1

2

3

4

5

6

7

8

9

Шлаковоз, V = 11-16,5 м3

730/

2190/

-

43800/

32

120

-

800

8

36

120

Периодичность ТО и Р (чис-

Трудоемкость

Оборудование, краткая

литель) и продолжительность

одного ТО и Р,

техническая характеристика

простоя (знаменатель), ч

чел.-ч

ТО

Т1

Т2

К

ТО

Т1

Т2

К

1

2

3

4

5

6

7

8

9

Агрегат холодильный,

730/

2190/

-

26280/

4

10

-

280

Q = 60000-90000 ккал/ч

4

8

62

Автоклав, V = 11 м3,

730/

4380/

-

-

2

40

-

-

P = 2,5 МПа, t = 223°С

2

16

Бак, футерованный кирпичом

730/

8760/

-

70080/

6

48

-

400

АТМ, V = 25 м3

3

8

80

Вакуум-фильтр барабанный

БОК-5, 1, 75, поверхность

730/

9920/

-

35050/

8

32

-

127

фильтра из нержавеющей

4

16

32

стали 5 м2

Гранулятор шлака, Q = 6 т/ч

730/

4380/

-

8760/

4

32

-

240

4

16

80

Декарбонизатор с деревянны-

-

2190/

-

8760/

-

28

-

96

ми насадками, Q = 30 т/ч

16

48

Дистиллятор, Q = 300-500 л/ч

-

4380/

-

26280/

-

16

-

64

16

48

Испаритель жидкого хлора

720/

2920/

-

26280/

6

42

-

192

ДУ-3-82

3

32

144

Кристаллизатор освинцован-

-

2190/

-

26280/

-

32

-

72

ный, V = 3 м3

16

32

Колонна ректификационная,

720/

2920/

-

8760/

8

86

-

250

D = 600 мм, H = 7000 мм

4

40

120

Мешалка стальная гуммиро-

ванная:

V до 3 м3

2190/

8760/

-

26280/

3

20

-

64

3

16

30

1

2

3

4

5

6

7

8

9

V до 12 м3

2190/

8760/

-

26280/

4

24

-

112

4

24

56

Монтежю:

V до 1 м3

-

4380/

-

70080/

-

15

-

72

12

32

V = 10 м3, P = 1 МПа

-

4380/

-

70080/

-

24

-

96

16

48

Нейтрализатор стальной гум-

730/

13140/

-

26280/

8

32

-

320

мированный, V = 18 м3

4

16

80

Нутч-фильтр, V = 5 м3

730/

8760/

-

17520/

2

16

-

160

2

8

40

Охладитель водяной, поверх-

-

8760/

-

26280/

-

16

-

72

ность 4,9 м2, Q = 40 т/ч

16

24

Питатель-накопитель, V = 2 м3

730/

4380/

-

26280/

16

48

-

238

8

16

120

Печь:

