Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Моделирование и автоматизация проектирования силовых полупроводниковых приборов

..pdf
Скачиваний:
3
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
12.32 Mб
Скачать

тальные слагаемые в правой части даже для наиболее удаленной точки г0.

Если не учитывать падение напряжения на шунте (а при /^/(до) это обычно оправдано), решение уравнения (2.30) нахо­ дится при граничных условиях

U ( 0 = 0; - f - W = 0.

(2.31)

Последнее условие справедливо в силу симметрии. Решение (2.30) имеет вид

+

(2.32)

Плотность тока инжекции / ннж (г) = Js}i [ехр(£//3/<Рт-)— 1], ток ин.

жекции в ячейке

Л „» = J

(г)dr.

(2.33)

 

 

После ряда преобразований получим следующее выражение для коэффициента инжекции п+-р перехода в структуре с ци­ линдрической симметрией [2.11]:

Т . =

^ ( - T ^ - r Z - Л .

(2.34)

 

1

\ Г0_ г ш

J

 

где

 

 

 

 

Z = J r exp

2-? -^ /ко (r0 — rf j dr;

(2.35)

Схематически распределение потенциала на п+-р переходе /3 показано на рис. 2.6.

Казалось бы, что в рамках рассматриваемой модели (в пре­ небрежении рекомбинацией внутри переходов /i, /3) и при усло­ вии Рр+рл> 1 в точке г=Го всегда выполнено условие переклю­ чения, так как напряженность радиального электрического поля при г= г0 равна 0. Однако при малом смещении на переходе /3 остальная часть ячейки препятствует включению тиристора в точ­ ке го и включение происходит только при достаточно большом

21

 

 

 

смещении в

точке /о , вызванном

 

 

 

увеличением

тока при

возраста­

 

 

 

нии анодного напряжения.

 

 

 

 

Найдем эквивалентное сопро­

 

 

 

тивление шунтировки такое, что­

О гш

Г0

Г

бы одномерная структура

с рав­

 

 

 

номерно распределенным

омиче­

Рис. 2.6. Распределение

потенциала

ским сопротивлением

утечек на

на

р-п переходе

единицу площади R3K и реальная

 

 

 

структура с

шунтами

цилиндри­

 

 

 

ческой геометрии были

полностью

эквивалентны. Если сумеем это сделать, то в дальнейшем расчет напряжения и тока переключения можно вести для одномерной модели с шунтирующим сопротивлением R3K, которое будет одно­ значно связано с параметрами реального тиристора.

Коэффициент инжекции п+-р катодного перехода /3, шунтиро­

ванного сопротивлением R3K, находится из уравнения

 

 

- ^ < 1 - Т . ( ') ) = 1 п (т »(Л т^ - +

1).

(2-37)

В случае Y„ < 1 можно

использовать более

простое

соотноше­

ние:

 

 

 

 

 

T„ ^ ^

- ( e x P ^ - - l ) .

 

(2.38)

Потребуем,

чтобы значение уп для структуры с технологиче­

ским шунтом

равнялось уп для одномерной структуры с равно­

мерно распределенной утечкой R3K при одной и той же плотности

тока. Приравнивая (2.38) и (2.34), находим

 

 

Яэк =

 

i

г0

(2.39)

 

 

 

гш )

Первое слагаемое в (2.39) совпадает с результатами расчетов более ранних работ, мы же получили R3K примерно на 20—40% меньшим. Это связано с тем, что ранее R3K находилось из (2.32) •как коэффициент пропорциональности между напряжением Uja(г0) и / = / * ко; мы же потребовали одинаковой зависимости *yn(/) . Поэтому в дальнейшем при расчете С/(В0), Дво) не потребуется де­ лать дополнительных предположений при нахождении £//, (г0) в точке переключения, как это было в [2.6, 2.10].

Аналогичный расчет R3Kдля структур с полосковой геометрией катодного п+-р перехода дает

(2.40)

где хо — полуширина полоски п+-р перехода.

22

2.4. РАСЧЕТ ТОКА В ЗАКРЫТОМ СОСТОЯНИИ, МАКСИМАЛЬНОГО НАПРЯЖЕНИЯ, ТОКА И НАПРЯЖЕНИЯ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ ТИРИСТОРА

Расчет тока в закрытом состоянии ID и максимального на­ пряжения иы в силовых тиристорах (часто называемого также «напряжении загиба» ВАХ), а также расчет обратного тока и максимального обратного напряжения проводятся при сле­ дующих предположениях:

1.Технологическая шунтировка катодного п+-р перехода на­ столько эффективна, что до напряжения UMп+-р переход практи­ чески не инжектирует электроны, т. е. уя~0.

