книги / Малобазные тензодатчики сопротивления
..pdfГОю
2Я
е
Фрншен
Конструктивные параметры решетки в мм
X
з* |
Конструктивное исполнение |
а |
|
н
пз
о
со
о |
а |
|
с |
||
а |
||
а |
а |
|
н |
из |
|
MFS120-1 |
|
|
MFS120-2 |
|
|
MFS120-4 |
|
|
MFS120-5 |
|
|
х |
|
|
3 |
|
сх |
s b |
|
к с |
|
|
•О |
|
|
а |
|
|
а |
|
|
а |
|
° s |
a |
|
|
a |
|
Xa |
|
— |
2,5 |
|
— |
5,0 |
|
— |
10,0 |
|
— |
12,5 |
Продолжение табл. 6
a |
|
a |
|
a |
|
a |
|
<u |
H |
|
|
4 |
|
о |
|
a |
|
>. |
|
|
3* |
|
|
н |
|
a |
|
о |
|
о |
х |
о. |
|
СО |
|
с |
|
я |
|
о |
|
а> |
|
о |
|
н |
|
О) |
|
а |
|
о |
|
|
|
a |
|
к |
|
J3 |
|
= к |
|
ч |
|
=*н |
a |
a |
|
a |
|
|
|
a о |
|
|
|
• & о |
а |
2 * |
f l |
я |
|
н |
|||
О |
<=> |
a |
|
X |
я |
|
£ |
120 |
2—2,15 |
Константан |
|
120 |
2—2,15 |
То же |
|
120 |
2—2,15 |
» |
|
120 |
2—2,15 |
|
MFS120-4.3 |
4.0 |
3,0 |
— |
6,0 |
120 |
2—2,15 |
Константан |
MFS600-5,l/5 |
5.0 |
1,5 |
— |
7,5 |
600 |
2—2,15 |
То же |
120 |
- |
Эпоксидная смола |
Киова
Дэнгио
KF-1-C3 |
2.1 |
— |
Эпоксидная смола |
KF-2-C3 |
2.1 |
— |
То же |
П р и м е ч а н и е . |
Тензодатчики типа FAB-12-12 |
выпускаются также в |
виде |
прямоугольных |
двухэлементной FABX-12-12 |
|||
и трехэлементной FABR-12-12 розеток. |
|
|
веерной |
розетки |
C X -F1X 1M31-R3C с базой |
|||
I фТ^зодатчики типа CX-F1X1M25 выпускаются также в виде трехэлементной |
||||||||
Тензодатчики типа |
KF-1-C2 |
выпускаются также |
в виде трехэлементной |
веерной |
розетки |
KF-1-D4 двух |
модификаций |
|
с несколько отличной шириной решетки. |
виде прямоугольных двухэлементных KF-2-D1 и KF-2-D2, |
прямоуголь |
||||||
Тензодатчики типа |
KF-2-C2 |
выпускаются также в |
ной трехэлементной KF-2-D3 и двух модификаций трехэлементной веерной KF-2-D4 розеток с несколько отличной шириной решетки.
нихромовой фольги 1 толщиной 3 мкм на временной подложке из нитролака ХСЛ или ХС. Тензодатчики наклеивают цементом Ц-7-165-32 *.
Как показала практика, нихромовые тензодатчики применимы для измерения динамических деформаций в интервале температур от 1073 до 1173° К (от 800 до 900° С). Возможность применения подобных тензодатчиков в иных температурных интервалах пока что остается не ясной, так как установлено, что при некоторых температурах [например, при 723—823° К (450—550° С)] наблю дается температурная аномалия сопротивления. Применение тен зодатчиков для измерения статических деформаций ограничи вается их большой температурной чувствительностью.
Для измерения деформаций при температуре свыше 773° К (500° С) малобазные тензодатчики (1д = 5,0 мм) можно изготав ливать из сплава 0Х21Ю5ФМ с закреплением его на поверхности основного материала цементами жаростойких окислов (напри мер, А120 3) методом газопламенного распыления [20]. Коэффи циент тенечувствительности подобных тензодатчиков составляет Sd — 2,50 при комнатной температуре и снижается на 10% при 873° К (600° С) при максимальном разбросе в партии ±5% .
Зарубежные тензодатчики
Малобазные фольговые тензодатчики широкой номенклатуры выпускаются фирмами Болдуин-Лайма-Гамильтон, Телек, Киова Дэнгио и др. (табл. 6).
Решетка тензодатчиков изготовляется из константановой или нихромовой фольги; подложка — из бумаги, бакелитовой или эпоксидной смолы. Высокотемпературные тензодатчики фирмы Татнал выпускаются на цементе Н.
