книги из ГПНТБ / Лоповок Т.С. Волнистость поверхности и ее измерение
.pdfзоваться определенными номерами гармоник* спектра про филя, или возникнут какие-либо другие предложения по нормированию волнистости,—основой для ее изучения ос танется волиопрамма профиля поверхности. Приборы для за писи волнопрамм (волнографы) должны отвечать тем же метрологическим требованиям (в отношении методов преоб разования информации о реальном профиле, методов пред ставления результатов измерения и т. п.), что и приборы для записи других неровностей поверхности. К ним должны быть предъявлены лишь требования в отношении длин трассиро вания и фильтрации неровностей определенных частот.
В настоящее время имеется достаточно средств ДЛІЯ изме рения волнистости, однако используют их еще недостаточно. Нет четко сформулированной задачи относительно информа ции, которую желательно было бы получить из волнограммы о параметрах волнистости. Более того, не определено, какая волнограмма характеризует волнистость исследуемой по верхности. Так, исходным материалом для определения вол нограммы является «общая» профилограмма, в которой ше роховатость и волнистость находятся в состоянии суперпози ции. Проблема разделения их (как было показано на стр. 53—-78) до сих пор окончательно не решена.
Простейшим методам исключения шероховатости, которым часто пользуются на практике, является проведение плавной онибающей к вершинам неровностей, характеризующих ше роховатость. Огибающую пршодят на .глаз. Эта операция не представляет затруднений только в тех -случаях, когда шеро ховатость регулярна. Для нерегулярной шероховатости мож но провести несколько огибающих, например ./ и 2 на рис. 33, а, при этом высоты и шаги волн будут различны. Оги бающая 2 более детально, чем огибающая /, отражает изме нение вершин неровностей -по высоте.
При нерегулярной шероховатости значительно чаще бу дут иметь место отдельные случайные пики и впадины не ровностей, которые могут серьезно исказить искомую кри вую.
Метод проведения огибающих является одним из методов механической фильтрации волнистости. Другой метод меха нической фильтрации может быть осуществлен путем приме нения щупов больших радиусов. Например, для волнометров применяются щупы радиусами 2,5—10 мм, для системы Е ус тановлен радиус щупов 25 мм.
* См. стр. 73—78.
|
a |
. |
Рис. 33. Профилограммы: |
О — с огибающими / и 2; б, в — с огибающими 3, 5 |
и соедннми линиями 4,6; |
г — записанная с помощью щупа радиусом 0,25 мм; д ~ |
записанная с малым |
горизонтальным увеличением |
с помощью алмазной иглы |
И тот и другой методы фильтрации не дают однозначных решений. Искомые кривые подвержены значительным изме
нениям из-за |
параметров шероховатости, имеющих |
случай |
|
ный |
характер, |
а также из-за дефектов поверхности |
(цара |
пин, |
рисок и |
т. д.) и могут служить только для ориентиро |
вочной характеристики волнистости.
Большую определенность имеют волнограммы профиля, которые характеризуются средними линиями и получены с помощью двухавеніного #С-фильтра по точкам*. Если считать средние линии искомыми кривыми, то сравнение их с огиба ющими к вершинам неровностей (проведенными по типу огибающей / на рис. 33, а), подтверждает оказанное выше. Так, для регулярного профиля наблюдается сходство огиба ющей 3 и средней линии 4, для нерегулярного — в одних слу чаях кривые имеют сходство (рис. 33, б), в других — наблю дается значительное расхождение (рис. 33, в)**.
