книги / Моделирование и автоматизация проектирования силовых полупроводниковых приборов
..pdfтальные слагаемые в правой части даже для наиболее удаленной точки г0.
Если не учитывать падение напряжения на шунте (а при /^/(до) это обычно оправдано), решение уравнения (2.30) нахо дится при граничных условиях
U ( 0 = 0; - f - W = 0. |
(2.31) |
Последнее условие справедливо в силу симметрии. Решение (2.30) имеет вид
+ |
(2.32) |
Плотность тока инжекции / ннж (г) = Js}i [ехр(£//3/<Рт-)— 1], ток ин.
жекции в ячейке
Л „» = J |
(г)dr. |
(2.33) |
'т |
|
|
После ряда преобразований получим следующее выражение для коэффициента инжекции п+-р перехода в структуре с ци линдрической симметрией [2.11]:
Т . = |
^ ( - T ^ - r Z - Л . |
(2.34) |
||
|
1 |
\ Г0_ г ш |
J |
|
где |
|
|
|
|
Z = J r exp |
— |
2-? -^ /ко (r0 — rf j dr; |
(2.35) |
Схематически распределение потенциала на п+-р переходе /3 показано на рис. 2.6.
Казалось бы, что в рамках рассматриваемой модели (в пре небрежении рекомбинацией внутри переходов /i, /3) и при усло вии Рр+рл> 1 в точке г=Го всегда выполнено условие переклю чения, так как напряженность радиального электрического поля при г= г0 равна 0. Однако при малом смещении на переходе /3 остальная часть ячейки препятствует включению тиристора в точ ке го и включение происходит только при достаточно большом
21
|
|
|
смещении в |
точке /о , вызванном |
||
|
|
|
увеличением |
тока при |
возраста |
|
|
|
|
нии анодного напряжения. |
|
||
|
|
|
Найдем эквивалентное сопро |
|||
|
|
|
тивление шунтировки такое, что |
|||
О гш |
Г0 |
Г |
бы одномерная структура |
с рав |
||
|
|
|
номерно распределенным |
омиче |
||
Рис. 2.6. Распределение |
потенциала |
ским сопротивлением |
утечек на |
|||
на |
р-п переходе |
/э |
единицу площади R3K и реальная |
|||
|
|
|
структура с |
шунтами |
цилиндри |
|
|
|
|
ческой геометрии были |
полностью |
эквивалентны. Если сумеем это сделать, то в дальнейшем расчет напряжения и тока переключения можно вести для одномерной модели с шунтирующим сопротивлением R3K, которое будет одно значно связано с параметрами реального тиристора.
Коэффициент инжекции п+-р катодного перехода /3, шунтиро
ванного сопротивлением R3K, находится из уравнения |
|
|||
|
- ^ < 1 - Т . ( ') ) = 1 п (т »(Л т^ - + |
1). |
(2-37) |
|
В случае Y„ < 1 можно |
использовать более |
простое |
соотноше |
|
ние: |
|
|
|
|
|
T„ ^ ^ |
- ( e x P ^ - - l ) . |
|
(2.38) |
Потребуем, |
чтобы значение уп для структуры с технологиче |
|||
ским шунтом |
равнялось уп для одномерной структуры с равно |
|||
мерно распределенной утечкой R3K при одной и той же плотности |
||||
тока. Приравнивая (2.38) и (2.34), находим |
|
|
||
Яэк = |
|
i |
г0 |
(2.39) |
|
|
|
гш ) |
Первое слагаемое в (2.39) совпадает с результатами расчетов более ранних работ, мы же получили R3K примерно на 20—40% меньшим. Это связано с тем, что ранее R3K находилось из (2.32) •как коэффициент пропорциональности между напряжением Uja(г0) и / = / * ко; мы же потребовали одинаковой зависимости *yn(/) . Поэтому в дальнейшем при расчете С/(В0), Дво) не потребуется де лать дополнительных предположений при нахождении £//, (г0) в точке переключения, как это было в [2.6, 2.10].
Аналогичный расчет R3Kдля структур с полосковой геометрией катодного п+-р перехода дает
(2.40)
где хо — полуширина полоски п+-р перехода.
22
2.4. РАСЧЕТ ТОКА В ЗАКРЫТОМ СОСТОЯНИИ, МАКСИМАЛЬНОГО НАПРЯЖЕНИЯ, ТОКА И НАПРЯЖЕНИЯ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ ТИРИСТОРА
Расчет тока в закрытом состоянии ID и максимального на пряжения иы в силовых тиристорах (часто называемого также «напряжении загиба» ВАХ), а также расчет обратного тока и максимального обратного напряжения проводятся при сле дующих предположениях:
1.Технологическая шунтировка катодного п+-р перехода на столько эффективна, что до напряжения UMп+-р переход практи чески не инжектирует электроны, т. е. уя~0.