Тензодатчики некоторых фирм имеют ряд особенностей в кон структивном исполнении. Так, тензодатчики фирмы Болдуин- Лайма-Гамильтон типа FAH и FNH имеют выступающие с под ложки удлиненные концы петель. Тензодатчики фирмы Татнал изготовляются со специальными боковыми полосками, что способ ствует увеличению их боковой устойчивости.
Сообщаемый поставщиками разброс сопротивлений тензодат чиков внутри партии не превышает ±0,5%, разброс между пар тиями в зависимости от типа тензодатчиков составляет от 3 до 15%.1
1 Тензодатчики из нихромовой фольги обладают двумя существенными преимуществами по сравнению с тензодатчиками из константановой фольги. Вопервых, сопротивление нихромовых тензодатчиков в 2—3 раза больше, чем константановых тех же геометрических размеров. Во-вторых, нихромовые тензодат чики применимы для измерения деформации при более высоких температурах [до 1073° К (800°С) при динамических деформациях]. Однако технологические трудности, связанные с изготовлением нихромовых тензодатчиков и прокаткой для них фольги, в значительной степени сдерживают их широкое внедрение.
* Для наклейки тензодатчиков можно применять также цемент Ц-7-165-32А, являющийся модификацией цемента Ц-7-165-32.
ствительности к продольной равно 0,9. Ползучесть тензодатчиков при комнатной температуре не превышает 0,1%. Тензодатчики наклеивают лаком ВЛ-931.
Тензодатчики применимы для измерения относительной дефор мации в пределе ±6*10"3 при рабочей температуре от 233 до 353° К (от —40 до +80° С). Учитывая, что температурная чувстви тельность висмутовых тензодатчиков велика, последние наиболее рационально применять при измерении динамических деформаций в безусилительных схемах.
Г е р м а н и е в ы е т е н з о д а т ч и к и изготовляют из гер мания ГЭЛС 2/0,5 с проводимостью /г-типа и удельным сопротив лением 0,02 омм с базой до 3 мм и сопротивлением 100—200 ом. Подложкой тензодатчика может служить пластинка из слюды «Мусковит», керамика или алюминиевая фольга с глубоко окси дированной поверхностью.
Коэффициент тензочувствительности датчиков зависит от тех нологических режимов изготовления, параметров решетки и мате риала подложки. Продольный коэффициент тензочувствительности для датчиков на слюдяной и керамической подложке соответ ственно равен 50 и 90. Поперечный коэффициент тензочувстви тельности всегда имеет отрицательное значение.
Тензодатчики наклеивают ацетоно-целлулоидным клеем или клеем БФ-4.
6. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ТЕНЗОДАТЧИКИ
Со времени создания первых образцов полупроводниковых тензодатчиков промышленного типа1 прошло лишь несколько лет. Поэтому их типаж, номенклатура и технология изготовления, особенно для малых баз, непрерывно совершенствуются.
Отечественные тензодатчики
В настоящее время производство малобазных полупроводни ковых монокристаллических тензодатчиков освоено лишь отдель ными организациями.
Московским энергетическим институтом разработаны тензо датчики из германия п-типа [13]. База этих тензодатчиков со ставляет около 3,5 мм, сопротивление — 350—400 ом. Коэффи циент продольной тензочувствительности датчиков достигает 100 с разбросом ±5% . Наклейку тензодатчиков рекомендуется про изводить клеем БФ-2.
1 Первые сведения о малобазных полупроводниковых тензодатчиках (теле метрах), не нашедших распространения в практике, относятся к 1937 г. Тензодат чик представлял собой бумажную полоску с угольным покрытием; база тензодат чика составляла 1,6 мм, сопротивление 5—40 ком.
Институтом полупроводников АН СССР и Новосибирским 1* электротехническим институтом разработаны кремниевые тензо
датчики п- |
и p-типа с базой |
5 мм и сопротивлением от 100 |
до 400 ом |
[43]. Коэффициент |
тензочувствительности подобных |
тензодатчиков в зависимости от ориентации продольной оси нити
относительно |
кристаллографических направлений составляет |
около Sd ^ |
(100 4-120). Наклейку тензодатчиков рекомендуется |
производить лаком ВЛ-931. |
Тензодатчики типа нэтистор, изготовляемые серийно (табл. 8), предназначены для измерения деформаций до 1-10"3 в диапазоне температур от 123 (—150) до 573° К (300° С). Исходным материа лом для тензодатчиков служит кремний с удельным сопротивле нием (0,040—0,045) • 10-2 омм. Прямое и обратное сопротивление
тензодатчика отличаются не более чем на |
1% |
от номиналь |
ного значения в диапазоне температур от 223 |
(—50) до 333° К |
|
(60° С). Предельная относительная деформация |
не превышает |
3 • 10~3. Коэффициент тензочувствительности при 293° К (20° С) ±5° и относительной деформации 1 *10-3 составляет 100 ± 20.