Во всех |
случаях амплитуда огибающей больше амплиту |
|||
ды средней |
линии, что определяется локально |
выступающи |
||
ми участками профиля. |
|
|
|
|
В настоящее время достаточно приборов, которые можно |
||||
использовать для измерения волнистости |
на больших |
трас |
||
сах (1 м и |
более), однако наиболее приемлемы |
приборы, по |
||
зволяющие |
записывать профилограмму |
на участке |
100— |
|
150 мм. Причем на данном этапе исследования |
волнистости |
для определения вданограмм 'целесообразно применять црюфщютрамімьі, которые записываются без механической фильт
рации, т. е. алмазной иглой, |
с небольшим |
горизонтальным |
|||||
увеличением. |
|
|
|
|
|
|
|
Вызывает |
затруднение |
определение |
волнистости |
на тгро- |
|||
филолрамме |
(рис. 33, г), |
записанной с частичной |
механиче |
||||
ской |
фильтрацией (радиус закругления |
щупа 0,25 мм) на |
|||||
длине |
-100 |
мм с 10-кратным |
горизонтальным |
увеличением и |
|||
вертикальным увеличением в |
5000 раз. Профилограмма, за |
писанная без механической фильтрации на такой же длине с 4-кратны1м горизонтальным и 1000-жратным вертикальным
увеличением (рис. 33, д), позволяет четко выявить |
парамет |
ры волнистости. |
|
О применении электрической фильтрации для |
определе |
ния волнограммы исследуемой поверхности будет оказано ни же.
*См. стр. 73—78.
**Исследования проводились в Московском станкоинструментальном институте. Было проведено сравнение на 16 шлифованных поверхностях.
Волнографы для плоских поверхностей
В о л н о г р а ф ы |
Волнографы |
с 'базированием |
на из |
||
с б а з и р о в а н и е м |
меряемую поверхность |
сконструиро |
|||
на и з м е р я е м у ю |
ваны таким |
образом, |
что профиль, |
||
п о в е р х н о с т ь |
|||||
поверхности |
записывается |
относи |
|||
|
тельно прямолинейной 'базы (лыжи), которая находится ада некотором расстоянии от измерительного наконечника прибо
ра |
(рис. 34). |
Такая |
схема |
измерения |
волнистости |
ана |
|||||||||
логична |
схеме |
измерения |
шероховатости на многих про- |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
филографах, |
выпускае |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
мых |
|
в |
|
настоящее |
вре |
|||
|
|
|
|
|
|
|
мя |
отечественной |
и |
зару |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
бежной |
|
промышленно |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
стью, |
только |
вместо |
сфе |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
рической |
опоры |
(как при |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
измерении |
шероховато |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
сти) |
|
устанавливается пло |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
ская |
качающаяся |
опора |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
(лыжа), |
|
перекрывающая |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
несколько |
волн |
на |
изме |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
ряемой |
поверхности |
3, |
а |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
вместо |
алмазной |
иглы |
— |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
щуп 7 диаметром 2—-4 мм. |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
Линия, |
проходящая |
|
по |
|||||
Рис. |
34. |
Схема |
измерения |
волнисто |
вершинам |
|
волн, |
явля |
|||||||
сти |
с базированием |
на измеряемую |
ется |
|
базовой, относитель |
||||||||||
|
|
поверхность: |
|
|
но |
которой |
колеблется |
||||||||
/ |
— щуп; 2 — база; |
3 — исследуемая |
|
||||||||||||
|
щуп |
|
1. |
Колебания отсчи |
|||||||||||
|
|
поверхность |
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
тывают |
|
по |
измеритель |
|||||
ной головке или записывают |
в виде |
профилограмм. |
|
|
|
Такое приспособление для измерения волнистости было ус тановлено впервые на профилографе конструкции К Л. Аммона, позволяющем проводить измерения на значительной дли не — 125 мм. Из-за сложности конструкции прибор более не изготавливался.
К приборам этой же группы относятся и универсальные контактно-оптические волнографы ИС-32, небольшая серия которых была изготовлена в конце 50-х годов. Приборы были сконструированы и изготовлены в Государственном оптиче ском институте им. С. И. Вавилова (ГОИ).
Прибор ИС-32 предназначен для фотографической реги страции и визуальной оценки шероховатости (класс чистоты 3—12, ГОСТ 2789—59) и волнистости поверхностей на участ-
ках длиной до 40 мм для волн высотой '0,2—200 мкм. Он позволяет измерять волнистость плоскостей, сферических по верхностей, образующих цилиндров. Прибор может быть при менен для измерения отверстий от 7 мм, цилиндров с малыми диаметрами от 0,5 мм, а также может быть использован как накладной прибор для измерения деталей больших размеров.
