9. Основные международные стандарты в области полупроводников

Исторически сложилось так, что международное сотрудничество в области стандартов, метрологии и сертификации полупроводниковой продукции определялось и определяется во всём мире деятельностью Американского общества по испытанию материалов (ASTM) и немецкого общества по сертификации в Европе (ДИН ГОСТ ТЮФ). Однако, в последние годы здесь доминирующее положение переходит к SEMI (Semiconductor Equipment and Material International) – международной ассоциации, объединяющей на основе добровольного ассоциативного членства более 2300 компаний, работающих с полупроводниковыми приборами, а также оборудованием и материалами для этой промышленности.

Всё чаще и чаще в нормативных и протокольных материалах, сопровождающих любые международные сделки и контракты в области полупроводников, и качественные параметры обобщённо определяются такими словами как "в соответствии со стандартами ASTM" или "в соответствии со стандартами SEMI".

Американское общество по испытанию материалов (ASTM) основано в 1898 году и является научной и технической организацией, образованной с целью "разработки стандартов на характеристики и эксплуатационные данные материалов, готовой продукции, систем и техническое обслуживание, а также распространения соответствующих знаний".

ASTM – наибольший мировой источник стандартов, разработанных на основе добровольного консенсуса. Это общество функционирует с помощью около полутороста основных технических комитетов и более двух тысяч подкомитетов. Ежегодный выпуск стандартов ASTM включает в себя 60-80 томов, содержащих специальные разделы, в том числе и относящиеся к полупроводникам, а также методам и средствам измерений. ASTM применяет три основных категории аргументов:

• стандарт разработанный и принятый в соответствии с принципами полного консенсуса и удовлетворяющий всем требованиям одобренных процедур и правил ASTM;

• временной стандарт, не являющейся документом полного консенсуса, так как он не проходит процедуру голосования в техническом комитете, опубликованный с целью замены или ускорения издания стандарта;

• предложение, представляющее собой документ, одобренный ведущим комитетом по данной проблеме, опубликованный с целью замены или ускорения издания стандарта.

Применение стандартов ASTM является сугубо добровольным. Эти стандарты не препятствует кому-либо в изготовлении, маркетинге, продаже или применении продукции (процессов, услуг), не соответствующих им.

Стандарты ASTM подвергаются периодической проверке и пересмотру, который проводится соответствующим техническим комитетам. Стандарт должен пересматриваться не реже, чем каждые пять лет, и если он не подвергается изменениям, то должен быть либо повторно одобрен, либо изъят из обращения.

Стандарты SEMI более специализированы по отношению к полупроводникам. Поэтому они значительно оперативнее реагируют на постоянно изменяющиеся требования к параметрам полупроводников и на появление новых сфер их применения. Если говорить о кремниевых пластинах, то динамика изменения требований коснулась, прежде всего, их диаметра и толщины, чистоты поверхности, плоскостности, микрошероховатости, округлости краёв и т.д. Быстрота изменений параметров ставит серьёзные задачи в части перехода на более прогрессивные технологии и новое оборудование.

Таким образом, система стандартов SEMI направлена на улучшение возможностей организации делового партнёрства всех членов SEMI в странах СНГ. Благодаря сотрудничеству в рамках SEMI, стало реально возможным подчинение к метрологическому обеспечению отечественного производства полупроводников таких всемирно известных фирм как Philips, Semilab, Hewlett-Packard, Advantest, Applied Materials и др.