2.р-п-р структура одномерна и симметрична.

3.Коэффициенты инжекции анодного и центрального р-п пе­ реходов в р-п-р структуре равны 1.

4.Обратный ток центрального (и анодного) р-п перехода ге­ нерационный.

Предположение 1 обычно всегда выполняется, в том числе при повышенных температурах. Предположение 3 может нарушаться при комнатных температурах, что приводит к некоторому умень­ шению расчетного значения UMпо сравнению с измеренным [2.12].

При сделанных предположениях ток в закрытом состоянии (и

обратный ток) тиристора при U^UMрассчитываются по формуле

ID

l K0{U)Mg (U)

Wn* = W n— x,

(2.41)

1 — Mp{U)sch Wn*/Lp

 

 

 

Формула (2.41) справедлива при не слишком больших токах утечки, при которых в «-базе реализуется всюду низкий уровень инжекции. В современных высоковольтных тиристорах для UczUM плотность тока утечки достигает 5— 10 мА/см2.

В этом случае в п-базе вблизи р+-п перехода концентрация инжектированных носителей заряда приближается к Nd, т. е. реализуется средний уровень инжекции, и на перенос дырок через n-базу начинает оказывать заметное влияние напряженность тя­ нущего электрического поля, обусловленного протеканием тока. Нахождение точного аналитического решения для коэффициента переноса дырок через п-базу рр в этом случае затруднительно. Можно использовать аппроксимацию, найденную путем сравнения с точным численным решением во всем диапазоне изменения Вр [2.7]:

 

Рр — (Ррн“ЬРрв/+)/(1+/+),

(2.42)

где ррН и ррв — соответственно

коэффициенты переноса

дырок

при низком и высоком уровнях инжекции в л-базе:

 

ppH=schWn*/Lp; Ррв= (l+& sch№ „*/I)/(£+l);

(2.43)

L —

ь +

V

^n* = Wn — xn {U).

 

23

Плотность тока в (2.42) нормирована к величине / 0:

 

/ 0 =

Ю

h

=

1071.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

На

рис. 2.7 приведены

зависимости

(5Р(/),

рассчитанные

по

(2.42)

для различных значений Wn*/'LP. Плотность

тока

норми­

рована к величине J\ = qDpNd/Lp.

 

 

напряжение

может

При принятых допущениях

максимальное

быть рассчитано из соотношения

 

 

 

 

 

 

 

/м _

1— Рр(/м. UH)MP{U„)

 

 

(2.44)

 

 

 

 

 

где коэффициенты умножения

Мр и Mg определяются по

(2.17),

(2.18)

или по графику

рис. 2.4, плотность тока генерации

цент­

рального перехода вычисляется по (2.25).

 

 

 

 

Соотношение (2.44) справедливо также и для обратной ветви

ВАХ, при этом /ко — плотность тока

генерации анодного

р-п

пе­

рехода,

/ м и Uw— плотность

тока

и напряжение

на обратной

ветви.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Заметное влияние напряженности тянущего электрического по­

ля на рис. 2.7

начинается при p{—Wn)/Ndcz. 1, что соответствует

/ ~ / 1, при / ы<

/ 1 поле практически не влияет на напряжение UM

При комнатной температуре условие / > / 1, при котором начина­ ется заметное влияние тянущего поля, соответствует участку рез­ кого роста тока и UMпрактически не зависит от поля (рис. 2.8). С ростом температуры увеличивается ток через тиристор за счет

увеличения тока

генерации центрального

р-п

перехода / КоПри

этом условие / >

/ 1 начинает выполняться

при

меньших напря­

жениях.

На рис. 2.8 приведены результаты расчета зависимости JfJi(U).

Видно, что значению JJJi= l,6 соответствует снижение

за

счет действия поля при 7’=125°С примерно на 5%.

(2.18),

Коэффициенты умножения рассчитывались по (2.17),

причем полагалось, что

 

 

UB (T ) = UB{TO) (1 + РДГ),

р~1,3-Ю -3* - 1.

