Міністерство освіти і науки україни

СХІДНОУКРАЇНСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ

УНІВЕРСИТЕТ імені Володимира Даля

Кафедра “Обладнання електронної промисловості”

ПОЯСНЮВАЛЬНА ЗАПИСКА

до дипломного проекту

“Модернізація установки іонної імплантації”

Студент групи ЕТ_З – 761 Богородченко В.М.

Приложение 7

Приложение 8

Приложение 9

Приложение 10

Приложение 11

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ УКРАИНЫ

ВОСТОЧНОУКРАИНСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

имени ВЛАДИМИРА ДАЛЯ

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

К ДИПЛОМНОМУ ПРОЕКТИРОВАНИЮ

ЛУГАНСК 2003

Учебное издание

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

к дипломному проектированию

(для студентов специальности

”Оборудование электроннойпромышленности”)

Составители: С.С. Ерошин, Л.К. Швагер, Н.П. Логунов,

В.В. Стратилатов, А.В. Байер.

Редактор И.А Морозова

Техн. редактор Т.Н. Дроговоз

Оригинал-макет И.А Морозова

Подписано в печать

Формат 60х84 ¹/₁₆. Бумага офсетная. ГарнитураTimes.

Печать офсетная. Усл. печ. л. Уч.-изд.л. .

Тираж 75 экз. Издат. № . Заказ № . Цена договорная.

Издательство

Восточноукраинского национального университета имени Владимира Даля

91034, г. Луганск, кв. Молодежный, 20а

Адрес редакции: 91034, г. Луганск, кв. Молодежный, 20а

Телефон: 8 (0642) 46-13-04. Факс: 8 (0642) 46-13-64

E-mail: uni@snu.lugansk.ua

Отпечатано в ООО СЦ «ЧИП»

2