|
|
|
|
|
Таблица 8 |
Малобазные полупроводниковые тензодатчики типа нэтистор |
|||||
|
Конструктивные |
Номиналь |
Ориента |
|
|
|
параметры в мм |
Тип про |
|||
Тип тензодатчика |
|
|
ное со- |
ция оси |
|
База |
Габаритные |
противле |
тензо |
водимости |
|
|
ние в ом |
датчика |
|
||
|
‘в |
размеры |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
КТД-1М |
3,00 |
3,00X0,03 |
110 ± 5 |
< п i > |
р |
КТД-2М |
3,00 |
3,00X0,03 |
220± 10 |
< П 1 > |
р |
КТЭ-1М |
3,00 |
3,00X0,03 |
90± 5 |
< ю о > |
п |
КТЭ-2М |
3,00 |
3,00X0,03 |
180± 10 |
< ю о > |
п |
Температурный коэффициент тензочувствительности не пре вышает 0 , 2 5 для тензодатчиков p-типа и 0,7 для тензо
датчиков л-типа. Номинальная мощность рассеяния для тензо датчиков, наклеенных на металл, не превышает 25 мет.
Тензодатчики выпускаются партиями с разбросом сопротив ления в партии не более ±1% и коэффициента тензочувствитель ности ±5% .
1 Полупроводниковые тензодатчики Новосибирского электротехнического института, известные под названием нэтистор, разработаны Городецким А. Ф., Шадриным В. С., Морозовой Г. Г. совместно с Маховым Ю. П., Помытовым М. Л.» Норкиным Г. П. и др.
Зарубежные малобазные полупроводниковые тензодатчики
|
|
|
|
|
0) |
н |
|
|
|
|
|
Конструктивные |
о • |
X • Я |
|
|
|
|
|
о |
х о |
а> (- н |
|
|
||
|
|
параметры в мм |
л Ч |
я о w |
х |
ч |
||
|
|
со |
сч S о |
Ef И 2 |
||||
Фирма |
|
К со |
1д |
|
X >»* |
О СО« о |
X |
|
|
Н tt |
|
I о я |
« н е |
Cfl |
So. |
||
|
|
Н X |
|
|
х £ |
•e-s £ |
S с 2 KS |
O.H |
|
|
С £ |
База |
Габаритные |
S o * |
^ « а> |
Я и |
Sjjj |
|
|
|
|
размеры |
g х н |
X * |
||
|
|
|
|
|
* В « |
|
|
|
|
|
MS301-120 |
1,27 |
1,57X3,81 |
120 |
ПО |
2194-355 |
Кремний |
|
|
MS311-120 |
1,27 |
|
120 |
|
(-544 -82) |
To же |
|
|
0,15X2,03 |
п о |
774-616 |
||||
|
|
MS102-120 |
4,06 |
6,35X12,70 |
120 |
120 |
(-1964-343) |
|
|
|
2194-355 |
|
|||||
|
|
MSI 12-120 |
4,06 |
0,51X6,35 |
120 |
120 |
(-544 -82) |
|
|
|
774-616 |
|
|||||
|
|
MS 132-120 |
4,06 |
3,18X12,70 |
120 |
|
(— 1964-343) |
|
|
|
120 |
2194-355 |
|
||||
|
|
MS202-120 |
4,06 |
6,35X12,70 |
120 |
— 100 |
(-544 -82) |
|
|
|
2194-355 |
|
|||||
|
|
MS212-120 |
4,06 |
0,51X6,35 |
120 |
— 100 |
(-544 -82) |
|
а |
|
774-616 |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
(— 1964-343) |
|
|
£ов |
|
MS232-120 |
4,06 |
3,18X12,70 |
120 |
— 100 |
|
|
|
2194-355 |
|
||||||
S |
|
|
|
|
|
|
(—544-82) |
|
а |
|
MS302-350 |
4,06 |
6,35X12,70 |
350 |
120 |
2194-355 |
|
о |
|
|
||||||
о. |
|
|
|
|
|
(—544-82) |
|
|
к |
|
MS312-350 |
4,06 |
0,15X6,35 |
350 |
120 |
774-616 |
|
ЭХ |
|
|||||||
аз |
|
|
|
|
|
|
(— 1964-343) |
|
§ |
|
MS332-350 |
4,06 |
3,18X12,70 |
350 |
120 |
|
|
|
|
2194-355 |
|
|||||
|
|
MS402-350 |
4,06 |
6,35X12,70 |
350 |
— 100 |
(—544-82) |
|
|
|
2194-355 |
|
|||||
|
|
MS412-350 |
4,06 |
0,15X6,35 |
350 |
- 1 0 0 |
(—544-82) |
|
|
|
774-616 |
|
|||||
|
|
MS432-350 |
4,06 |
3,18X12,70 |
350 |
— 100 |
(-1964-343) |
|
|
|
2194-355 |
|
|||||
|
|
MS612-120 |
4,06 |
1,05X6,35 |
120 |
|
