- •(Конспект лекцій по к. "Метрологія"за матеріалами підручника д.І.Левінзона " основы метрологии полупроводников")
- •Частина 1. Загальні і законодавчі основи метрології напівпровідників
- •1.Вступ в метрологію
- •Метрологія як наука
- •Гуманітарні і соціально економічні аспекти метрології
- •2.Основи законодавчої метрології
- •2.1.Предмет законодавчої метрології
- •2.2 Міжнародна співпраця в області законодавчої метрології
- •2.3.Структура і функції державної і відомчих метрологічних служб в Україні
- •Основні функції дмс:
- •2.4. Основні законодавчі і державні акти по стандартизації, метрології і сертифікації
- •2.5 Організація сертифікації товарів і виробів в Україні
- •3. Загальні принципи забезпечення єдності вимірювань
- •3.1. Помилки і невизначеність вимірювань
- •3.2. Показники якості і технологічності вимірювань
- •3.3. Засоби вимірювання і їх класифікація
- •3.4. Клас точності засобів вимірювань
- •3.5. Еталони і зразкові засоби вимірювань
- •3.6. Перевірка засобів вимірювання
- •3.7. Принципи розробки і оформлення методик виконання вимірювань (аналізів)
- •3.8. Утворення одиниць фізичних величин
- •3.9. Обчислення погрішностей і довірчих меж погрішності результату вимірювань
- •3.10.Поняття про кореляцію, рангова кореляція
- •3.11 Представлення результатів вимірювань
- •Основні положення метрології напівпровідників
- •4.1. Загальна характеристика метрології напівпровідників
- •4.2.Електрична активність дефектів кристалічної структури в напівпровідниках
- •4.2.1Основні характеристичні параметри напівпровідникових матеріалів і структур
- •4.2.Основні фізичні і технічні поняття, терміни і визначення метрології і матеріалознавства напівпровідників
- •4.3.Системи критеріїв оцінки якості напівпровідникових матеріалів і структур
- •4.6 Адаптаційний підхід до управління якістю напівпровідників
- •4.7 Геттерування дефектів в напівпровідниках
- •4.8 Об'єкти, методологія і принципи організації технологічного контролю напівпровідників
- •4.9.Експериментально-статистичний підхід до оцінки якості об'ємних кристалів і структур
- •4.10.Основні міжнародні стандарти в області напівпровідників
- •Література
Частина 1. Загальні і законодавчі основи метрології напівпровідників
(Конспект лекцій по к. "Метрологія"за матеріалами підручника д.І.Левінзона " основы метрологии полупроводников")
Лектор: ст.викладач каф. МЕНП ЗНТУ
Багинський А.М.
ЗМІСТ
Частина 1. Загальні і законодавчі основи метрології напівпровідників
1. Введення в метрологію......... ...............……….....4
Метрологія як наука..... ..............4
Гуманітарні і соціально-економічні аспекти метрології.. 5
2. Основи законодавчої метрології......……………………………………………............7
2.1. Предмет законодавчої метрології....…………………………………….........7
2.2. Міжнародна співпраця в області законодавчої метрології………...……….8
2.3. Структура і функції державної і відомчих метрологічних служб в Україні..…….9
2.4. Основні законодавчі і державні акти по стандартизації, метрології і сертифікації.... .......……………………………………………………………………...11
2.5. Організація сертифікації товарів і виробів в Україні. ………………....13
3. Загальні принципи забезпечення єдності вимірювань. ...………………………...16
3.1. Помилки і невизначеність вимірювань. ...……………………………........16
3.2. Показники якості і технологічності вимірювань. ………………………....18
3.3. Засоби вимірювань і їх класифікація..……………………………….... ......20
3.4. Клас точності засобів вимірювань..... .……………………………….........21
3.5. Еталони і зразкові засоби вимірювань... …………………………….........22
3.6. Перевірка засобів вимірювань... ………………………………...............25
3.7. Принципи розробки і оформлення методик виконання вимірювань.……26
3.8. Утворення одиниць фізичних величин......………………………………....27
3.9. Обчислення погрішності і довірчих меж погрішності результату вимірювань..................………………………………………………………….………..30
3.10. Поняття про кореляцію, рангова кореляція.....………………………......32
3.11. Представлення результатів вимірювань.....…………………………. ...33
4. Основні положення метрології напівпровідників....……………………………......35
4.1. Загальна характеристика метрології напівпровідників………………......35
4.2. Електрична активність дефектів кристалічної структури в
напівпровідниках...........………………………………………………………................36
4.3. Основні характеристичні параметри напівпровідникових матеріалів і структур.. ..................…………………………………………………………………….38
4.4. Основні фізичні і технічні поняття, терміни і визначення метрології і матеріалознавства напівпровідників..…………………………………………………...40
4.5. Системи критеріїв оцінки якості напівпровідникових матеріалів
і структур.....…………………………………………………………....................48
4.6. Адаптаційний підхід до управління якістю напівпровідників……………49
4.7. Гетерування дефектів в напівпровідниках.....…………………………....52
4.8. Об'єкти, методологія і принципи організації технологічного контролю напівпровідників.....…………………………………………………………....................53
4.9. Експериментально-статистичний підхід до оцінки якості об'ємних кристалів і структур.......…………………………………………………………...........55
4.10. Основні міжнародні стандарти в області напівпровідників..........…………………………………………………………...............56