с вращающейся ретортой,

730/

2190/

-

26280/

6

48

-

210

D = 250-300 мм

6

16

96

вращающаяся, D = 1,2-2,2 мм,

2190/

8760/

-

26280/

48

480

-

1230

L = 10-29 м

8

144

280

сопротивление, W = 10 кВт

730/

2190/

-

26280/

4

16

-

96

4

8

24

сопротивление ЦЭП-278Б,

486/

4380/

-

26280/

6

36

-

210

W = 50 кВт

6

16

24

спекания ЦЭП-319,

2190/

8760/

-

35040/

6

24

-

180

W = 25 кВт

6

8

24

спекания ЦЭП-300, ЦЭП-301,

2190/

8760/

-

35040/

8

48

-

270

ЦЭП-302, ЦЭП-342,

8

16

24

W = 50-75 кВт

подовая прокалочная,

730/

4380/

-

17520/

10

120

-

300

S пода = 8 м2

8

40

48

подовая прокалочная,

730/

4380/

-

17520/

8

64

-

140

S пода = 2,5 м2

8

16

48

вакуумная электронно-луче-

2190/

8760/

-

26280/

32

80

-

320

вая У-270

16

32

80

вакуумная электронно-луче-

2190/

8760/

-

26280/

32

160

-

460

вая ЕМО-200

16

48

96

циклонная, D = 1200 мм,

730/

8760/

-

17520/

8

160

-

300

Q = 100 т/ч

8

40

128

вертикальная СКБ-5197,

2190/

8760/

-

26280/

16

610

-

980

ОКБ-533, ОКБ-530, ОКБ-533М

8

192

320

ТВВ-4, С-1054, С-1116Б

2920/

8760/

-

26280/

16

77

-

180

8

48

96

1

2

3

4

5

6

7

8

9

плавильная ПВУ-1, Э-35 плаз-

2920/

8760/

-

26280/

16

40

-

96

менная

8

24

48

кипящего слоя КС, Q = 10 т/ч

240/

720/

-

5760/

24

130

-

200

8

48

80

Реактор:

с мешалкой, V = 70 м3

730/

4380/

-

25280/

12

42,5

-

640

12

24

240

стальной эмалированный,

2190/

8760/

-

-

4

24

-

-

V = 3,2 м3

4

8

из нержавеющей стали,

2190/

8760/

-

43800/

4

24

-

120

V = 7 м3

4

16

64

гуммированный, V = 9 м3

2190/

8760/

-

43800/

8

64

-

144

8

32

52

футерованный титаном,

4380/

17520/

-

70080/

8

32

-

64

V = 4 м3

8

32

64

стальной, гуммированный

730/

4380/

25280/

кислотоупорным кирпичом,

-

6

36

-

240

6

18

64

V = 12 м3

гуммированный, V = 15 м3

2190/

8760/

-

43800/

6

120

-

420

6

40

80

гуммированный, V = 25 м3

2190/

8760/

-

43800/

8

180

-

630

8

56

120

гуммированный, футерован-

730/

2190/

-

8760/

4

12

-

220

ный плиткой АТМ, V = 6 м3

4

8

80

гуммированный, футерован-

730/

2190/

-

8760/

4

18

-

320

ный плиткой АТМ, V = 10 м3

4

12

96

с мешалкой, гуммированный,

730/

4320/

-

43800/

12

96

-

480

футерованный, V = 20 м3

8

48

96

известкового молока, V = 10 м3

730/

4380/

-

52560/

4

12

-

96

4

8

32

Репульпатор, V = 30 м3

730/

2190/

-

43800/

6

64

-

320

6

32

80

Сборник гуммированный,

-

8760/

-

52560/

-

128

-

600

V = 50 м3

96

180

Смеситель двухбарабанный,

2190/

4380/

26280/

D внутреннего барабана

-

16

96

-

240

800 мм, наружного 1200 мм

8

32

80

Смеситель эксцентриковый,

2190/

4380/

-

26280/

4

16

-

96

вместимость 500-1000 л

4

8

48

Сгуститель одноярусный,

2190/

8760/

-

43800/

8

96

-

320

D = 3,6 м, H = 1,8 м

8

32

80

Сушилка вакуумная СВЦР-4К

2190/

8760/

-

26280/

12

72

-

320

8

2

80

1

2

3

4

5

6

7

8

9

Теплообменник «Труба в тру-

-

4380/

-

8760/

-

4

-

10

бе» и дефлегматор

4

8

Установка редукционно-охла-

2190/

13140/

-

26280/

8

64

-

144

дительная, Q = 20 т/ч

72

96

144

Фильтр-пресс рамный

1460/

2190/

-

17520/

8

48

-

192

Ф1М5С-820/45К

4

12

24

Фильтр патронный ПА-241Т

730/

2190/

-

26280/

8

56

-

192

4

16

32

Ванна ультразвуковой мойки

1095/

2190/

13140/

26280/

4

8

24

39

УЗВ-15М, УЗВ-17, УЖ-1800

4

8

16

24

Колонка ионоочищенной

1095/

2190/

13140/

26280/

2

3

9

17

воды

2

3

9

17

Машина вытягивания кварце-

730/

2190/

13140/

26280/

вых труб и огневой обработки,

8

13

38

63

D = 200 мм, L = 2000 мм

4

8

16

24

Машина напыления пяти-

2190/

8760/

-

17520/

6

12

-

128

шпиндельная

6

12

96

Печь:

карбида кремния, габариты

1460/

2920/

-

17520/

48

96

-

120

1170×1700×1884 мм

48

96

120

направленной кристаллизации

1095/

2190/

13140/

26280/

9

18

54

90

ОКБ-8053

8

16

24

32

направленной кристаллизации

1095/

2190/

13140/

26280/

3

6

19

31

Э-703

3

6

19

31

диффузии СДО-125

1095/

2190/

13140/

26280/

6

12

38

62

6

12

24

32

восстановления, W = 250 кВт

730/

4380/

-

43800/

6

24

-

128

6

24

120

Пост:

вакуумный С-2061

1095/

2190/

13140/

26280/

4

10

28

47

4

8

16

24

ВУП-2К

1095/

2190/

13140/

26280/

11

24

71

117

4

8

16

24

Пресс для наклейки пластин

1095/

2190/

13140/

26280/

4

8

24

39

4

8

16

24

Система насыщения кислоро-

4380/

17520/

52560/

да парами четыреххлористого

-

19

70

-

105

кремния (расход 24 л/ч)

18

42

72

1

2

3

4

5

6

7

8

9

Станок:

резки кремниевых пластин

730/

13140/

-

26280/

14

42

-

70

типа «Окамото»

8

16

24

резки пластин типа «Алмаз»,

730/

13140/

-

26280/

11

33

-

55

АСН-3Е

8

16

24

резки пластин типов

730/

13140/

-

26280/

8

24

-

39

ЖК-24-05, 1Б183, «Стакс»

8

16

24

резки слитков

4380/

8640/

-

43800/

2

12

-

70

2

4

24

шлифовки кремниевых плас-

1095/

2190/

13140/

26280/

тин типов МШ-259, Ю1-М3,

6

12

35

53

4

8

16

24

Ю1М1, СДП

шлифовки кремниевых плас-

1095/

2190/

13140/

26280/

тин типов В1М3, СПШ, ЖК-

4

8

24

39

4

8

16

24

14-09, М201, ГПП-60, ПЛО72

шлифовки кремниевых плас-

1095/

2190/

13140/

26280/

4

10

28

47

тин типов ХНП, АМ-00, АП-00

4

8

16

24

полировки кремниевых плас-

1095/

2190/

13140/

26280/

7

14

42

71

тин типов САШ-2, САШ-420

4

8

16

24

двухсторонней полировки

1095/

2190/

12140/

26280/

16

34

99

164

типа 15ЖОЗ

4

8

16

24

полировки кремниевых плас-

1095/

2190/

13140/

26280/

13

28

82

136

тин СДП-100

4

8

16

24

Установка:

«Редмет-1», С-1187

1095/

2190/

13140/

26280/

13

28

82

136

8

16

24

32

«Редмет-5»

730/

4380/

-

26280/

6

20

-

128

3

10

48

«Редмет-8М»

1095/

2190/

13140/

26280/

15

32

94

156

8

16

24

32

«Редмет-10», «Редмет-10М»

1095/

2190/

13140/

26280/

21

46

134

222

8

16

24

32

«Редмет-12», С-2404

1095/

2190/

13140/

26280/

25

55

160

265

8

16

24

32

БЗП «Кристалл-Ж»

1460/

4380/

-

26280/

17

40

-

320

7

32

80

БЗП «Кристалл-ЕМ»

1460/

4380/

-

26280/

17

40

-

485

7

32

80

БЗП «Кристалл-ДМ»

1460/

4380/

-

26280/

17

40

-

393

7

32

80

БЗП «Кристалл-706», «Крис-

1095/

2190/

13140/

26280/

15

33

96

160

талл-206»

8

16

24

32

1

2

3

4

5

6

7

8

9

БЗП «Кристалл-501»

1095/

2190/

13140/

26280/

25

55

160

265

8

16

24

32

«Поликристалл-24»

730/

2190/

-

26280/

25

200

-

440

8

40

80

Установка водородного вос-

2190/

30688/

-

61736/

42

134

-

374

становления 30-стержневая

16

24

54

Установка наращивания эпи-

таксиальных слоев:

УНЭС-2ПВ, «Вертикаль»,

1095/

2190/

13140/

26280/

13

28

82

137

С-2280, Э-116, 13И29

8

16

24

32

С-1338, С-2100

1095/

2190/

13140/

26280/

15

32

94

156

8

16

24

32

«Градиент-1,2», С-2130,

1095/

2190/

13140/

26280/

10

22

64

105

«Свет», С-2430, «Хлорид»

