Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Малобазные тензодатчики сопротивления

..pdf
Скачиваний:
5
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
8.18 Mб
Скачать

ГОю

2Я

е

Фрншен

Конструктивные параметры решетки в мм

X

з*

Конструктивное исполнение

а

 

н

пз

о

со

о

а

с

а

а

а

н

из

MFS120-1

 

MFS120-2

 

MFS120-4

 

MFS120-5

 

 

х

 

 

3

 

сх

s b

 

к с

 

•О

 

 

а

 

 

а

 

 

а

 

° s

a

 

a

 

Xa

 

2,5

 

5,0

 

10,0

 

12,5

Продолжение табл. 6

a

 

a

 

a

 

a

 

<u

H

 

4

 

о

 

a

 

>.

 

 

3*

 

н

 

a

о

 

о

х

о.

 

СО

с

 

я

 

о

 

а>

 

о

 

н

 

О)

 

а

 

о

 

 

a

 

к

J3

 

= к

ч

 

=*н

a

a

 

a

 

 

a о

 

 

• & о

а

2 *

f l

я

н

О

<=>

a

X

я

 

£

120

2—2,15

Константан

120

2—2,15

То же

120

2—2,15

»

120

2—2,15

 

MFS120-4.3

4.0

3,0

6,0

120

2—2,15

Константан

MFS600-5,l/5

5.0

1,5

7,5

600

2—2,15

То же

120

-

Эпоксидная смола

Киова

Дэнгио

KF-1-C3

2.1

Эпоксидная смола

KF-2-C3

2.1

То же

П р и м е ч а н и е .

Тензодатчики типа FAB-12-12

выпускаются также в

виде

прямоугольных

двухэлементной FABX-12-12

и трехэлементной FABR-12-12 розеток.

 

 

веерной

розетки

C X -F1X 1M31-R3C с базой

I фТ^зодатчики типа CX-F1X1M25 выпускаются также в виде трехэлементной

Тензодатчики типа

KF-1-C2

выпускаются также

в виде трехэлементной

веерной

розетки

KF-1-D4 двух

модификаций

с несколько отличной шириной решетки.

виде прямоугольных двухэлементных KF-2-D1 и KF-2-D2,

прямоуголь­

Тензодатчики типа

KF-2-C2

выпускаются также в

ной трехэлементной KF-2-D3 и двух модификаций трехэлементной веерной KF-2-D4 розеток с несколько отличной шириной решетки.

нихромовой фольги 1 толщиной 3 мкм на временной подложке из нитролака ХСЛ или ХС. Тензодатчики наклеивают цементом Ц-7-165-32 *.

Как показала практика, нихромовые тензодатчики применимы для измерения динамических деформаций в интервале температур от 1073 до 1173° К (от 800 до 900° С). Возможность применения подобных тензодатчиков в иных температурных интервалах пока что остается не ясной, так как установлено, что при некоторых температурах [например, при 723—823° К (450—550° С)] наблю­ дается температурная аномалия сопротивления. Применение тен­ зодатчиков для измерения статических деформаций ограничи­ вается их большой температурной чувствительностью.

Для измерения деформаций при температуре свыше 773° К (500° С) малобазные тензодатчики (1д = 5,0 мм) можно изготав­ ливать из сплава 0Х21Ю5ФМ с закреплением его на поверхности основного материала цементами жаростойких окислов (напри­ мер, А120 3) методом газопламенного распыления [20]. Коэффи­ циент тенечувствительности подобных тензодатчиков составляет Sd — 2,50 при комнатной температуре и снижается на 10% при 873° К (600° С) при максимальном разбросе в партии ±5% .

Зарубежные тензодатчики

Малобазные фольговые тензодатчики широкой номенклатуры выпускаются фирмами Болдуин-Лайма-Гамильтон, Телек, Киова Дэнгио и др. (табл. 6).

Решетка тензодатчиков изготовляется из константановой или нихромовой фольги; подложка — из бумаги, бакелитовой или эпоксидной смолы. Высокотемпературные тензодатчики фирмы Татнал выпускаются на цементе Н.

