- •Лекции "Технология оптоэлектронных устройств
- •Раздел 1. Излучатели
- •Полупроводниковые излучатели
- •1.2. Газоразрядные индикаторы
- •1.3. Жидкокристаллические индикаторы
- •1.4.Электролюминесцентные индикаторы
- •Раздел 2. Когерентная электроника. Лазеры.
- •2.1. Когерентное излучение.
- •2.2. Конструкция, параметры и режимы работы лазеров
- •2.3. Полупроводниковые лазеры
- •2.4. Разновидности лазеров
- •2.5. Сравнительная характеристика лазеров.
- •2.6. Лазерные модуляционные устройства
- •Раздел 3. Детекторы
- •3.1. Введение, общие вопросы
- •3.2. Основные критерии качества детекторов и их классификация
- •Классификация детекторов
- •Тепловые детекторы
- •Раздел 4. Полупроводниковые фотоприемники
- •Введение
- •Параметры и характеристики фотоприемников
- •Приложения Методические пособия для расчетных и лабораторных работ
- •Задание
- •Порядок выполнения работы
- •Определение основных характеристик полупроводниковых лазеров
- •Задание
- •Порядок выполнения работы
- •Определение основных характеристик фоторезисторов
- •Задание
- •Рассчитать:
- •Определение потерь пропускания в световоде волс
- •Исходные данные для расчета
2.5. Сравнительная характеристика лазеров.
В таблице приведены основные параметры применяемых в настоящее время лазеров. Анализ этих данных приводит к выводу, что достаточно универсальным источником когерентного излучения для микрооптоэлектроники может быть лишь инжекционный полупроводниковый лазер.
Сравнивая полупроводниковые лазеры с другими типами лазеров, можно выделить следующие достоинства полупроводниковых лазеров:
1) малые массо-габаритные показатели и большое оптическое усиление (103-104см-1 );
2) высокий КПД (почти 100%);
3) простота накачки лазера: инжекция не требует высоких питающих напряжений и мощностей;
4) высокое быстродействие;
5) возможность генерации излучения заданной длины волны в широком диапазоне, что достигается выбором полупроводника с необходимой шириной запрещенной зоны;
6) технологическая и эксплуатационная совместимость с элементами интегральной оптики.
Современным полупроводниковым лазерам присущи такие недостатки:
1) относительно низкие параметры когерентности излучения (Δλ и Θ), что объясняется высокой плотностью активного вещества, малой длиной резонатора и малой выходной апертурой;
2) низкая долговечность, равная для промышленных образцов 102—103 ч; в то же время теоретические расчеты показывают, что долговечность инжекционных лазеров может быть выше 105 ч.
Снижение долговечности реальных приборов прежде всего связывается с постепенной деградацией (старением) полупроводникового лазера. Деградация стимулируется очень высокими плотностями тока, а также потоков оптической и тепловой мощности, которые характерны для работы полупроводниковых лазеров.
Основным деградацнонным эффектом является увеличение концентрации безызлучательных центров в активной области за счет внедрения атомов неконтролируемых примесей и образования новых дефектов. Кроме того, имеет место снижение активности излучательных центров и возрастание поверхностной рекомбинации.
К числу важнейших технологических средств снижения деградации и соответственно увеличения долговечности полупроводниковых лазеров относятся:
1) выбор структурно однородного материала (как по электрическим, так и по теплофизическим параметрам);
2) совершенствование конструкции кристалла;
улучшение монтажа кристалла и теплоотвода.
В областях применения, требующих больших импульсных мощностей излучения в сочетании с высокой направленностью (локация, подсветка целей, дальняя волоконно-оптическая связь и т. п.), наибольшие перспективы имеют твердотельные лазеры.
Газовые лазеры неизменно остаются вне конкуренции во всех тех устройствах и системах, где определяющей является высокая степень когерентности лазерного излучения.
2.6. Лазерные модуляционные устройства
Модуляция лазерного излучения.
Модуляция лазерного излучения — это изменение одного или нескольких параметров излучения по заданному закону во времени или (и) в пространстве. Закон изменения модулируемого параметра излучения обычно соответствует изменениям передаваемой с помощью лазерного излучения информации. Другими словами: если лазерное излучение используется в качестве носителя информации, то информацию можно вводить в различные параметры лазерного излучения.
Например, если информация вводится в интенсивность излучения (меняется информация—меняется интенсивность), то говорят о модуляции интенсивности.
