Міністерство освіти та науки України
Східноукраїнський національний університет
імені Володимира Даля
Кафедра “Обладнання електронної промисловості”
ПОЯСНЮВАЛЬНА ЗАПИСКА
до дипломного проекту на тему:
“Модернізація установки для іонної імплантації”
Студента групи ЕТз – 761 Богородченко В.М.
Керівник проекту доц. Логунов М.П.
КОНСУЛЬТАНТИ:
Охорона праці _____________ (доц. Гуляков В.П.)
Економічна частина ____________ (доц. Бачєвський Б.Є.)
Промислова екологія ___________ (асс. Полів’янчук А.П.)
Нормоконтроль ____________ (асс. Горюнов В.С.)
Завідувач кафедри (проф. Єрошин С.С.)
Луганськ 2003
Приложение 2
СХІДНОУКРАЇНСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ
імені ВОЛОДИМИРА ДАЛЯ
Факультет Комп’ютерних технологій і автоматики
Кафедра Обладнання електронної промисловості
Спеціальність 7.090212 Обладнання електронної промисловості
“ЗАТВЕРДЖУЮ”
Зав. кафедри _______________
проф. Єрошин Сергій Сергійович
“6“ березня 2011р.
ЗАВДАННЯ
на дипломний проект
Студент Богородченко Валерій Миколайович
Група ЕТз – 761
Тема выпускной работы: “Модернізація установки для іонної імплантації”
Затверджена наказом по СНУ “13“ травня 2011 р. № 197-04
Термін здачі студентом закінченої роботи - 15 червня 2011 р.
Початкові дані до проекту: дози імплантації бором - у діапазоні від 2,0х1010 до 4,0х1014 іон/см2, фосфором та миш'яком - від 2,0х1010 до 1,6х1015 іон/см2. Виробнича спроможність – 40 пластин за годину. Розмір пластин – 150 мм. Вакуум – 10-7 Па.
Зміст пояснювальної записки (основні питання): технологія іонного імплантації , моделювання процесу іонного легування, модернізація вакуумної камери, конструкція та робота установки.
Перелік графічного матеріалу (із зазначенням обов’язкових креслень): установки для іонної імплантації – загальний вигляд (2 л), вакуумна камера - (1л), пневматичний циліндр (1л), деталювання (1л), гідравлічний демпфер (1л), вакуумна схема (1л),
Продолжение приложения 2
Консультанти по проекту:
|
Розділ |
Консультант |
Підпис |
|
1. Технологія іонної імплантації |
доц. Логунов М.П.
|
|
|
2. Модернізація установки | ||
|
3. Конструкція та робота установки | ||
|
| ||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Календарний план виконання проекту:
|
Назва етапу |
Термін виконання |
Примітка |
|
1. Аналіз технології іонної імплантації |
1.04.03. |
|
|
2.Модернізація установки – розрахунки, креслення загальних виглядів і деталювання. Оформлення специфікації. |
5.05.03. |
|
|
|
5.06.03 |
|
|
|
20.04.03 |
|
|
|
15.04.03 |
|
|
|
25.04.03 |
|
|
|
5.06.03 |
|
|
|
7.06.03 |
|
Студент – дипломник Богородченко Валерій Миколайович
(підпис)
Керівник проекту доц. Логунов Микола Петрович
(підпис)
Дата видачі завдання“12 “ березня 2011 р.
Приложение 3
|
Номер |
Формат |
Обозначение |
Наименование документа |
Кол-во листов |
|
|
|
Документация общая |
| |
|
1 |
А1 |
ПД.123000.000 ВО |
Чертеж общего вида |
2 |
|
2 |
А1 |
ПД.123000.000 К3 |
Схема кинематическая принципиальная |
1 |
|
3 |
А1 |
ПД.123000.000 Э3 |
Схема электрическая принципиальная |
1 |
|
4 |
А1 |
ПД.123000.000 ТЭ |
Технико-экономические показатели |
1 |
|
5 |
А4 |
ПД.123000.000 ПЗ |
Пояснительная записка |
124 |
|
|
|
|
Документация по сборочным единицам |
|
|
6 |
А1 |
ПД.123020.000 СБ |
Камера вакуумная |
1 |
|
7 |
А2 |
ПД.123023.000 П3 |
Схема пневматическая принципиальная привода люка |
1 |
|
8 |
А1 |
ПД.123025.000 СБ |
Гидравлический демпфер |
1 |
|
9 |
А1 |
ПД.123026.000 СБ |
Пневматический цилиндр |
1 |
|
|
|
|
Документация по деталям |
|
|
10 |
А1 |
ПД.123026.007 ГТ |
Графотехнология |
2 |
|
11 |
А3 |
ПД.123026.004 |
Цилиндр |
1 |
|
12 |
А3 |
ПД.123026.006 |
Поршень |
1 |
|
13 |
А3 |
ПД.123026.007 |
Шток |
1 |
|
14 |
А3 |
ПД.123026.009 |
Крышка |
1 |
|
|
|
|
|
|
РБ.123000.000 | |||
|
|
|
|
|
| ||||
|
|
|
|
|
| ||||
|
Разраб. |
Богородченко |
|
30.05.03 |
Установка ионной имплантации Ведомость дипломного проекта |
|
|
| |
|
Пров. |
Логунов |
|
3.06.03 |
|
|
| ||
|
|
|
|
|
ВНУ им.В. Даля Кафедра ОЭП гр. ЭТ-771 | ||||
|
Н.контр |
Горюнов |
|
4.06.03 | |||||
|
Утв. |
Ерошин |
|
8.06.03 | |||||
Приложение 4
|
Формат |
Зона |
Позиция |
Обозначение |
Наименование документа |
Колич. |
Примечание |
|
|
|
|
Документация |
|
| |
|
А1 |
|
|
ПД.123026.000СБ |
Пневматический цилиндр |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
Детали |
|
|
|
А2 |
|
3 |
ПД.123026.003 |
Кронштейн |
1 |
|
|
А3 |
|
4 |
ПД.123026.004 |
Цилиндр |
1 |
|
|
А3 |
|
6 |
ПД.123026.006 |
Поршень |
1 |
|
|
А3 |
|
7 |
ПД.123026.007 |
Шток |
1 |
|
|
А3 |
|
9 |
ПД.123026.009 |
Крышка |
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Стандартные изделия |
|
|
|
|
|
10 |
|
Винт М8-6gX40.66.05 ГОСТ 1491-80 |
8 |
|
|
|
|
11 |
|
Манжета 20-8-35 ГОСТ 2781-70 |
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Прочие изделия |
|
|
|
|
|
12 |
|
Масленка ЕГОС.301521.005 ТУ |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
ПД.123026.000 | |||
|
|
|
|
|
| ||||
|
|
|
|
|
| ||||
|
Разраб. |
Богородченко |
|
30.05.01 |
Пневматический цилиндр |
|
|
| |
|
Пров. |
Логунов |
|
3.06.01 |
|
|
| ||
|
|
|
|
|
ВНУ им.В. Даля Кафедра ОЭП гр. ЭТ-771 | ||||
|
Н.контр. |
Горюнов |
|
4.06.01 | |||||
|
Утв. |
Ерошин |
|
8.06.01 | |||||
Приложение 5
Продолжение приложения 5
Приложение 6