Волнистость плоских поверхностей В о л н о г р а ф ы измеряют от какого-либо «эталона
с б а з и р о в а н и е м |
прямолинейности», в качестве кото- |
||
на « э т а л о н |
р 0 Г 0 М 0 Г у Т |
быть использованы нема- |
|
п р я м о л и н е и н о с т и » |
1 |
оптическая прямая |
«оп |
г |
териальная |
||
тическая ось»), твердое |
материальное тело или плоские |
на |
правляющие, смонтированные на аэростатических подшипни ках высокой точности.
Оптическая прямая сравнения (базовая «оптическая ось») при измерении больших поверхностей (более 0,5—0,6 м) име ет значительные преимущества перед другими эталонами пря молинейности. Базовые плоские поверхности такой длины весьма трудно изготовить и сохранить неизменными в тече ние длительного периода, а оптическая прямая сравнения не изнашивается и не изменяется во времени.
Для сравнительно коротких поверхностей (до 0,5—0,6 м) успешно применяются в качестве базовых материальные твер дые тела, изготавливаемые из износостойких материалов (ме
талла, |
стекла)*. |
|
|
|
|
|
|
Прецизионные аэростатические направляющие могут обес |
|||||||
печить прямолинейность |
порядка |
0,2 мкм |
на длине |
около |
|||
100 мм, поэтому |
они могут играть |
роль |
базы, от которой ве |
||||
дется измерение |
отклонений от прямолинейности. |
|
|||||
|
|
|
Приборы, |
в |
которых «оптическая |
||
В о л н о г р а ф ы , в к о т о р ы х |
ось» используется в качестве базы |
||||||
в |
к а ч е с т в е б а з ы |
для регистрации |
отклонений от пря- |
||||
|
и с п о л ь з у е т с я |
молинейности, |
предназначены |
в ос- |
|||
« о п т и ч е с к а я о с ь » |
|
' |
г |
|
|
новном для исследования участков поверхности больших протяжений, например для контроля направляющих станков. Физический принцип, лежащий в ос нове конструкции таких приборов, основан на прямолиней ности распространения световых лучей.
Оптическая система, состоящая из объектива и источника света 5 (рис. 35,а), который находится в фокальной плоско сти Е и на главной оптической оси объектива и создающий вследствие этого пучок лучей, параллельных главной оптиче ской* оси, называется коллиматором. Если источник света Si поместить в фокальную плоскость Е на расстоянии а от глав ной оптической оси, то пучок параллельных лучей, встретив
на своем пути зеркало, расположенное под углом 90° к глав
ной оптической оси, отразится от него, пройдет через |
объектив |
|
и сойдется в точке 52 , расположенной симметрично |
точке Si |
|
(рис. 35,6). |
|
|
Оптическая система, состоящая из коллиматора |
и зри |
|
тельной трубы, называется |
автоколлимационной. |
|
В приборах, в которых для контроля прямолинейности при |
||
меняется коллимационный |
или автоколлимационный |
(послед |
ний значительно чаще) принцип, поворот зеркала пропорцио-
F |
J - L |
Рис. 35. Оптические схемы:
а — коллимационная; б — автоколлимационная
нален перемещениям связанного с зеркалом измерительного наконечника, ощупывающего исследуемую поверхность. Пово рот зеркала изменяет направление отраженных лучей и, сле довательно, смещение изображения точки 5, если прибор работает в соответствии со схемой а, или точки Si, если при бор работает в соответствии со схемой б (см. рис. 35). Вели чина смещения пропорциональна в определенных пределах перемещению ощупывающей исследуемую поверхность систе мы и может служить мерой отклонения от прямолинейности
либо |
в линейных |
величинах (миллиметрах, микрометрах), |
либо |
в угловых (угловые секунды). |
|
В конструкциях |
автоколлиматоров за последние годы про |
изошли существенные изменения, связанные главным обра зом с оснащением их устройствами, преобразующими показа ния в электрический сигнал. Это позволяет вывести резуль таты измерения на стрелочный показывающий прибор или на цифровой вольтметр, а также регистрировать отклонения в
форме записи на диаграммной бумаге, т. е. в виде профнло граммы.