2.р-п-р структура одномерна и симметрична.
3.Коэффициенты инжекции анодного и центрального р-п пе реходов в р-п-р структуре равны 1.
4.Обратный ток центрального (и анодного) р-п перехода ге нерационный.
Предположение 1 обычно всегда выполняется, в том числе при повышенных температурах. Предположение 3 может нарушаться при комнатных температурах, что приводит к некоторому умень шению расчетного значения UMпо сравнению с измеренным [2.12].
При сделанных предположениях ток в закрытом состоянии (и
обратный ток) тиристора при U^UMрассчитываются по формуле
ID |
l K0{U)Mg (U) |
Wn* = W n— x, |
(2.41) |
|
1 — Mp{U)sch Wn*/Lp |
||||
|
|
|
Формула (2.41) справедлива при не слишком больших токах утечки, при которых в «-базе реализуется всюду низкий уровень инжекции. В современных высоковольтных тиристорах для UczUM плотность тока утечки достигает 5— 10 мА/см2.
В этом случае в п-базе вблизи р+-п перехода концентрация инжектированных носителей заряда приближается к Nd, т. е. реализуется средний уровень инжекции, и на перенос дырок через n-базу начинает оказывать заметное влияние напряженность тя нущего электрического поля, обусловленного протеканием тока. Нахождение точного аналитического решения для коэффициента переноса дырок через п-базу рр в этом случае затруднительно. Можно использовать аппроксимацию, найденную путем сравнения с точным численным решением во всем диапазоне изменения Вр [2.7]:
|
Рр — (Ррн“ЬРрв/+)/(1+/+), |
(2.42) |
||
где ррН и ррв — соответственно |
коэффициенты переноса |
дырок |
||
при низком и высоком уровнях инжекции в л-базе: |
|
|||
ppH=schWn*/Lp; Ррв= (l+& sch№ „*/I)/(£+l); |
(2.43) |
|||
L — |
ь + |
V |
^n* = Wn — xn {U). |
|
23
Плотность тока в (2.42) нормирована к величине / 0:
|
/ 0 = |
Ю |
h |
= |
1071. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
На |
рис. 2.7 приведены |
зависимости |
(5Р(/), |
рассчитанные |
по |
|||||
(2.42) |
для различных значений Wn*/'LP. Плотность |
тока |
норми |
|||||||
рована к величине J\ = qDpNd/Lp. |
|
|
напряжение |
может |
||||||
При принятых допущениях |
максимальное |
|||||||||
быть рассчитано из соотношения |
|
|
|
|
|
|
||||
|
/м _ |
1— Рр(/м. UH)MP{U„) |
|
|
(2.44) |
|||||
|
|
|
|
|
||||||
где коэффициенты умножения |
Мр и Mg определяются по |
(2.17), |
||||||||
(2.18) |
или по графику |
рис. 2.4, плотность тока генерации |
цент |
|||||||
рального перехода вычисляется по (2.25). |
|
|
|
|
||||||
Соотношение (2.44) справедливо также и для обратной ветви |
||||||||||
ВАХ, при этом /ко — плотность тока |
генерации анодного |
р-п |
пе |
|||||||
рехода, |
/ м и Uw— плотность |
тока |
и напряжение |
на обратной |
||||||
ветви. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Заметное влияние напряженности тянущего электрического по
ля на рис. 2.7 |
начинается при p{—Wn)/Ndcz. 1, что соответствует |
/ ~ / 1, при / ы< |
/ 1 поле практически не влияет на напряжение UM |
При комнатной температуре условие / > / 1, при котором начина ется заметное влияние тянущего поля, соответствует участку рез кого роста тока и UMпрактически не зависит от поля (рис. 2.8). С ростом температуры увеличивается ток через тиристор за счет
увеличения тока |
генерации центрального |
р-п |
перехода / КоПри |
этом условие / > |
/ 1 начинает выполняться |
при |
меньших напря |
жениях.
На рис. 2.8 приведены результаты расчета зависимости JfJi(U).
Видно, что значению JJJi= l,6 соответствует снижение |
0К за |
|
счет действия поля при 7’=125°С примерно на 5%. |
(2.18), |
|
Коэффициенты умножения рассчитывались по (2.17), |
||
причем полагалось, что |
|
|
UB (T ) = UB{TO) (1 + РДГ), |
р~1,3-Ю -3* - 1. |
(2.45) |
Как следует из рис. 2.8, UMпри учете напряженности поля ме |
||
няется незначительно. Это связано |
с тем, что при увеличении на |
пряжения и тока уменьшаются Wn* и Wn*/Lp. Поэтому ослабляет ся зависимость от уровня инжекции (см. рис. 2.7). Ток возрастает вследствие действия тянущего поля при высоких напряжениях и температурах примерно на 10— 15%'.