(2.45)

Как следует из рис. 2.8, UMпри учете напряженности поля ме­

няется незначительно. Это связано

с тем, что при увеличении на­

пряжения и тока уменьшаются Wn* и Wn*/Lp. Поэтому ослабляет­ ся зависимость от уровня инжекции (см. рис. 2.7). Ток возрастает вследствие действия тянущего поля при высоких напряжениях и температурах примерно на 10— 15%'.

Учитывая большой разброс токов, при U^.UK можно пренебре­

гать действием электрического поля.

В этом

случае

рр=

=scb (Wn*/Lp) и не зависит от тока.

(обратные токи) в

ре­

Поскольку токи в закрытом состоянии

альных приборах имеют большой разброс, в ряде

случаев

при

расчетах Uu целесообразно принимать в качестве заданного

зна-

24

югг

ж1

10°

Ю1

10z J/7,

Чь«в

Рис. 2.7. Зависимость

коэффициента переноса дырок

через п-базу рр от норми­

 

 

 

рованной

плотности тока

J/Jt:

1 ~~ Wn*/Lp = 0 $ ;

2 ~ w n*/Lp = l > 3 — Wn*lLp = 2'- 4 — ®'п*/£-р= 3 ( -------- — расчет по ап­

проксимационной

формуле

(2.42);-------------------точный расчет)

 

Рис. 2.8. Зависимость нормированной плотности тока J/Ji от анодного напряже­ ния UD’.

чения не / м, а отношение

K=Jn/JvjaMg.

Величина

К отражает

транзисторный эффект

в р-п-р

структуре. Максимальное напря­

жение находится тогда из соотношения

 

 

)

= _ I _

 

(2.46)

При комнатной температуре

значение

К может

составлять

около 100 и более. Тогда

 

 

 

 

 

АГрр„=1,

 

(2.47)

что совпадает с известным приближенным соотношением для рас­ чета напряжения переключения.

Таким образом, простое уравнение (2.47) определяет с доста­ точной точностью максимальное напряжение, если /(> 1 . Из

(2.47) видно также, что на точность расчета

0 Мвлияет правиль­

ное определение зависимости MP(U).

Uu заметную по­

Упрощение Мр= М п может внести в расчет

грешность.

Транзисторный эффект, т. е. результат усиления обратного то­ ка в составляющем р-п-р транзисторе, включенном по схеме с об­ щим эмиттером, при повышенной температуре приводит к увели­ чению общего тока примерно в 5—20 раз (/(~5-?-20).

25

Снижение К с ростом температуры связано с тем, что значе­ ние / м ограничено и обычно не превышает 5— 10 мА/см2. Для быстровыключающихся тиристоров, имеющих малое время жизни дырок в л-базе и вследствие этого большой ток / ко, при повышен­ ной температуре /«15-*-10.

Напряжение переключения £/(Во) рассчитывается при тех же предположениях, что и UM, с одним существенным отличием — учитывается инжекция из катодного п+-р перехода /з, зашунтированного эквивалентным сопротивлением утечки R3*. Модель остается одномерной, так как R3K является как бы распределен­ ным сопротивлением утечки на единицу площади.

Коэффициент инжекции л+-р перехода определяется по (2.38). Коэффициент переноса рл электронов через р-базу рассчиты­ вается с учетом напряженности встроенного поля £ ВСТр. Если ап­ проксимировать распределение примесей экспоненциальным зако­

ном, то

£ В тр=(ф г/^)1пЛ уМ г, где х,- глубина

залегания

р-п пе­

рехода, и Ёвстр не зависит от координаты.

 

 

Выражение для рл имеет вид

 

 

 

рл=ехрт]/ (chrj'+ ( W ) SIHI7) *

 

(2-48)

где Ti =

{EBaTp/2<?T)(Wр — хр) — фактор поля; У =

j / " У + (

— »

Wp— хр = W * — эффективная ширина р-базы.

Напряжение переключения и плотность тока переключения на­

ходятся из системы уравнений

 

 

 

 

 

М р* рл +

М пап„ = 1;

 

(2.49)

 

 

 

^ Р +

Млал= 1 - 7 ^ М

в.

 

 

 

 

где

аРд

и

апд— дифференциальные коэффициенты

усиления

р-п-р

и

п-р-п

составляющих транзисторов

в тиристоре:

ад= а +

+ /(д а /д /) .

Учитывая зависимости от тока -ул и Рр, получаем

РрН + 2ррВ J*BO)+ Ррв(; (ВО))2 .