Частотная модуляция лазерного излучения связана с изменением частоты излучения в соответствии с изменениями информации, фазовая модуляция — с изменением фазы, модуляция поляризации — с изменением направления поляризации.
Функцию модуляции излучения выполняют модуляционные устройства, среди которых выделяют:
1. модуляторы—устройства для изменения по заданному закону во времени одного или нескольких параметров лазерного излучения (интенсивности, фазы, частоты или поляризации);
дефлекторы — устройства для изменения по заданному закону во времени положния пучка лазерного излучения;
пространственно-временные модуляторы (ПВМ) — устройства для изменения во времени по заданному закону пространственного распределения интенсивности, фазы или поляризации пучка лазерного излучения.
Таким образом, ПВМ объединяют в одном устройстве функции модулятора и дефлектора, что позволяет наиболее полно «загрузить» информацией лазерное излучение в ПВМ.
Физические основы модуляции лазерного излучения. Наибольшее применение в модуляционных устройствах когерентной оптоэлектроники нашли электрооптические эффекты и магнитооптический эффект Фарадея, а также различные фотоэффекты.
Электрооптические эффекты характеризуются возникновением оптической анизотропии (неравномерности) в веществе под воздействием внешнего электрического поля, в результате чего изменяется показатель преломления вещества; Появление оптической анизотропии- следствие изменения диэлектрической проницаемости вещества под действием электрического поля.
Электрооптические эффекты сопровождаются обычно явлением двойного лучепреломления, т. е. расщеплением проходящего света на два луча. Эти лучи (называемые обыкновенным и необыкновенным) распространяются с различными скоростями и по-разному поляризованы. Если в таких кристаллах выделить два взаимно-перпендикулярных направления х, у, то показатели преломления света вдоль каждого из этих направлений будут, вообще говоря, различными. Обозначим показатели преломления по каждой из осей nx и ny. Тогда кристаллы, в которых показатели преломления по каждой из осей различны (nx ≠ ny), будем называть двухосными. Кристаллы, в которых направления х и у оказываются оптически однородными, т. е. nx = ny =no , называются одноосными.
При распространении луча вдоль оси z в одноосном кристалле скорость света не зависит от характера поляризации. Если же к кристаллу прикладывается электрическое поле, то равенство nx = ny нарушается и кристалл становится двуосным. При этом скорости распространения световых волн, поляризованных по осям х и у, также начинают различаться.
Показатель преломления для обыкновенной волны по оси г изменяется линейно с напряженностью электрического поля:
no(E) =no+ rПE
где rП - электрооптическая постоянная Поккельса;
Е - напряженность электрического поля;
no -показатель преломления в отсутствие поля.
Это изменение показателя преломления, пропорциональное напряженности электрического поля, и составляет суть эффекта Поккельса, называемого линейным электрооптическнм эффектом.
Под влиянием внешнего поля одноосный исходный кристалл приобретает свойства двухосного, становится оптически анизотропным- вследствие изменения коэффициента преломления. При прохождении световой волной некоторого пути I в таком кристалле возникает разность фаз между обыкновенным и необыкновенным лучами:
По мере проникновения излучения в глубь кристалла изменяется разность фаз между сигналами с различной поляризацией. В результате поляризация выходных и входных сигналов оказывается различной. В зависимости от длины пути в кристалле и, соответственно, получившейся разности фаз поляризация выходного сигнала будет изменяться так, как это показано в табл. .
Таблица .
Зависимость поляризации выходного луча от сдвига фаз обыкновенного и необыкновенного лучей
В соответствии с взаимной ориентацией направлений распространения луча z и напряженности электрического поля Е выделяют продольный и поперечный эффекты Поккельса.
Находит применение в оптоэлектронике и электрический эффект Керра. Здесь зависимость показателя преломления от напряженности электрического поля описывается соотношением
no(E)=no+ rK E2, (16)
где rK — электрооптическая постоянная Керра.
Выражение (16) показывает, что эффект Керра характеризуется квадратичной зависимостью фазового сдвига от напряженности поля. Поэтому его называют квадратичным электрооптическим эффектом.
Магнитооптический эффект — это. изменение некоторых оптических параметров вещества под действием магнитного поля.
