4.10.Основні міжнародні стандарти в області напівпровідників

Історично склалося так, що міжнародна співпраця в області стандартів, метрології і сертифікації напівпровідникової продукції визначалася і визначається у всьому світі діяльністю Американської спілки по випробуванню матеріалів (ASTM) і німецької спілки по сертифікації в Європі (ДИН ГОСТ ТЮФ). Проте, останніми роками тут домінуюче положення переходить до SEMI (Semiconductor Equipment and Material International) – міжнародної асоціації, що об'єднує на основі добровільного асоціативного членства більше 2300 компаній, що працюють з напівпровідниковими приладами, а також устаткуванням і матеріалами для цієї промисловості.

Все частіше і частіше в нормативних і протокольних матеріалах, що супроводжують будь-які міжнародні операції і контракти в області напівпровідників, і якісні параметри узагальнено визначаються такими словами як "відповідно до стандартів ASTM" або "відповідно до стандартів SEMI".

Американська спілка по випробуванню матеріалів (ASTM) заснована в 1898 році і є науковою і технічною організацією, утвореною з метою "розробки стандартів на характеристики і експлуатаційні дані матеріалів, готової продукції, систем і технічне обслуговування, а також розповсюдження відповідних знань".

ASTM – найбільше світове джерело стандартів, розроблених на основі добровільного консенсусу. Ця організація функціонує з допомогою біля 150 основних технічних комітетів і більше двох тисяч підкомітетів. Щорічний випуск стандартів ASTM включає 60-80 томів, що містять спеціальні розділи, у тому числі і ті, що відносяться до напівпровідників, а також методам і засобам вимірювань. ASTM застосовує три основних категорії аргументів:

• стандарт розроблений і прийнятий відповідно до принципів повного консенсусу і задовольняючий всім вимогам схвалених процедур і правил ASTM;

• тимчасовий стандарт, не є документом повного консенсусу, оскільки він не проходить процедуру голосування в технічному комітеті, опублікований з метою заміни або прискорення видання стандарту;

• пропозиція, що є документом, схваленим провідним комітетом із даної проблеми, опублікований з метою заміни або прискорення видання стандарту.

Застосування стандартів ASTM є суто добровільним. Ці стандарти не перешкоджає кому-небудь у виготовленні, маркетингу, продажу або застосуванні продукції (процесів, послуг),що не відповідають їм.

Стандарти ASTM піддаються періодичній перевірці і перегляду, який проводиться відповідним технічним комітетам. Стандарт повинен переглядатися не рідше, ніж кожні п'ять років, і якщо він не піддається змінам, то повинен бути або повторно схвалений, або вилучений з обігу.

Стандарти SEMI більш спеціалізовані по відношенню до напівпровідників. Тому вони значно оперативніше реагують на вимоги, що постійно змінюються, до параметрів напівпровідників і на появу нових сфер їх застосування. Якщо говорити про кремнієві пластини, то динаміка зміни вимог торкнулася, перш за все, їх діаметра і товщини, чистота поверхні, площинності, мікрошорсткості, округлості країв і т.д. Швидкість змін параметрів ставить серйозні задачі в частині переходу на більш прогресивні технології і нове устаткування.

Таким чином, система стандартів SEMI направлена на поліпшення можливостей організації ділового партнерства всіх членів SEMI в країнах СНГ. Завдяки співпраці в рамках SEMI, стало реальне можливим підкорення до метрологічного забезпечення вітчизняного виробництва напівпровідників таких всесвітньо відомих фірм як Philips, Semilab, Hewlett-Packard, Advantest, Applied Materials та інші.