(2.50)

О +^(ВО))г

 

 

(2.51)

1+ -

 

»Яэк[тп('(во)> +

 

где 7 (в о )= /(во)//0; h f, = ^ ? ( i J + V cthV )-T O K насыщения п+-р

катодного перехода с учетом р.

26

Рис. 2.9. Зависимость на­ пряжения и плотности тока переключения от эффективного сопротив­ ления технологической шунтировки R»K:

1— без учета поля в л-базе;

2 — с учетом поля в л-базе

Без учета тянущего поля в л-базе (2.51) принимает вид арл=

= 'Р рн.

Ток и напряжение переключения рассчитывались по (2.49) — (2.51). На рис. 2.9 приведены результаты расчета для типично­ го высоковольтного тиристора при Г=380 К. Параметры струк­ туры были следующие: рп=2000м -см , jt/=130 мк, N8= 5 - 101всм-3,

# „ = 560

мк, глубина п+-р перехода Wn+=\b

мк, времена

жизни в

л- и р-базах 60 и 6 мкс соответственно лр= 3-109 см-3.

Напряжение и ток переключения рассчитаны для

различных R9K

с учетом и без учета тянущего поля в л-базе. Влияние поля на U(во) оказалось не очень заметным (Д'С/(во)~5% £/(Во)). При больших значениях R3к ток переключения мал и вплоть до пере­ ключения в базе сохраняется низкий уровень инжекции. Это свя­ зано с тем, что шунтировка недостаточно эффективная, при ма­ лых токах начинается инжекция из катодого л+-/> перехода, приводящая к переключению. В случае малых R3Kток /(во> велик, в л-базе достигается средний уровень инжекции, но Wn*/Lp неве­ лико. Поэтому рр слабо зависит от тока, диффузионный процесс является определяющим (см. рис. 2.7). При эффективной шунтировке (малых R3к) поле в л-базе существенно уменьшает ток пе­ реключения. Влияние тянущего электрического поля на напряже­ ние и ток переключения возрастает с увеличением температуры.

2.5.ОТПИРАЮЩИЙ ТОК УПРАВЛЯЮЩЕГО ЭЛЕКТРОДА

Отпирающим током управляющго электрода IGT принято на­ зывать наименьшее значение постоянного тока через управляю­ щий электрод, необходимое для переключения тиристора из за­ крытого в открытое состояние. В технической литературе отпи­ рающий ток управляющего электрода часто называют статичес­ ким током управления или даже просто током управления тири­

стора.

Расчетам отпирающего тока управляющего электрода посвя­ щен целый ряд работ [2.13—2.19]. Наиболее полно применитель­ но к современной конструкции силовых тиристоров этот вопрос ис-

27

Рис. 2.10. Полупроводниковая структура совре­ менного силового тири­ стора

следован в [2.14—2.17]. Ниже будет дан в обобщенном виде рас­ чет, основанный преимущественно на результатах этих работ.

Конструкции современных силовых тиристоров, как правило, содержат вспомогательную (ВС) и основную (ОС) р-п-р-п струк­ туры (рис. 2.10) и отличаются большим разнообразием тополо­ гии этих структур [2.20, 2.21]. Однако с тем или иным приближе­ нием при расчетах I GT все эти структуры можно рассматривать как структуры, имеющие прямоугольную или цилиндрическую форму с шунтировкой или без нее вдоль границы катодного пе­ рехода.

Расчет /сг проведем при следующих упрощающих предполо­ жениях:

1.Все параметры структуры однородны по ее площади.

2.В базовом слое p-типа реализуется низкий уровень инжек­ ции. Уровень инжекции в п-базе может быть низким или средним, однако выполняется условие резкой несимметричности структуры:

где рр, Wp— удельное сопротивление и толщина p-базы; ря, Wn— удельное сопротивление (с учетом модуляции проводимости при средних уровнях инжекции) и толщина п-базы.

3. Линии тока неосновных носителей в р-базе перпендикуляр­

ны плоскости р-п переходов,

а продольный ток

(вдоль оси г,

рис. 2.10) в р-базе является

дрейфовым током

равновесных ос­

новных носителей заряда. Это допущение неоднократно использо­

валось при анализе транзисторных и тиристорных

структур

[2.15, 2.22, 2.27]. Условие' (2.52) позволяет пренебречь

продоль­

ным (вдоль оси г) током подвижных носителей заряда

в /г-базе

по сравнению с соответствующим током в р-базе.