Тензодатчики некоторых фирм имеют ряд особенностей в кон­ структивном исполнении. Так, тензодатчики фирмы Болдуин- Лайма-Гамильтон типа FAH и FNH имеют выступающие с под­ ложки удлиненные концы петель. Тензодатчики фирмы Татнал изготовляются со специальными боковыми полосками, что способ­ ствует увеличению их боковой устойчивости.

Сообщаемый поставщиками разброс сопротивлений тензодат­ чиков внутри партии не превышает ±0,5%, разброс между пар­ тиями в зависимости от типа тензодатчиков составляет от 3 до 15%.1

1 Тензодатчики из нихромовой фольги обладают двумя существенными преимуществами по сравнению с тензодатчиками из константановой фольги. Вопервых, сопротивление нихромовых тензодатчиков в 2—3 раза больше, чем константановых тех же геометрических размеров. Во-вторых, нихромовые тензодат­ чики применимы для измерения деформации при более высоких температурах [до 1073° К (800°С) при динамических деформациях]. Однако технологические трудности, связанные с изготовлением нихромовых тензодатчиков и прокаткой для них фольги, в значительной степени сдерживают их широкое внедрение.

* Для наклейки тензодатчиков можно применять также цемент Ц-7-165-32А, являющийся модификацией цемента Ц-7-165-32.

ствительности к продольной равно 0,9. Ползучесть тензодатчиков при комнатной температуре не превышает 0,1%. Тензодатчики наклеивают лаком ВЛ-931.

Тензодатчики применимы для измерения относительной дефор­ мации в пределе ±6*10"3 при рабочей температуре от 233 до 353° К (от —40 до +80° С). Учитывая, что температурная чувстви­ тельность висмутовых тензодатчиков велика, последние наиболее рационально применять при измерении динамических деформаций в безусилительных схемах.

Г е р м а н и е в ы е т е н з о д а т ч и к и изготовляют из гер­ мания ГЭЛС 2/0,5 с проводимостью /г-типа и удельным сопротив­ лением 0,02 омм с базой до 3 мм и сопротивлением 100—200 ом. Подложкой тензодатчика может служить пластинка из слюды «Мусковит», керамика или алюминиевая фольга с глубоко окси­ дированной поверхностью.

Коэффициент тензочувствительности датчиков зависит от тех­ нологических режимов изготовления, параметров решетки и мате­ риала подложки. Продольный коэффициент тензочувствительности для датчиков на слюдяной и керамической подложке соответ­ ственно равен 50 и 90. Поперечный коэффициент тензочувстви­ тельности всегда имеет отрицательное значение.

Тензодатчики наклеивают ацетоно-целлулоидным клеем или клеем БФ-4.

6. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ТЕНЗОДАТЧИКИ

Со времени создания первых образцов полупроводниковых тензодатчиков промышленного типа1 прошло лишь несколько лет. Поэтому их типаж, номенклатура и технология изготовления, особенно для малых баз, непрерывно совершенствуются.

Отечественные тензодатчики

В настоящее время производство малобазных полупроводни­ ковых монокристаллических тензодатчиков освоено лишь отдель­ ными организациями.

Московским энергетическим институтом разработаны тензо­ датчики из германия п-типа [13]. База этих тензодатчиков со­ ставляет около 3,5 мм, сопротивление — 350—400 ом. Коэффи­ циент продольной тензочувствительности датчиков достигает 100 с разбросом ±5% . Наклейку тензодатчиков рекомендуется про­ изводить клеем БФ-2.

1 Первые сведения о малобазных полупроводниковых тензодатчиках (теле­ метрах), не нашедших распространения в практике, относятся к 1937 г. Тензодат­ чик представлял собой бумажную полоску с угольным покрытием; база тензодат­ чика составляла 1,6 мм, сопротивление 5—40 ком.

Институтом полупроводников АН СССР и Новосибирским 1* электротехническим институтом разработаны кремниевые тензо­

датчики п-

и p-типа с базой

5 мм и сопротивлением от 100

до 400 ом

[43]. Коэффициент

тензочувствительности подобных

тензодатчиков в зависимости от ориентации продольной оси нити

относительно

кристаллографических направлений составляет

около Sd ^

(100 4-120). Наклейку тензодатчиков рекомендуется

производить лаком ВЛ-931.

