Список литературы

[1] Васильев В. Ю. Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники: учебное пособие / В.Ю. Васильев. – Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2021. – 100 с.

[2] Проектирование и производство изделий электронной техники: пособие/ А. П. Достанко [и др.]. – Минск: БГУИР, 2017. – 80с.

[3] Синопальников, В.А. Надежность и диагностика технологических систем. – Москва: Высшая школа, 2005. – 344с.

[4] Студопелия [Электронный ресурс]. – Электронные данные. – Режим доступа : https://studopedia.ru/.

[5] Вstudy [Электронный ресурс]. – Электронные данные. – Режим доступа : https://bstudy.net//.