Список использованных источников
[1] Достанко А.
П. Технология интегральных схем. – Мн.:
Вышэйшая школа, 1982. – 207 с.
[2] Парфенов О.
Д. Технология микросхем. – М.: Высшая
школа, 1986. – 320 с.
[3] Аваев Н. А.,
Наумов Ю. Ф., Фролкин В. Т. Основы
микроэлектроники. – М.: Радиосвязь,
1991.
[4] Гурский Л.
И., Степанец В. Я. Проектирование микросхем.
– Мн.: Н-ка i тэх-ка, 1991. – 295 с.
[5] Маршрутная
технология производства кристаллов
СБИС. Методическое пособие / Под общей
ред. проф. А. П. Достанко. Часть I. – Мн.:
– 1994 – 23 с.; Часть II. – Мн.: – 1994 – 28 с.;
Часть III. – Мн.: – 1995. – 33 с.; Часть IV. –
Мн.: – 2000. – 24 с.