Тензодатчики типа нэтистор, изготовляемые серийно (табл. 8), предназначены для измерения деформаций до 1-10"3 в диапазоне температур от 123 (—150) до 573° К (300° С). Исходным материа­ лом для тензодатчиков служит кремний с удельным сопротивле­ нием (0,040—0,045) • 10-2 омм. Прямое и обратное сопротивление

тензодатчика отличаются не более чем на

1%

от номиналь­

ного значения в диапазоне температур от 223

(—50) до 333° К

(60° С). Предельная относительная деформация

не превышает

3 • 10~3. Коэффициент тензочувствительности при 293° К (20° С) ±5° и относительной деформации 1 *10-3 составляет 100 ± 20.

 

 

 

 

 

Таблица 8

Малобазные полупроводниковые тензодатчики типа нэтистор

 

Конструктивные

Номиналь­

Ориента­

 

 

параметры в мм

Тип про­

Тип тензодатчика

 

 

ное со-

ция оси

База

Габаритные

противле­

тензо­

водимости

 

ние в ом

датчика

 

 

‘в

размеры

 

 

 

 

 

 

 

 

КТД-1М

3,00

3,00X0,03

110 ± 5

< п i >

р

КТД-2М

3,00

3,00X0,03

220± 10

< П 1 >

р

КТЭ-1М

3,00

3,00X0,03

90± 5

< ю о >

п

КТЭ-2М

3,00

3,00X0,03

180± 10

< ю о >

п

Температурный коэффициент тензочувствительности не пре­ вышает 0 , 2 5 для тензодатчиков p-типа и 0,7 для тензо­

датчиков л-типа. Номинальная мощность рассеяния для тензо­ датчиков, наклеенных на металл, не превышает 25 мет.

Тензодатчики выпускаются партиями с разбросом сопротив­ ления в партии не более ±1% и коэффициента тензочувствитель­ ности ±5% .

1 Полупроводниковые тензодатчики Новосибирского электротехнического института, известные под названием нэтистор, разработаны Городецким А. Ф., Шадриным В. С., Морозовой Г. Г. совместно с Маховым Ю. П., Помытовым М. Л.» Норкиным Г. П. и др.

Зарубежные малобазные полупроводниковые тензодатчики

 

 

 

 

 

0)

н

 

 

 

 

 

Конструктивные

о •

X • Я

 

 

 

 

о

х о

а> (- н

 

 

 

 

параметры в мм

л Ч

я о w

х

ч

 

 

со

сч S о

Ef И 2

Фирма

 

К со

 

X >»*

О СО« о

X

 

Н tt

 

I о я

« н е

Cfl

So.

 

 

Н X

 

 

х £

•e-s £

S с 2 KS

O.H

 

 

С £

База

Габаритные

S o *

^ « а>

Я и

Sjjj

 

 

 

 

размеры

g х н

X *

 

 

 

 

 

* В «

 

 

 

 

MS301-120

1,27

1,57X3,81

120

ПО

2194-355

Кремний

 

 

MS311-120

1,27

 

120

 

(-544 -82)

To же

 

 

0,15X2,03

п о

774-616

 

 

MS102-120

4,06

6,35X12,70

120

120

(-1964-343)

 

 

 

2194-355

 

 

 

MSI 12-120

4,06

0,51X6,35

120

120

(-544 -82)

 

 

 

774-616

 

 

 

MS 132-120

4,06

3,18X12,70

120

 

(— 1964-343)

 

 

 

120

2194-355

 

 

 

MS202-120

4,06

6,35X12,70

120

— 100

(-544 -82)

 

 

 

2194-355

 

 

 

MS212-120

4,06

0,51X6,35

120

— 100

(-544 -82)

 

а

 

774-616

 

 

 

 

 

 

 

(— 1964-343)

 

£ов

 

MS232-120

4,06

3,18X12,70

120

— 100

 

 

2194-355

 

S

 

 

 

 

 

 

(—544-82)

 

а

 

MS302-350

4,06

6,35X12,70

350

120

2194-355

 

о

 

 

о.

