- •(Конспект лекцій по к. "Метрологія"за матеріалами підручника д.І.Левінзона " основы метрологии полупроводников")
- •Частина 1. Загальні і законодавчі основи метрології напівпровідників
- •1.Вступ в метрологію
- •Метрологія як наука
- •Гуманітарні і соціально економічні аспекти метрології
- •2.Основи законодавчої метрології
- •2.1.Предмет законодавчої метрології
- •2.2 Міжнародна співпраця в області законодавчої метрології
- •2.3.Структура і функції державної і відомчих метрологічних служб в Україні
- •Основні функції дмс:
- •2.4. Основні законодавчі і державні акти по стандартизації, метрології і сертифікації
- •2.5 Організація сертифікації товарів і виробів в Україні
- •3. Загальні принципи забезпечення єдності вимірювань
- •3.1. Помилки і невизначеність вимірювань
- •3.2. Показники якості і технологічності вимірювань
- •3.3. Засоби вимірювання і їх класифікація
- •3.4. Клас точності засобів вимірювань
- •3.5. Еталони і зразкові засоби вимірювань
- •3.6. Перевірка засобів вимірювання
- •3.7. Принципи розробки і оформлення методик виконання вимірювань (аналізів)
- •3.8. Утворення одиниць фізичних величин
- •3.9. Обчислення погрішностей і довірчих меж погрішності результату вимірювань
- •3.10.Поняття про кореляцію, рангова кореляція
- •3.11 Представлення результатів вимірювань
- •Основні положення метрології напівпровідників
- •4.1. Загальна характеристика метрології напівпровідників
- •4.2.Електрична активність дефектів кристалічної структури в напівпровідниках
- •4.2.1Основні характеристичні параметри напівпровідникових матеріалів і структур
- •4.2.Основні фізичні і технічні поняття, терміни і визначення метрології і матеріалознавства напівпровідників
- •4.3.Системи критеріїв оцінки якості напівпровідникових матеріалів і структур
- •4.6 Адаптаційний підхід до управління якістю напівпровідників
- •4.7 Геттерування дефектів в напівпровідниках
- •4.8 Об'єкти, методологія і принципи організації технологічного контролю напівпровідників
- •4.9.Експериментально-статистичний підхід до оцінки якості об'ємних кристалів і структур
- •4.10.Основні міжнародні стандарти в області напівпровідників
- •Література
Література
Артемьев Б.Г., Голубов С.М. Довідник для працівників метрологічних служб. - М.: Вид-во стандартів, 1982.-297 с.
Баранський П.И., Клочков В.П., Потикевич И.В. Напівпровідникова електроніка:
Довідник .- К.: Наукова думка, 1975.-704 с.
Батавін В.В. Контроль параметрів напівпровідникових матеріалів і епітаксіальних шарів. - М.: Сов. радіо, 1976.-104 с.
Воробйов Ю.В., Добровольский В.И., Стріха В.И. Методи дослідження напівпровідників: Навч.посіб.- К.: Віща школа, 1988.-232 с.
Закон Украіни '' Про метрологію та метрологічну діяльність ''.м. Киів, 11 лютого 1998 долі, N 113/98-ВР // Відомості Верховноі Ради України.-1998.-N 30-31.-с.194.
6. Ковтонюк Н.Ф., Концевой Ю.А. Вимірювання параметрів напівпровідникових матеріалів. М.: Металургія, 1970.-429 с.
Концевой Ю.А., Кудін В.Д. Методи контролю технології виробництва напівпровідникових приладів.-М.: Энергия,1973.-144 с.
Павлов Л.П. Методи вимірювання параметрів напівпровідникових матеріалів: Підручник для вузів.- М.:Высш.школа., 1987.-239 с.
Рего К.Г. Метрологічна обробка результатів технічних вимірювань:Довідн. посібник.-К.: Техніка, 1987.-239 с.
Рембеза С.И. Методи вимірювання основних параметрів напівпровідників: Навч. посіб
Вороніж: Вид-во ВГУ, 1989.-224 с.
Тюрин Н.И. Введення в метрологію: Навч. посіб. - М.: Вид-во стандартів, 1985.-248 с.
Шабалин С.А. Прикладна метрологія в питаннях і відповідях. - М.: Вид-во стандартів,1990.-191 с.
.