Раздел 3. Защита деталей от внешних воздействий

3.1. Общая классификация и назначение пленок, применяемых в производстве. Подготовка поверхности деталей перед нанесением пленок механическими, химическими, электрохимическими, ультразвуковыми методами. Сущность методов. Выбор метода для удаления окислов, жировых загрязнений, создания рельефа поверхности. Применяемое оборудование, растворы.

3.2. Общие сведения. Понятие «анодное и катодное» гальваническое покрытие. Технологические процессы формирования защитных покрытий гальваническим методом (цинкование, кадмирование, меднение, хромирование, никелирование, лужение, серебрение, золочение). Общие свойства, применение различных гальванических покрытий.

3.3. Технологические процессы получения пленок химическими (оксидирование, пассивирование, фосфатирование), химико-термическими (воронение, азотирование) методами. Получение проводящих, резистивных и изолирующих пленок на диэлектрические подложки методом вжигания; лакокрасочные покрытия и получение изолирующих пленок методом электрофореза .

3.4. Выбор покрытий в зависимости от условий эксплуатации аппаратуры. Структура технологических процессов формирования покрытий деталей. Формирование покрытий с особыми физико-химическими свойствами методом электронно-лучевого напыления. Контроль качества покрытий. Технологические мероприятия по улучшению санитарных условий труда и охрана окружающей среды.

Методические указания

При изучении материала по данному разделу необходимо обратить внимание на то, что выбор вида покрытия (пленки) зависит от назначения, материала детали и условий эксплуатации, в которых находится устройство: легкие, средние или жесткие. При выборе гальванических покрытий необходимо уяснить, что в зависимости от соотношения электрохимических потенциалов металла пленки и металла детали гальванические покрытия могут быть анодными или катодными (п. 3.2). Это определяет степень защиты металла детали от коррозии. Кроме того от величины разности электрохимических потенциалов металла пленки и металла детали зависит величина сцепления гальванической пленки с основанием. При проработке разделов 3.2, 3.3, 3.4 необходимо изучить особенности технологии нанесения пленок различными методами и особенно методом электронно-лучевого напыления /2/.

Литература /1, с. 192-216; 3, с. 132-145/.

Раздел 4. Типовые технологические процессы изготовления специфических деталей, применяемых

в приборостроении

4.1. Изготовление диэлектрических монокристаллических подложек микросхем: стеклянных, ситалловых, керамических, полупроводниковых. Структура технологических процессов и содержание основных операций: резка, шлифовка, полировка и очистка поверхности. Точность размеров, качество поверхности, производительность. Контроль качества. Перспективы развития технологии изготовления подложек.

4.2. Изготовление пьезоэлектрических резонаторов и пластин звукопроводов линий задержки и фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ) из пьезокристаллов. Требования к технологии их изготовления. Технологические маршруты и содержание основных операций изготовления резонаторов и пластин звукопроводов. Точность размеров и качество поверхности в зависимости от частотного диапазона, производительность. Контроль качества деталей.

4.3. Изготовление деталей металлостеклянных корпусов микросхем. Изготовление деталей корпусов. Формирование металлостеклянных спаев. Содержание основных операций. Контроль вакуумной плотности спаев.

4.4. Изготовление СВЧ волноводов. Особенности изготовления полосковых линий передач СВЧ. Требования к технологии изготовления. Технологические методы и содержание основных операций. Обеспечение точности и качества изготовления.

4.5. Изготовление магнитопроводов из листовых и ленточных материалов, магнитодиэлектриков и ферритов. Технологические маршруты и содержание основных операций. Контроль качества магнитопроводов. Перспективы развития технологических процессов изготовления магнитопроводов.

4.6. Изготовление упругих элементов. Основные технологические маршруты изготовления витых и плоских пружин. Анализ влияния первичных погрешностей на упругие характеристики пружин. Технологические методы достижения заданных физических свойств упругих элементов.

4.7. Изготовление электрических контактов. Основные технологические маршруты изготовления контактов из чистых металлов, сплавов и металлокерамики. Покрытие контактов серебром, палладием (гальваническое покрытие, катодное распыление, вакуумное испарение, плакирование). Безотходное изготовление контактов из серебра. Контроль качества изготовления контактов.

Методические указания

При проработке материала по данному разделу необходимо знать основные операции по изготовлению типовых деталей РЭС, технологические методы достижения точности параметров изделий, пути повышения экономии исходных материалов, а также направление автоматизации изготовления типовых деталей.

При проработке раздела 4.5 обратить внимание на изготовление магнитных сердечников из ферритов и магнитодиэлектриков, которые находят широкое применение в устройствах приборов.

Так как в настоящее время основное направление в развитии приборов - микроминиатюризация, то необходимо обратить особое внимание на изготовление подложек и корпусов микросхем, резонаторов и звукопроводов микроэлектронных устройств средств связи на поверхностных акустических волнах.

В справочнике /7/ приведено отечественное оборудование для лазерной и электронно-лучевой обработки материалов, которое может быть использовано на отдельных операциях технологического процесса изготовления типовых деталей.

Литература /1, с.166-174, 217-260; 3, с. 169-242/.