Магнитооптический эффект Фарадея может быть объяснен различием в скоростях распространения оптических волн разной поляризации. Предположим, что линейно поляризованная монохроматическая световая волна падает на вещество, помещенное в постоянное магнитное поле с индукцией В; направление распространения волны совпадает с направлением поля. Известно, что линейно поляризованная волна может быть представлена в виде суммы двух волн разной поляризации. Магнитное поле делает различными показатели преломления для этих волн. В результате после прохождения пути L в веществе возникает разность фаз этих волн пропорциональная магнитной индукции.
Среди фотоэффектов, приводящих к изменению оптических, параметров вещества, можно выделить фотохромный, фотокристаллический, а также эффект фотопроводимости.
Фотохромный эффект заключается в изменении окраски или прозрачности вещества (неорганических стекол со специальными примесями, органических полимеров) под действием светового потока коротковолнового диапазона (ультрафиолетовое или коротковолновое видимое излучение). Для возвращения вещества в прежнее состояние требуется нагрев или воздействие светового потока с длиной волны ИК-Диа-пазона.
Фотокристаллический эффект наблюдают, например, в аморфных полупроводниках: под действием света высокой интенсивности происходит кристаллизация вещества и, соответственно, изменение коэффициента преломления.
Эффект фотопроводимости. Изменение проводимости под воздействием потока излучения сказывается на оптических параметрах вещества, в частности на показателе преломления, что позволяет использовать этот эффект для модуляции излучения.
Оптические модуляторы.
Модуляция излучения необходима для ввода информации в оптический сигнал. В соответствии с уравнением световой волны (1) информацию можно вводить в амплитуду, частоту, фазу и направление вектора поляризации. Далее модулированный оптический сигнал поступает на фотоприемник. Современные фотоприемники реагируют только на интенсивность излучения. Поэтому наиболее распространенным видом оптических модуляторов являются модуляторы интенсивности.
При использовании других типов модуляторов необходимо предварительное преобразование модулированного каким-либо образом сигнала в модулированный по интенсивности.
С помощью модулятора обеспечивается внешняя модуляция лазерного излучения, т. е. модуляция лазерного излучения вне излучателя лазера.
Возможна и внутренняя модуляция, которая осуществляется в самом лазере, путем изменения параметров лазерного активного элемента или резонатора. Внутренняя модуляция в полупроводниковых лазерах осуществляется за счет изменения режима накачки.
В газовых лазерах внутренняя модуляция возможна за счет изменения добротности опти-ческого резонатора. Следует подчеркнуть, что объединение в одном устройстве генерации и модуляции, как правило, ухудшает параметры лазерного излучения. Возникают побочные эффекты, которые приводят к снижению когерентности излучения.
В полупроводниковых лазерах, у которых внутреннее управление интенсивностью излучения наиболее просто и эффективно, внутренняя модуляция обычно вызывает рост порога генерации, ухудшение модового состава излучения.
Рис.13. Структурная схема электрооптического модулятора
Рассмотрим устройство электрооптического модулятора (рис.13). Основу модулятора составляют два кристалла одинаковых размеров. Кристаллографические оси кристаллов взаимно перпендикулярны, что обеспечивает компенсацию температурного влияния на модуляцию: температурные изменения как бы вычитаются при прохождении оптического сигнала последовательно через оба кристалла.
Как видно из рис.13, модулятор работает на электрооптическом эффекте Поккельса поперечного типа. Изменяя напряжение управления Uупр, т. е. изменяя напряженность электрического поля Е, можно регулировать фазу выходного оптического сигнала по отношению к входному. Для преобразования изменения фазы в изменения интенсивности излучения на выходе электрооптического модулятора находится анализатор.
Рис.14. Статическая характеристика пропускания оптического модулятора интенсивности:
а — без напряжения смешения; б — с напряжением смещения
График зависимости интенсивности излучения на выходе модулятора от управляющего напряжения (в относительных единицах ) изображен на рис. 4.16. Это управляющая характеристика модулятора. Процесс модуляции на рис. 4.16,а происходит без постоянного электрического смещения (Uсм=0), которое прикладывается к тем же электродам, что и переменное Uупр. Модулятор при этом имеет низкую эффективность: при значительном изменении управляющего напряжения интенсивность излучения на выходе модулятора практически неизменна.
Если к модулятору приложить постоянное смещение (Uсм= Uλ/2 рис. 4.16,6), то амплитуда переменной составляющей и глубина модуляции существенно увеличиваются. Модулятор работает на крутом участке управляющей характеристики.
