȜȠȠȘȖ ȒȎȔȓ ȡȐȓșȖȥȖșȎȟȪ, Ȏ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȓ Mo-n-4H-SiC ȐȩȟȜȠȎ ȏȎȞȪȓȞȎ ȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȖ țȓ ȖȕȚȓțȖșȎȟȪ. ǶȕȐȓȟȠțȜ ȠȎȘȔȓ, ȥȠȜ ȝȞȖȞȜȒȎ ȐțȡȠȞȓțțȖȣ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ țȎȝȞȭȔȓțȖȗ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȎȣ ȚȓȠȎșș-ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘ Ȗ Ȗȣ ȞȓșȎȘȟȎȤȖȭ ȐȜ ȚțȜȑȜȚ ȜȝȞȓȒȓșȭȬȠ țȎȒȓȔțȜȟȠȪ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȩȣ ȝȞȖȏȜȞȜȐ. ǰ ȠȜ Ȕȓ ȐȞȓȚȭ, ȝȞȖ ȏȜșȪȦȜȚ ȚțȜȑȜȜȏȞȎȕȖȖ ȘȜțȠȎȘȠțȩȣ ȟȖȟȠȓȚ

Ȓșȭ SiC, ȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȖ țȖȒșȭȜȒțȜȗȖȕțȖȣțȓȝȞȜȐȓȒȓțȜȒȓȠȎșȪțȜȑȜ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȐȕȎȖȚȜȟȐȭȕȖ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȜȗ ȞȓșȎȘȟȎȤȖȖ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠțȩȣ ȟȖȟȠȓȚȎȣ ȟȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȖȞȎȒȖȎȤȖȜțțȜȗ ȟȠȜȗȘȜȟȠȪȬ, ȫȘȟȝșȡȎȠȎȤȖȜțțȩȚȖȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚȖȖțȎȒȓȔțȜȟȠȪȬȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣȝȞȖȏȜȞȜȐ. ǽȞȖ ȜȑȞȜȚțȜȚ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣȘȜțȠȎȘȠȜȐ, ȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȖȜȠȟȡȠȟȠȐȡȬȠȟȓȞȪȓȕțȩȓȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȝȜȡȟȠȎțȜȐșȓțȖȬ ȚȓȣȎțȖȕȚȜȐȠȜȘȜȝȓȞȓțȜȟȎȐțȖȣ. ǶȚȓȬȧȖȓȟȭȜȏȦȖȞțȩȓȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȝȜȐȕȎȖȚȜȟȐȭȕȖRC ȟȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗșȓȑȖȞȡȬȧȓȗȝȞȖȚȓȟȖȐȞȎȕșȖȥțȩȣȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC țȓ ȝȜȕȐȜșȭȬȠ, ȜȒțȎȘȜ, ȡȟȠȎțȜȐȖȠȪ ȕȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȖ ȖȕȚȓțȓțȖȭ RC Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȐȓșȖȥȖț ND Ȗ ȦȖȞȖțȩ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȩ țȎȖȏȜșȓȓ Ȗȕȡȥȓțțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ, ȘȎȘ ȫȠȜ ȏȩșȜ ȟȒȓșȎțȜ Ȑ ȞȎȏȜȠȎȣ Ȍ.Ǯ. DZȜșȪȒȏȓȞȑȎ ȟ ȟȜȎȐȠȜȞȎȚȖ [90–92] Ȓșȭ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȟ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȩȚȖ ȟȜȓȒȖțȓțȖȭȚȖ Ǯ3ǰ5.

DzșȭȡȟȠȎțȜȐșȓțȖȭȚȓȣȎțȖȕȚȎȠȜȘȜȝȓȞȓțȜȟȎȐȟșȡȥȎȓȟȖșȪțȜșȓȑȖȞȜȐȎțțȜȑȜ (ȐȩȞȜȔȒȓțțȜȑȜ) ȝȜȒȘȜțȠȎȘȠțȜȑȜ ȟșȜȭ SiC Ȗ ȐȓșȖȥȖțȩ ȚȖțȖȚȎșȪțȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠțȜȑȜ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȓȠȟȭ ȐȎȔțȩȚ ȡȥȓȠ țȓȝȎȞȎȏȜșȖȥțȜȟȠȖ ȕȜțȩ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ. ǾȎțȓȓ Ȑ [25] Ȓșȭ ȐȩȞȜȔȒȓțțȩȣ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐ Ǯ3ǰ5 ȏȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ ȟ ȞȜȟȠȜȚ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖțȜȟȖȠȓșȓȗȕȎȞȭȒȎȐțȖȣȖȟȡȥȓȠȜȚțȓȝȎȞȎȏȜșȖȥțȜȟȠȖ ȕȜțȩȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜȘȜțȠȎȘȠȎ ȟȠȞȓȚȖȠȟȭ Ș țȎȟȩȧȓțȖȬ. ǽȜșȡȥȓțțȩȗȝȞȓȒȓșȘȜțȠȎȘȠțȜȑȜȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭțȜȟȖȠȢȡțȒȎȚȓțȠȎșȪțȩȗȣȎȞȎȘȠȓȞ, ȖȫȠȜțȎȒȜȡȥȖȠȩȐȎȠȪȝȞȖȟȜȕȒȎțȖȖ ȘȜțȠȎȘȠțȩȣ ȟȖȟȠȓȚ. Dzșȭ SiC ȠȎȘȜȗ ȝȞȓȒȓș RC ȒȎȔȓ țȓ ȞȎȟȟȥȖȠȎț.

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458 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

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ǽȞȜȏșȓȚȎ ȚȜȔȓȠ Ȗ ȒȜșȔțȎ ȏȩȠȪ ȞȓȦȓțȎ ȠȜșȪȘȜ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȘȜȚȝșȓȘȟțȜȑȜ ȝȜȒȣȜȒȎ Ȗ ȐȟȓȑȜ ȎȞȟȓțȎșȎ ȢȖȕȖȘȜ-ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȣ, ȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȣ, ȫșȓȘȠȞȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȣ Ȗ ȠȓȜȞȓȠȖȥȓȟȘȖȣ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș ȘȎȞȏȖȒȡ ȘȞȓȚțȖȭ, ȟ ȡȥȓȠȜȚ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȓȗ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭȚȎȟȟȖȐțȜȑȜȖȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȜȑȜȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ, ȝȞȖȏȜȞțȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ țȎ Ȗȣ ȜȟțȜȐȓ, ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȫȘȟȠȞȓȚȎșȪțȩȣ ȡȟșȜȐȖȗ ȫȘȟȝșȡȎȠȎȤȖȖ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȝȞȖȏȜȞȜȐ.

ǹȖȠȓȞȎȠȡȞȎ

1.ǹȡȥȖțȖț ǰ.ǰ., ȀȎȖȞȜȐ Ȍ.Ǻ. ǸȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ – ȚȎȠȓȞȖȎș ȫȘȟȠȞȓȚȎșȪțȜȗ ȫșȓȘȠȞȜțȖȘȖ // ǽȓȠȓȞȏȡȞȑȟȘȖȗ ȔȡȞțȎș ȫșȓȘȠȞȜ-

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