 

 

 

 

 

(—544-82)

 

к

 

MS312-350

4,06

0,15X6,35

350

120

774-616

 

ЭХ

 

аз

 

 

 

 

 

 

(— 1964-343)

 

§

 

MS332-350

4,06

3,18X12,70

350

120

 

 

 

2194-355

 

 

 

MS402-350

4,06

6,35X12,70

350

— 100

(—544-82)

 

 

 

2194-355

 

 

 

MS412-350

4,06

0,15X6,35

350

- 1 0 0

(—544-82)

 

 

 

774-616

 

 

 

MS432-350

4,06

3,18X12,70

350

— 100

(-1964-343)

 

 

 

2194-355

 

 

 

MS612-120

4,06

1,05X6,35

120

 

(-544 -82)

 

 

 

ПО

774-478

 

 

 

MS612-350

4,06

1,00X6,35

350

120

(— 1964-205)

 

 

 

774-478

 

 

 

MS942-350-12

4,06

6,35X12,70

350

250

(— 1964-205)

 

 

 

2194-344

 

Н а

 

 

 

 

 

(—544-71)

 

 

 

 

 

 

 

 

*

«

 

 

 

 

 

 

 

СО

£

DB-107

2,54

Полная

250

140

454 (181)

Кремний

5

н

2

 

 

длина 12,7

 

 

 

 

«Q со

 

 

 

 

 

 

Х ея

>»х Ч X

2 ^ е о

В °

я о. Н с

Р

Р

Р

Р

Р

п

п

11

р

р

р

п

п

п

р

р

з §

KGN-3.5-E2

3,50

2,00X3,50

120

— 100i

Германий

§ fe KGN-3,5-El

3,50

3,00X8,00

120

- 1 0 0 I

To же

■К А

KSN-3,5-El

3,50

3,00X8,00

120

— 801

Кремний

 

KSP-3.5-E1

3,50

3,00X8,00

120

1301

То же

П р и м е ч а н и е .

Тензодатчик типа

MS942-350-12 термокомпенсирован

при наклейке на алюминиевые сплавы.

 

Тензодатчик типа

KGN43.5-E2 выпускается с решетчатой формой чувстви­

тельного элемента без подложки.

типа KGN-3.5-E1; KSN-3.5-E1;

Чувствительный

элемент тензодатчиков

KSP-3.5-E1 изготавливается в виде одиночной нити.

ИЗГОТОВЛЕНИЕ МАЛОБАЗНЫХ ТЕНЗОДАТЧИКОВ

Большое разнообразие типов малобазных тензодатчиков при­ вело к большому разнообразию технологических схем их изго­ товления, которые подчас даже затруднительно классифициро­ вать. В настоящей главе приведены лишь те технологические схемы изготовления тензодатчиков, которые нашли наибольшее применение. Как правило, рассматриваются технологические схемы, применяющиеся в отечественной практике тензометрии. Исключение составляет лишь несколько схем, предложенных за рубежом и носящих оригинальный характер.

Учитывая, что такая операция технологического процесса, как крепление выводных проводников и последующее нанесение защитного покрытия, является общей при изготовлении различ­ ных типов тензодатчиков, описание ее вынесено в самостоятель­ ный раздел. Поэтому в разделах, связанных с описанием изготов­ ления тензодатчиков в соответствии с ранее принятой классифи­ кацией, рассматривается по существу лишь формирование чув­ ствительных элементов (решеток) тензодатчиков.

1.ИЗГОТОВЛЕНИЕ ПРОВОЛОЧНЫХ ТЕНЗОДАТЧИКОВ

СПЛОСКОЙ РЕШЕТКОЙ

М а л о б а з н ы е п р о в о л о ч н ы е т е н з о д а т ч и к и

с п е т л е в о й р е ш е т к о й

изготовляют при ручной или

полуавтоматической намотке [46,

57] и др.

При ручной намотке тензодатчиков проволочную решетку укладывают на основу вручную, а намотку осуществляют на ко­ лодках, имеющих разнообразное конструктивное исполнение.

При полуавтоматической намотке решетка тензодатчика укла­ дывается автоматически, иголки же, огибаемые проволокой, опу­ скаются вручную при помощи специально установленных рычагов или других приспособлений. Для полуавтоматической намотки тензодатчиков наиболее широко применяют станки с поворотным столиком конструкции ЦНИИТМАШ [46, 57].

Как показали Д. Т. Анкудинов и О. Н. Михайлов [3], станки с поворотным столиком можно применять также и для изготовле-