Учитывая большой разброс токов, при U^.UK можно пренебре
гать действием электрического поля. |
В этом |
случае |
рр= |
=scb (Wn*/Lp) и не зависит от тока. |
(обратные токи) в |
ре |
|
Поскольку токи в закрытом состоянии |
|||
альных приборах имеют большой разброс, в ряде |
случаев |
при |
|
расчетах Uu целесообразно принимать в качестве заданного |
зна- |
24
югг |
ж1 |
10° |
Ю1 |
10z J/7, |
Чь«в |
Рис. 2.7. Зависимость |
коэффициента переноса дырок |
через п-базу рр от норми |
|||
|
|
|
рованной |
плотности тока |
J/Jt: |
1 ~~ Wn*/Lp = 0 $ ; |
2 ~ w n*/Lp = l > 3 — Wn*lLp = 2'- 4 — ®'п*/£-р= 3 ( -------- — расчет по ап |
||||
проксимационной |
формуле |
(2.42);-------------------точный расчет) |
|
Рис. 2.8. Зависимость нормированной плотности тока J/Ji от анодного напряже ния UD’.
чения не / м, а отношение |
K=Jn/JvjaMg. |
Величина |
К отражает |
||
транзисторный эффект |
в р-п-р |
структуре. Максимальное напря |
|||
жение находится тогда из соотношения |
|
|
|||
№ |
) |
= _ I _ |
|
(2.46) |
|
При комнатной температуре |
значение |
К может |
составлять |
||
около 100 и более. Тогда |
|
|
|
|
|
|
АГрр„=1, |
|
(2.47) |
что совпадает с известным приближенным соотношением для рас чета напряжения переключения.
Таким образом, простое уравнение (2.47) определяет с доста точной точностью максимальное напряжение, если /(> 1 . Из
(2.47) видно также, что на точность расчета |
0 Мвлияет правиль |
ное определение зависимости MP(U). |
Uu заметную по |
Упрощение Мр= М п может внести в расчет |
грешность.
Транзисторный эффект, т. е. результат усиления обратного то ка в составляющем р-п-р транзисторе, включенном по схеме с об щим эмиттером, при повышенной температуре приводит к увели чению общего тока примерно в 5—20 раз (/(~5-?-20).
25
Снижение К с ростом температуры связано с тем, что значе ние / м ограничено и обычно не превышает 5— 10 мА/см2. Для быстровыключающихся тиристоров, имеющих малое время жизни дырок в л-базе и вследствие этого большой ток / ко, при повышен ной температуре /«15-*-10.
Напряжение переключения £/(Во) рассчитывается при тех же предположениях, что и UM, с одним существенным отличием — учитывается инжекция из катодного п+-р перехода /з, зашунтированного эквивалентным сопротивлением утечки R3*. Модель остается одномерной, так как R3K является как бы распределен ным сопротивлением утечки на единицу площади.
Коэффициент инжекции л+-р перехода определяется по (2.38). Коэффициент переноса рл электронов через р-базу рассчиты вается с учетом напряженности встроенного поля £ ВСТр. Если ап проксимировать распределение примесей экспоненциальным зако
ном, то |
£ В тр=(ф г/^)1пЛ уМ г, где х,- глубина |
залегания |
р-п пе |
рехода, и Ёвстр не зависит от координаты. |
|
|
|
Выражение для рл имеет вид |
|
|
|
|
рл=ехрт]/ (chrj'+ ( W ) SIHI7) * |
|
(2-48) |
где Ti = |
{EBaTp/2<?T)(Wр — хр) — фактор поля; У = |
j / " У + ( |
— » |
Wp— хр = W * — эффективная ширина р-базы.
Напряжение переключения и плотность тока переключения на
ходятся из системы уравнений |
|
|
||||
|
|
|
М р* рл + |
М пап„ = 1; |
|
(2.49) |
|
|
|
^ Р + |
Млал= 1 - 7 ^ М |
в. |
|
|
|
|
|
|||
где |
аРд |
и |
апд— дифференциальные коэффициенты |
усиления |
||
р-п-р |
и |
п-р-п |
составляющих транзисторов |
в тиристоре: |
ад= а + |
+ /(д а /д /) .