В дальнейшем будут рассматриваться только такие опти ческие приборы, в которых предусматривается возможность автоматического фиксирования результатов измерения, по скольку только при этих условиях можно уловить характер ную для волнистости периодичность.
К таким приборам могут быть отнесены пять моделей ав токоллиматоров, выпускаемые английской фирмой Hilger а. Watts [3]. Все они обеспечивают выдачу показаний на стре-
J 4 5
Рис. 36. Принципиальная схема автоколлиматоров типа ТА фирмы Hilger a. Watts (Англия)
лочный отсчетный прибор и имеют на выходе аналоговый сиг нал напряжения, который можно использовать для управле ния цифровым вольтметром, перфоратором, самописцем или серводвигателем. Приборы могут работать в режиме автомати ческого слежения за медленно перемещающимися объектами.
Первые три модели этого типа ТА-80, ТА-81 и ТА-82 име ют относительно небольшие пределы измерения, ограниченные возможностями фотоэлектрической сканирующей системы.
На рис. 36 показана принципиальная схема автоколлима тора этого типа. От источника света 4 через конденсор 5 свет попадает на разделительную пластину 9, затем, проходя через сетку 8 и объектив 7, падает на удаленное зеркало 6, свя занное с ощупывающей системой. Отраженные от зеркала лу чи, дойдя до вибрирующей пластины 10, имеющей прорезь, по падают на фотоэлемент 11, управляющий системой, которая смещает пластину. Электрическое питание осуществляется че рез сеть 12.
Прибор устанавливается обычным путем так, чтобы отра женный от зеркала луч располагался между двумя устано-
Название прибора, страна-изготови тель
Т е х н и ч е с к и е х а р а к т е р и с т и к и п о л н о
|
|
Пределы измеряе |
изме трас |
|
Погрешность |
Метод |
базиро |
мых отклонений, |
Длина ряемой |
ммсы, |
измерения |
вания |
прибора |
мм |
|
||
|
|
|
Оптическая |
На „опти |
± 0 , 4 |
200 |
-1600 |
± 0 , 0 0 1 5 мм |
|
линейка |
|
ческую ось" |
|
|
|
|
ИС-36*, |
СССР |
|
|
|
|
0,0003 мм |
Оптическая |
То же |
± 0 , 1 5 |
До |
800 |
||
|
|
|
|
|||
линейка |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ИС-43М, |
СССР |
|
|
|
|
|
Оптическая |
» |
|
± 0 , 4 |
|||
|
|
|
||||
линейка |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
||
ИС-46, СССР |
|
|
|
|
|
|
Оптическая |
* |
|
± 0 , 4 |
|||
|
|
|
||||
линейка |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
||
ДП 483, СССР |
|
|
|
|
|
|
Профило- |
На |
мате |
|
|
|
|
граф |
модели |
риальную |
|
|
|
|
201**, |
СССР |
базовую по |
|
|
|
|
верхность |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
||
Линейка |
То |
же |
От |
-t 0,02 |
||
ЛИП-3***, |
|
|
до |
± 0 , 2 |
||
СССР |
|
|
|
|
|
|
Линейка |
|
|
От |
± 0 , 0 2 |
||
|
|
до |
± 0 , 1 |
|||
УИП-5, СССР |
|
|
||||
|
|
|
|
|
||
Пневматичес |
На |
аэро |
± 4 (со щупом |
|||
кий прибор |
статические |
длиной |
50 мм] |
|||
БВ-6065, СССР |
направляю |
± 8 (со |
щупом |
|||
|
|
щие |
|
длиной |
150 мм] |
До 3000 |
± 0 , 0 0 2 мм |
До 4000 |
+ 0,003 мм |
400,0005 мм (вноси мая приспособле нием)