 

4. Коллекторный переход смещен в обратном направлении. На­ пряжение на коллекторном переходе достаточно велико (^5-*- 10 В), чтобы принять его равным анодному напряжению и пре­ небречь изменением плотности обратного тока коллекторного пе­ рехода вдоль координаты г.

5. Сопротивление широко используемой в настоящее время ди­ скретной шунтировки катодного перехода' /3 можно заменить эк-

28

Бивалентным сопротивлением равномерно распределенных по пло­ щади структуры омических утечек [2.6].

6. Коэффициент инжекции анодного перехода равен 1. Исходя из выполнения условия электронейтральности в эле­

ментарных объемах базовых слоев, при оговоренных допущениях распределение напряжения на катодном переходе /з можно опи­ сать следующим уравнением [2.15]:

Д8 =

— o^exp 0 + а2ехр —

+ я30— я4,

(2.53>

где Д0 — лапласиан

0;

0 =

qUjJkT — нормированное

(в едини­

цах kT/q) напряжение на катодном переходе;

 

 

 

я

р„ ,

Рр+

Рп +1

 

ai - - k T l r ^ j5i>

ГЧЪ

 

____ я

Рр

, .

ъ .

 

“г —

kT

w 'го.

«з — W R '

 

а*~

Я

Рр

 

.

 

kT

wp 1— Р„

ai + a*

 

JSj9 — плотность тока насыщения катодного перехода; рр и рп — коэффициенты переноса неосновных носителей через р- и п-базу соответственно (с учетом модуляции толщины этих баз при боль­ ших анодных напряжениях); / г0 — параметр, зависящий от кон­ центрации и природы рекомбинационных центров в эмиттерных переходах; Rit — удельное сопротивление омических утечек ка­ тодного перехода ( при необходимости с учётом эквивалентной за­ мены сопротивления дискретной шунтировки катодного перехо­ да); hi»— плотность обратного тока коллекторного перехода.

Уравнение (2.53) в общем случае не решается аналитически. Поэтому рассмотрим приближенные его решения для р-п-р-п структур различной конструкции, предварительно остановившись, на анализе одномерной модели тиристора.

Одномерная модель тиристора. Лапласиан 0 в этом случае ра­ вен нулю и уравнение (2.53) можно записать в виде

F ( b ) =

— дхехр 0-j-a2exp----1—а30— а4 =

0.

(2.54)*

Это уравнение

в общем случае'

имеет два

корня: 0i

и 02

(рис. 2.11). Корень fli соответствует

устойчивому,

а корень

Ог­

неустойчивому выключенному состоянию тиристора. Через /от- обозначена плотность отпирающего тока управляющего электрода.

Из рис. 2.11 видно, что выражение для /от можно представить

ввиде

~/^1от = ^(9„.) = - а 1ехр 6 „+ 0 ! м р - ^ - + « А - « . . (2.55>

29

Рис. 2.11. К определению корней уравнения (2.54)

 

п

а)

I

 

 

0)

 

 

Р

 

_g_____

 

 

1

п

 

i

л

i

 

 

 

Р

|

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

J____________1

д

 

0

X

О1

 

 

 

Рис. 2.12. Схематическое изображение тиристоров

прямоугольной

формы

без (а)

к с шунтировкой (б) катодного эмиттера при х=1х

 

 

 

где 0щ— значение,

при котором функция F(0)

достигает макси­

мума.

 

 

 

 

 

 

 

Приравняв нулю dF(Q)fdQ, получим

 

 

 

 

в”=2,"Ь£-+/

 

 

 

 

(2.56)

 

 

 

 

 

 

 

•а из (2.55) будем иметь

 

 

 

 

 

 

кТ

Wp ( 1

А«

 

п

1

(2.57)

JGT = —

[ - 2 - Д г е х р - 2 - +

а

3 (%п ~

l ) ~ ^ J *

Неодномерная модель. Тиристоры прямоугольной формы. Про­ тяженность структуры в направлении, нормальном к плоскости рисунка (рис. 2.12), примем равной lG.

Для структур прямоугольной формы лапласиан Q=d2Q/dx2 и первый интеграл уравнения (2.53) можно представить в виде

(-2 J-)’ = - 2а,е>+ 4а3ет ' - f а.в* - 2а,9+ С,.

(2.58)

Граничными условиями для решения уравнения (2.53) в рас­ сматриваемом случае являются

(2.59)

-5 -1,, = О или

— 0.

(2.60)

30

Соседние файлы в папке книги