Учитывая зависимости от тока -ул и Рр, получаем
РрН + 2ррВ J*BO)+ Ррв(; (ВО))2 . |
(2.50) |
|
О +^(ВО))г |
||
|
||
|
(2.51) |
|
1+ - |
|
|
»Яэк[тп('(во)> + |
|
где 7 (в о )= /(во)//0; h f, = ^ ? ( i J + V cthV )-T O K насыщения п+-р
катодного перехода с учетом р.
26
Рис. 2.9. Зависимость на пряжения и плотности тока переключения от эффективного сопротив ления технологической шунтировки R»K:
1— без учета поля в л-базе;
2 — с учетом поля в л-базе
Без учета тянущего поля в л-базе (2.51) принимает вид арл=
= 'Р рн.
Ток и напряжение переключения рассчитывались по (2.49) — (2.51). На рис. 2.9 приведены результаты расчета для типично го высоковольтного тиристора при Г=380 К. Параметры струк туры были следующие: рп=2000м -см , jt/=130 мк, N8= 5 - 101всм-3,
# „ = 560 |
мк, глубина п+-р перехода Wn+=\b |
мк, времена |
жизни в |
л- и р-базах 60 и 6 мкс соответственно лр= 3-109 см-3. |
|
Напряжение и ток переключения рассчитаны для |
различных R9K |
с учетом и без учета тянущего поля в л-базе. Влияние поля на U(во) оказалось не очень заметным (Д'С/(во)~5% £/(Во)). При больших значениях R3к ток переключения мал и вплоть до пере ключения в базе сохраняется низкий уровень инжекции. Это свя зано с тем, что шунтировка недостаточно эффективная, при ма лых токах начинается инжекция из катодого л+-/> перехода, приводящая к переключению. В случае малых R3Kток /(во> велик, в л-базе достигается средний уровень инжекции, но Wn*/Lp неве лико. Поэтому рр слабо зависит от тока, диффузионный процесс является определяющим (см. рис. 2.7). При эффективной шунтировке (малых R3к) поле в л-базе существенно уменьшает ток пе реключения. Влияние тянущего электрического поля на напряже ние и ток переключения возрастает с увеличением температуры.
2.5.ОТПИРАЮЩИЙ ТОК УПРАВЛЯЮЩЕГО ЭЛЕКТРОДА
Отпирающим током управляющго электрода IGT принято на зывать наименьшее значение постоянного тока через управляю щий электрод, необходимое для переключения тиристора из за крытого в открытое состояние. В технической литературе отпи рающий ток управляющего электрода часто называют статичес ким током управления или даже просто током управления тири
стора.
Расчетам отпирающего тока управляющего электрода посвя щен целый ряд работ [2.13—2.19]. Наиболее полно применитель но к современной конструкции силовых тиристоров этот вопрос ис-
27
Рис. 2.10. Полупроводниковая структура совре менного силового тири стора
следован в [2.14—2.17]. Ниже будет дан в обобщенном виде рас чет, основанный преимущественно на результатах этих работ.
Конструкции современных силовых тиристоров, как правило, содержат вспомогательную (ВС) и основную (ОС) р-п-р-п струк туры (рис. 2.10) и отличаются большим разнообразием тополо гии этих структур [2.20, 2.21]. Однако с тем или иным приближе нием при расчетах I GT все эти структуры можно рассматривать как структуры, имеющие прямоугольную или цилиндрическую форму с шунтировкой или без нее вдоль границы катодного пе рехода.
Расчет /сг проведем при следующих упрощающих предполо жениях:
1.Все параметры структуры однородны по ее площади.
2.В базовом слое p-типа реализуется низкий уровень инжек ции. Уровень инжекции в п-базе может быть низким или средним, однако выполняется условие резкой несимметричности структуры:
где рр, Wp— удельное сопротивление и толщина p-базы; ря, Wn— удельное сопротивление (с учетом модуляции проводимости при средних уровнях инжекции) и толщина п-базы.
3. Линии тока неосновных носителей в р-базе перпендикуляр
ны плоскости р-п переходов, |
а продольный ток |
(вдоль оси г, |
рис. 2.10) в р-базе является |
дрейфовым током |
равновесных ос |
новных носителей заряда. Это допущение неоднократно использо
валось при анализе транзисторных и тиристорных |
структур |
[2.15, 2.22, 2.27]. Условие' (2.52) позволяет пренебречь |
продоль |
ным (вдоль оси г) током подвижных носителей заряда |
в /г-базе |
по сравнению с соответствующим током в р-базе. |
|
4. Коллекторный переход смещен в обратном направлении. На пряжение на коллекторном переходе достаточно велико (^5-*- 10 В), чтобы принять его равным анодному напряжению и пре небречь изменением плотности обратного тока коллекторного пе рехода вдоль координаты г.