8

16

24

32

Установка жидкостной эпи-

1095/

2190/

13140/

26280/

17

37

108

180

таксии С-2637

8

16

24

32

Установка наращивания эпи-

1095/

2190/

13140/

26280/

таксиальных структур УНЭС-

17

37

108

180

2ПК-А

8

16

24

32

Установка ректификации:

с колонкой D = 400 мм

730/

2190/

-

26280/

8

16

-

140

8

16

80

с колонкой D = 200 мм

730/

2190/

-

26280/

8

16

-

120

8

40

80

С-1551

1095/

2190/

13140/

26280/

12

23

68

113

8

16

24

32

Установка наращивания эпи-

таксиальных пленок:

ЭТС, Э-872, Э-903, «Одер»,

1095/

2190/

13140/

26280/

6

13

38

40

Э-733, 13Ж08

8

16

24

32

«Тантал», ТО 8901 (Ю1М1),

1095/

2190/

13140/

26280/

14

31

90

48

«Волга», С2469, «Свет-1»

8

16

24

32

Установка синтеза и направ-

ленной кристаллизации

-

730/

13140/

26280/

-

28

82

137

С-2198, С-1790, С-1660,

16

24

32

С-2285

Установка синтеза и кристал-

1095/

2190/

13140/

26280/

лизации Т-233, Э-711, зонной

13

28

82

137

очистки Э-731

8

16

24

32

Установка направленной

1095/

2190/

13140/

26280/

кристаллизации Э-1018, ПНК,

6

12

38

62

С-597, синтеза ТК-1

8

16

24

32

1

2

3

4

5

6

7

8

9

Установка синтеза С2276

1095/

2190/

13140/

26280/

22

46

134

222

и зонной очистки Э1132

8

16

24

32

Установка синтеза Э-678

1095/

2190/

13140/

26280/

5

10

28

47

2,5

5

24

32

Установка вакуумной тер-

1095/

2190/

13140/

26280/

мообработки С1505, С2061,

11

24

71

117

С1559, С1133

8

16

24

32

Установка отжига образцов

1095/

2190/

13140/

26280/

9

19

54

89

Э-719

8

16

24

32

Установка получения арсенида

1095/

2190/

13140/

26280/

13

28

82

137

галлия, теллура Э-723

8

16

24

32

Установка ректификации

1095/

2190/

13140/

26280/

мышьяка, теллура, кадмия

16

30

9

15

и ртути

2

9

24

32

Установка остекловывания,

730/

4380/

-

26280/

6

20

-

128

W = 100 кВт

3

10

48

Установка термической обра-

730/

4380/

26280/

ботки наплавленных заготовок

-

8

16

-

106

С-2155

8

16

80

Установка непрерывного гид-

730/

2920/

-

26280/

2

4

-

17

ролиза

2

4

16

Установка ионной очистки

730/

2190/

-

26280/

6

16

-

64

и плавки Э-969, Э-1045

6

16

32

Установка выращивания

1095/

2190/

13140/

26280/

6

14

38

62

м/к твердых растворов Э-702

6

14

24

32

Установка пирометрического

1095/

2190/

13140/

26280/

6

14

38

62

осаждения УПО-20

6

14

24

32

Установка получения фосфа-

1095/

2190/

13140/

26280/

10

22

64

106

тов галлия С-1401

8

16

24

32

Установка демеркуризации

1095/

2190/

13140/

26280/

6

14

38

62

6

14

24

32

Установка кристаллической

1095/

2190/

13140/

26280/

13

38

82

137

очистки галлия С2440

8

16

24

32

Установка очистки водорода:

С1530, «Палладий-10»

1095/

2190/

13140/

26280/

9

19

54

89

4

8

16

24

С1862, «Палладий-50»,

1095/

2190/

13140/

26280/

13

28

82

137

V = 50 м3

4

8

16

24

Установка очистки воды:

С1531

1095/

2190/

13140/

26280/

6

14

38

62

4

8

16

24

УФ-400

1095/

2190/

13140/

26280/

3

6

19

31

3

6

16

24