Граничные частоты такого устройства составляют 108 -109 Гц. Качество модулятора иногда характеризуют добротностью, которая равна отношению граничной частоты модулятора к мощности управления:
Dм=fгр/Рупр. (17)
Для электрооптических модуляторов это значение добротности близко к 10 МГц/мВт.
Рис. 15. Структурная схема магнитооптического модулятора:
/ — активная среда; 2 — катушка; 3 — поляризатор; 4 — анализатор;
5 — линзы
Для изготовления модуляторов могут использоваться и магнитооптические вещества, такие, например, как ферритгранаты или трехбромистый хром. Принцип действия магнитооптических модуляторов (рис. 4.17) основан на эффекте Фарадея. При прохождении света через активную среду, помещенную в магнитное поле, наблюдается поворот плоскости поляризации луча. Анализатор обеспечивает преобразование изменений направления поляризации в изменении амплитуды.
По быстродействию магнитооптические модуляторы значительно уступают электрооптическим (граничная частота обычно не превышает 104 Гц). Кроме того, для их управления требуется большая напряженность магнитного поля. Ограничивают применение магнитооптических модуляторов также малая глубина модуляции и сильное поглощение оптического излучения.
Тонкопленочные и полупроводниковые модуляторы.
Для применения в микрооптоэлектронике наиболее перспективны тонкопленочные модуляторы, в которых используются те же физические эффекты, что и в объемных модуляторах. В качестве материалов, использующих электрооптический эффект, применяют ниобат и танталат лития и твердые растворы на их основе. При создании магнитооптических тонкопленочных модуляторов удается повысить граничную частоту по сравнению с объемным аналогом прибора (до 108 Гц). Оба вида модуляторов в тонкопленочном исполнении характеризуются низким напряжением управления (единицы вольт), что делает их совместимыми с микроэлектронными устройствами.
Исключительно перспективны для развития микрооптоэлектроники полупроводниковые модуляторы. Линейный электрооптический эффект в полупроводниковых р-п переходах возникает в связи с тем, что при приложении обратного напряжения в области объемного заряда перехода изменяется концентрация свободных носителей. Это ведет к модуляции диэлектрической проницаемости, а следовательно, и показателя преломления п. Для объемных модуляторов этот эффект трудно применять, так как излучение было бы необходимо вводить в узкую зону вдоль р-п перехода. В тонкопленочных структурах такое требование легко обеспечивается. При использовании таких полупроводников, как GaAs, GaP, управляющее, напряжение составляет единицы вольт.
Дефлекторы.
Дефлектор представляет собой устройство, предназначенное для изменения пространственного положения лазерного луча. Наибольшее применение, особенно в голографических системах хранения и обработки информации, нашли электрооптические и акусто-оптические дефлекторы.
Типичный электрооптический дефлектор представлен на рис.16. Он представляет собой многокаскадное устройство.
Рис. 16. Структурная схема электрооптического дефлектора
Каждый каскад состоит из оптического модулятора поляризации 1 и двулучепреломляющего кристалла 2. С помощью модулятора обеспечивается плавное изменение поляризации излучения по заданному закону. В кристалле 2 излучение раздваивается, и так в каждом каскаде.
В зависимости от комбинации управляющих напряжений можно получить 2i дискретных положений в пространстве луча на выходе дефлектора (где i—число каскадов дефлектора). Общее число положений луча в пространстве, достижимое в электрооптическом дефлекторе, определяется соотношением
N=φD/λ, (18)
где N -число положений луча; φ максимальный угол отклонения луча; D -апертура дефлектора; λ - длина волны.
Важным достоинством электрооптического дефлектора является высокое быстродействие: в устройстве с N=1000 время переключения составляет около 0,1 мкс. При увеличении N и соответственно числа каскадов дефлектора быстродействие ухудшается. Оптимальной является такая конструкция дефлектора, в которой при заданном N обеспечиваются минимальная мощность управления Рупр и минимальное время переключения tпер. Оптимизация достигается фокусировкой лазерного луча, проходящего через дефлектор, и уменьшением паразитной емкости электрооптических кристаллов. Таким образом, качество дефлектора, как и модулятора, можно характеризовать добротностью Dф:
В дефлекторах используются те же материалы, что и в модуляторах. Например, широко применяются кристаллы ниобата лития LiNbO3 и др. Большое количество кристаллов в дефлекторе выдвигает повышенные требования к параметрам исходных материалов и конструкции: требуется высокая прозрачность, а также исключительная точность обработки и монтажа каждого кристалла.