5. Сопротивление широко используемой в настоящее время ди скретной шунтировки катодного перехода' /3 можно заменить эк-
28
Бивалентным сопротивлением равномерно распределенных по пло щади структуры омических утечек [2.6].
6. Коэффициент инжекции анодного перехода равен 1. Исходя из выполнения условия электронейтральности в эле
ментарных объемах базовых слоев, при оговоренных допущениях распределение напряжения на катодном переходе /з можно опи сать следующим уравнением [2.15]:
Д8 = |
— o^exp 0 + а2ехр — |
+ я30— я4, |
(2.53> |
|||
где Д0 — лапласиан |
0; |
0 = |
qUjJkT — нормированное |
(в едини |
||
цах kT/q) напряжение на катодном переходе; |
|
|||||
|
|
я |
р„ , |
Рр+ |
Рп +1 |
|
ai - - k T l r ^ j5i> |
ГЧЪ |
|
||||
____ я |
Рр |
, . |
„ |
ъ . |
|
|
“г — |
kT |
w 'го. |
«з — W R ' |
|
||
а*~ |
Я |
Рр |
|
. |
|
|
kT |
wp 1— Р„ |
ai + a* |
|
JSj9 — плотность тока насыщения катодного перехода; рр и рп — коэффициенты переноса неосновных носителей через р- и п-базу соответственно (с учетом модуляции толщины этих баз при боль ших анодных напряжениях); / г0 — параметр, зависящий от кон центрации и природы рекомбинационных центров в эмиттерных переходах; Rit — удельное сопротивление омических утечек ка тодного перехода ( при необходимости с учётом эквивалентной за мены сопротивления дискретной шунтировки катодного перехо да); hi»— плотность обратного тока коллекторного перехода.
Уравнение (2.53) в общем случае не решается аналитически. Поэтому рассмотрим приближенные его решения для р-п-р-п структур различной конструкции, предварительно остановившись, на анализе одномерной модели тиристора.
Одномерная модель тиристора. Лапласиан 0 в этом случае ра вен нулю и уравнение (2.53) можно записать в виде
F ( b ) = |
— дхехр 0-j-a2exp----1—а30— а4 = |
0. |
(2.54)* |
|
Это уравнение |
в общем случае' |
имеет два |
корня: 0i |
и 02 |
(рис. 2.11). Корень fli соответствует |
устойчивому, |
а корень |
Ог |
неустойчивому выключенному состоянию тиристора. Через /от- обозначена плотность отпирающего тока управляющего электрода.
Из рис. 2.11 видно, что выражение для /от можно представить
ввиде
~/^1от = ^(9„.) = - а 1ехр 6 „+ 0 ! м р - ^ - + « А - « . . (2.55>
29
Рис. 2.11. К определению корней уравнения (2.54)
|
п |
а) |
I |
|
|
0) |
|
|
Р |
|
_g_____ |
|
|
||
1 |
п |
|
i |
л |
i |
|
|
|
Р |
— |
| |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
J____________1— |
д |
|
||
0 |
Lд |
X |
О1 |
|
|
|
|
Рис. 2.12. Схематическое изображение тиристоров |
прямоугольной |
формы |
без (а) |
||||
к с шунтировкой (б) катодного эмиттера при х=1х |
|
|
|
||||
где 0щ— значение, |
при котором функция F(0) |
достигает макси |
|||||
мума. |
|
|
|
|
|
|
|
Приравняв нулю dF(Q)fdQ, получим |
|
|
|
|
|||
в”=2,"Ь£-+/ |
|
|
|
|
(2.56) |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
•а из (2.55) будем иметь |
|
|
|
|
|
|
|
кТ |
Wp ( 1 |
А« |
|
/й |
п |
1 |
(2.57) |
JGT = — |
[ - 2 - Д г е х р - 2 - + |
а |
3 (%п ~ |
l ) ~ ^ J * |
Неодномерная модель. Тиристоры прямоугольной формы. Про тяженность структуры в направлении, нормальном к плоскости рисунка (рис. 2.12), примем равной lG.
Для структур прямоугольной формы лапласиан Q=d2Q/dx2 и первый интеграл уравнения (2.53) можно представить в виде
(-2 J-)’ = - 2а,е>+ 4а3ет ' - f а.в* - 2а,9+ С,. |
(2.58) |
Граничными условиями для решения уравнения (2.53) в рас сматриваемом случае являются
(2.59)
-5 -1,, = О или |
— 0. |
(2.60) |
30