Список используемой литературы

1. Жидкостно-кольцевой насос [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://ru.wikibrief.org/wiki/Liquid-ring_pump

2. Водокольцевой насос [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://ru.wikipedia.org/wiki/Водокольцевой_насос

3. Особенности водокольцевых вакуумных насосов [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://gucumpompa.com/ru/blog/osobennosti-vodokol-cevyh-vakuumnyh-nasosov#:~:text=Жидкостно-кольцевые%20вакуумные%20насосы%20представляют,за%20счет%20кругового%20движения%20жидкости.

4. Водокольцевые вакуумные насосы [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://varp.pro/vakuumnye-nasosy/vodokoltsevye/

5. Принципы работы водокольцевых насосов [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://byreniepro.ru/nasosy/vodokolcevye-vakuumnye.html

6. Водокольцевой вакуумный насос [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://vacuumequipment.ru/blog/vodokolcevoj-vakuumnyj-nasos-vvn-princip-raboty-dejstviya-ustrojstvo-kharakteristiki-proizvoditeli/

7. Ионные источники [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://profbeckman.narod.ru/RR0.files/L11_1_2.pdf

8. Технологии твердотельной электроники [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://phys.vsu.ru/me/downloads/m13-64.pdf

9. Ионные источники [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://studfile.net/preview/327582/page:12/

10. Дефекты структуры в полупроводниках при ионном легировании [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://www.bsuir.by/m/12_100229_1_144066.pdf

11. Источники ионов – «ионные пушки» [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://studref.com/350388/tehnika/istochniki_ionov_ionnye_pushki

12. Диффузионные печи [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://minateh.ru/equipment/technological/diffusion-furnaces/

13. Технология и оборудование для проведения процесса диффузии и контроля параметров диффузионных слоев [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://studbooks.net/2500997/tovarovedenie/tehnologiya_oborudovanie_provedeniya_protsessa_diffuzii_kontrolya_parametrov_diffuzionnyh_sloev

14. Рабочая камера диффузионной печи [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://bstudy.net/972282/tehnika/rabochaya_kamera_diffuzionnoy_pechi

15. Легирование [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: http://stud.izhdv.ru/msch/37.htm