(-544 -82) |
|
|
|
ПО |
774-478 |
|
||||
|
|
MS612-350 |
4,06 |
1,00X6,35 |
350 |
120 |
(— 1964-205) |
|
|
|
774-478 |
|
|||||
|
|
MS942-350-12 |
4,06 |
6,35X12,70 |
350 |
250 |
(— 1964-205) |
|
|
|
2194-344 |
|
|||||
Н а |
|
|
|
|
|
(—544-71) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
* |
« |
|
|
|
|
|
|
|
СО |
£ |
DB-107 |
2,54 |
Полная |
250 |
140 |
454 (181) |
Кремний |
5 |
н |
|||||||
2 9д |
|
|
длина 12,7 |
|
|
|
|
|
«Q со |
|
|
|
|
|
|
Х ея
>»х Ч X
2 ^ е о
В °
я о. Н с
Р
Р
Р
Р
Р
п
п
11
р
р
р
п
п
п
р
р
з § |
KGN-3.5-E2 |
3,50 |
2,00X3,50 |
120 |
— 100i |
— |
Германий |
— |
§ fe KGN-3,5-El |
3,50 |
3,00X8,00 |
120 |
- 1 0 0 I |
— |
To же |
||
■К А |
KSN-3,5-El |
3,50 |
3,00X8,00 |
120 |
— 801 |
— |
Кремний |
— |
|
KSP-3.5-E1 |
3,50 |
3,00X8,00 |
120 |
1301 |
— |
То же |
— |
П р и м е ч а н и е . |
Тензодатчик типа |
MS942-350-12 термокомпенсирован |
при наклейке на алюминиевые сплавы. |
|
|
Тензодатчик типа |
KGN43.5-E2 выпускается с решетчатой формой чувстви |
|
тельного элемента без подложки. |
типа KGN-3.5-E1; KSN-3.5-E1; |
|
Чувствительный |
элемент тензодатчиков |
KSP-3.5-E1 изготавливается в виде одиночной нити.
ИЗГОТОВЛЕНИЕ МАЛОБАЗНЫХ ТЕНЗОДАТЧИКОВ
Большое разнообразие типов малобазных тензодатчиков при вело к большому разнообразию технологических схем их изго товления, которые подчас даже затруднительно классифициро вать. В настоящей главе приведены лишь те технологические схемы изготовления тензодатчиков, которые нашли наибольшее применение. Как правило, рассматриваются технологические схемы, применяющиеся в отечественной практике тензометрии. Исключение составляет лишь несколько схем, предложенных за рубежом и носящих оригинальный характер.
Учитывая, что такая операция технологического процесса, как крепление выводных проводников и последующее нанесение защитного покрытия, является общей при изготовлении различ ных типов тензодатчиков, описание ее вынесено в самостоятель ный раздел. Поэтому в разделах, связанных с описанием изготов ления тензодатчиков в соответствии с ранее принятой классифи кацией, рассматривается по существу лишь формирование чув ствительных элементов (решеток) тензодатчиков.
1.ИЗГОТОВЛЕНИЕ ПРОВОЛОЧНЫХ ТЕНЗОДАТЧИКОВ
СПЛОСКОЙ РЕШЕТКОЙ
М а л о б а з н ы е п р о в о л о ч н ы е т е н з о д а т ч и к и
с п е т л е в о й р е ш е т к о й |
изготовляют при ручной или |
полуавтоматической намотке [46, |
57] и др. |
При ручной намотке тензодатчиков проволочную решетку укладывают на основу вручную, а намотку осуществляют на ко лодках, имеющих разнообразное конструктивное исполнение.
При полуавтоматической намотке решетка тензодатчика укла дывается автоматически, иголки же, огибаемые проволокой, опу скаются вручную при помощи специально установленных рычагов или других приспособлений. Для полуавтоматической намотки тензодатчиков наиболее широко применяют станки с поворотным столиком конструкции ЦНИИТМАШ [46, 57].
Как показали Д. Т. Анкудинов и О. Н. Михайлов [3], станки с поворотным столиком можно применять также и для изготовле-