До |
910 |
От ± 0 , 0 0 4 мм |
|
|
(при |
увеличении |
|
||
|
|
500х ) |
|
|
|
|
до ± 0 , 0 0 0 7 5 мм |
1 |
|
|
|
(при |
увеличении |
|
|
|
5000х ) |
|
|
До |
700 |
От |
± 0 , 0 0 2 мм |
|
|
|
(при |
увеличении |
|
|
|
1000х ) |
|
|
|
|
до ± 0 , 0 0 0 7 5 мм |
|
|
|
|
(при |
увеличении |
|
|
|
5000х ) |
|
|
До |
И 0 |
|
0,0002 мм |
|
|
|
|
Автоколлима |
На .опти |
± 1 0 " |
До 9000 Не более 2% на |
|
всей длине изме |
||
тор ТА-80, Ан ческую ось* |
|
рения |
глия
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а |
8 |
|
г р а ф о в д л я п л о с к и х п о в е р х н о с т е й |
|
|
прибоМасса К.Гра, |
|
||||
Вертикальное |
Горизонталь увеличеное кратние, |
Максимальная деленияцена |
Скорость сра |
|
|
|
||
|
|
батывания в |
Габаритные |
размеры |
|
|
||
увеличение, |
|
|
режиме сколь |
прибора, |
мм |
|
|
|
крат |
|
|
жения |
|
|
|
|
|
1000 |
1 |
|
|
Длина 1280 |
Линейки |
|||
|
|
|
|
|
Диаметр трубы 118 |
—24 |
' |
|
|
|
|
|
|
|
|
Каретки |
|
2000 |
|
|
|
|
|
- 1 , 2 |
|
|
|
|
|
|
|
7 |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
25 |
|
|
|
|
|
|
|
|
36 |
|
1000-40000 |
2 - 400 |
|
|
Стойка 500Х290Х |
80 |
|
||
|
|
|
|
|
Х525 |
|
|
|
|
|
|
|
|
Записывающий |
|
|
|
|
|
|
|
|
прибор 325Х215Х |
|
|
|
|
|
|
|
|
Х І 8 5 ; электричес |
|
|
|
|
|
|
|
|
кий блок |
|
|
|
|
|
|
|
|
246X466X430 |
|
|
|
500; 1000; |
0 , 5 - 0 , 1 |
|
|
|
|
6,6 |
|
|
2000; 5000 |
|
|
|
|
|
|
|
|
1000; 2000; |
0 , 5 - 0 , 1 |
|
|
|
|
4,9 |
|
|
5000 |
|
|
|
|
|
|
|
|
5000(со |
щупом |
0,25 - 10 |
|
|
|
|
ПО |
|
длиной |
150 мм), |
|
|
|
|
|
|
|
10000 (со щу |
|
|
|
|
|
|
|
|
пом длиной |
|
|
|
|
|
|
|
|
50 мм) |
|
|
0,5" |
3" за 0,1 |
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
Название прибора, |
Метод |
бази |
Пределы |
Длина из |
|
страна-изготови |
ровании |
при |
измеряемых |
меряемой |
Погрешность |
тель |
бора |
отклонении, мм |
трассы, мм |
измерения |
Автоколли |
На „опти |
± 2 0 " |
До |
6000 |
Не более |
2 % |
матор |
ческую ось" |
|
|
|
на всей длине из |
|
TA-S1, |
|
|
|
|
мерения |
|
Англия |
|
|
|
|
|
|
Автоколли |
|
+ 100" |
Д о |
1800 |
* |
|
матор |
|
|
|
|
|
|
TA-S2, |
|
|
|
|
|
|
Англия |
|
|
|
|
|
|
Автоколли- |
|
± 1 0 " |
До |
9С00 |
Не более |
± 2 " |
•матор |
|
|
|
|
на всей длине из |
|
ТА-57, |
|
|
|
|
мерения |
|
Англия |
|
|
|
|
|
|
Автоколли |
|
± 5 " |
До |
90 00 |
Не более |
± 1 " |
матор |
|
|
|
|
на всей длине из |
|
TA-5S, |
|
|
|
|
мерения |
|
Англия |
|
|
|
|
|
|
* Максимальное расстояние между опорами 1830 мм, минималь-
**Данные приведены только дли измерения волнистости.
***Скорость движения ползуна (бесступенчатая регулировка)
вочнымн штрихами, рассматриваемыми в окуляр. Если изобра жение луча сместится и прорезь на пластине будет вибриро вать несимметрично относительно изображения, то выходной сигнал от фотоэлемента, переданный на дискриминатор I , бу дет содержать переменную составляющую, зависящую от ве личины смещения изображения. Сигнал усиливается усилите лем 3 и подается в катушку электромагнитного вибратора,