Находят применение в оптоэлектронике также акустооптические дефлекторы
Рис.17. Структурная схема акустооптического дефлектора
1 -активная среда; 2 - пьезоэлектрический преобразователь - возбудитель; 3 - акустический поглотитель; 4 - возбужденная дифракционная решетка.
Принцип действия такого дефлектора основан на том, что при прохождении звуковой волны, создаваемой пьезоэлектрическим преобразователем, в активной среде возникают изменения показателя преломления, соответствующие областям сжатия и разрежения. В результате образуется некоторая решетка, состоящая из областей с разными показателями преломления. Период изменения показателя преломления в решетке равен длине акустической волны, а его амплитуда пропорциональна амплитуде акустической волны и зависит от свойств активной среды. При попадании оптического излучения на такую решетку происходит его дифракция, т. е. изменение положения в пространстве. Управление пространственным положением излучения достигается изменением частоты акустических колебаний и соответствующей перестройкой дифракционной решетки.
Эффективность акустооптического материала определяется отношением доли рассеянного излучения к мощности акустических колебаний. Наиболее перспективны, с этой точки зрения, такие кристаллические материалы, как вульфинит (РЬМоО4), парателлурит (ТеО2), ниобат лития LiNbO3) и некоторые другие.
Очевидно, что перестройка акустооптического дефлектора, т. е. достижение нового состояния дифракционной решетки, происходит лишь тогда, когда акустическая волна новой частоты пройдет через всю активную среду. Этим требованием определяется невысокая для оптоэлектроники (до 106 Гц) граничная частота акустооптических дефлекторов.
Пространственновременные модуляторы (ПВМ).
Различают ПВМ с электрическим и оптическим управлением. Пространственно-временной оптический модулятор, у которого закон изменения во времени пространственного распределения одного из параметров лазерного излучения задается подаваемыми на его входы электрическими сигналами, называется ПВМ с электрическим управлением. Для ПВМ с оптическим управлением изменение параметров лазерного излучения" задается подаваемым на его вход пучком оптического излучения.
Быстродействие ПВМ характеризуется временем релаксации tрел — интервалом времени, в течение которого завершается переходный процесс изменения оптического параметра после подачи управляющего сигнала. Если действие управляющего сигнала прекращается, то происходит восстановление оптических свойств веществ модулятора с той или иной скоростью. Длительность этого процесса характеризуют временем восстановления tвoc. Различают три режима восстановления:
1) режим модуляции, при котором длительности процессов восстановления и релаксации примерно одинаковы tвос = tрел;
2) режим переключения с памятью релаксационного типа-восстановление происходит за время много большее, чем время релаксации tвос > tрел;
3) режим релаксации с долговременной памятью — в этом случае оптические свойства вещества не восстанавливаются: они сохраняются в измененном виде (tвос →∞).
Можно выделить два способа электрического управления пространственно-временными модуляторами.
Первый способ применяют в ПВМ матричного типа: поверхность такого ПВМ разбита на ячейки, к каждой из которых приложено электрическое поле заданной напряженности. Таким образом, напряженность управляющего электрического поля зависит от пространственных координат.
Второй способ состоит в использовании сканирующего по поверхности модулятора электронного луча. Интенсивность электронного луча изменяется во времени по заданному закону управления.
ПВМ с электрическим управлением обычно служат для преобразования электрического сигнала в двумерный оптический сигнал. С помощью ПВМ, например, осуществляются вывод информации и последующая запись ее в оптическом запоминающем устройстве (для ЭВМ с оптическим запоминающим устройством).
ПВМ с оптическим управлением служат для преобразования одних оптических сигналов в другие. Различают два основных способа оптического управления: матричный и проекционный. В первом случае управляющий сигнал в виде импульсов излучения различной амплитуды подают на отдельные элементы матрицы модулятора, изменяя по заданному закону управления оптические свойства элемента. Во втором — управляющий оптический сигнал проецируется в виде заданного изображения на всю поверхнойъ модулятора.
ПВМ с оптическим управлением применяют также для ввода и вывода информации в оптических запоминающих устройствах. Особенно перспективны голографические запоминающие устройства. Они характеризуются высокой надежностью хранения информации, большой информационной емкостью и высоким быстродействием.