сообщающую колебания пластине с прорезью. Положение пла |
|
стины меняется до тех пор, пока прорезь не будет расположе |
|
на симметрично относительно отраженного изображения, сме |
|
щаемого в результате поворота зеркала. |
Ток, необходимый |
для смещения пластины, измеряется с помощью стрелочного |
|
прибора 2. Шкала прибора отградуирована |
в угловых секун |
дах. Погрешность отсчета по шкале прибора лежит в преде лах 2% от всего диапазона измерения. Прибор имеет выход
Продолжение
|
О |
га |
з: |
|
|
|
|
|
о |
|
|
Горизонталь! увеличение, крат |
Максималы |
деленіцена |
|
|
|
|
|
кгра. |
|
Вертикальное |
Скорость |
|
Габаритные размеры |
прибМасса |
||||||
увеличение, |
|
|
|
срабатывания |
|
|
|
|||
крат |
|
|
|
в |
режиме |
|
прибора, мм |
|
|
|
|
|
|
|
скольжения |
|
|
|
|
||
— |
— |
1,0" |
6" |
з а |
0,1 |
С |
— |
|
— |
|
— |
— |
5,0" |
30" |
з а |
0,1 |
с |
— |
|
— |
|
— |
— |
0,1" |
30" |
з а |
1 с |
|
— |
|
— |
|
— |
— |
0,1" |
15" |
з а |
1 с |
|
|
|
|
ное 800 мм.
0,15—0,8 м/мин.
для присоединения цифрового вольтметра, самописца и других устройств.
Модели ТА-57 и ТА-58 имеют вспомогательный серводви гатель, с помощью которого осуществляется «поиск» отражен ного луча, что позволяет значительно расширить пределы из мерения. Технические характеристики приборов приведены в табл. 8.
К данной группе приборов относится также двухлучевой автоматический автоколлиматор с фотоэлектрическим отсче том, выпускаемый фирмой Kollmorgen Corp. (США). Прибор позволяет одновременно измерять отклонения по двум осям с точностью выше 0,5". Результаты измерений поступают в самописец. Автоколлиматор, схема которого представлена на рис. 37, может быть также использован для автоматического
слежения за перемещающимся объектом. Измерение и запись полностью автоматизированы.
Основным элементом прибора является самоцентрирую щая оптическая система, с помощью которой отклонение пре образуется в два сигнала (соответственно по двум осям, рас положенным под углом 90°). Под действием этих сигналов срабатывают сервомеханизмы, смещающие оптические линзы, направляющие луч света во входное окно фотоумножителя.
Сигнал от сипобого усилителя
Сигнал н самописцу
Сигнал к самописцу
Сигнал от силоВого усилителя
,. Сигнал Ц-*- к ушпителю
переменного
тока Сигнал к dsмодуляторд Сигнал к де модулятору
Рис. 37. Схема двухлучевого автоколлнматора фирмы Kollmorgen Corp. (США)
Используемая в приборе оптическая система имеет враща ющуюся пластину — элемент, служащий для определения на правления отклонения.
Луч света направляется на зеркало 1, помещенное на про веряемой поверхности. Отраженный луч (траектория хода лу ча обозначена цифрой 3) проходит через объектив 2 и призма тическую зеркальную систему 19 к сферическому зеркалу 4.
Луч, отражаясь от зеркала, проходит через разделитель ную призму 5 и две отклоняющие линзы 6 (каждая для соот ветствующей оси), вращающуюся пластину 7, плоскость кото рой расположена под углом к оси вращения, и, пройдя через круглую диафрагму 17, попадает на фотоумножитель 15. Тра-