книги из ГПНТБ / Илюкович А.М. Измерительные усилители малых токов с логарифмической характеристикой
.pdfвеским полем. В качестве таких элементов в настоящее бремй используются электростатические измерительные механизмы, специ альные (электрометрические) лампы, динамические конденсаторы, варикапы, МОП-транзисторы и сегнетоэлектрики.
Исторически первым измерителем напряжения с бесконечно большим входным сопротивлением являлся электростатический элек трометр. Паразитный ток электростатического электрометра в основ ном обусловлен только паразитным током изоляторов и может быть сделан малым. У лучших типов таких электрометров порог чувст вительности по напряжению лежит на уровне 50— 100 мкВ. Приборы этого типа находят некоторое применение в схемах ЭМУ до настоя-
%
щего времени, однако в силу ряда недостатков, основными из кото рых являются сложность механической конструкции и повышенная чувствительность к тряске, вибрациям, наклонам, электростатиче ский электрометр представляется малоперспективным прибором для
данной цели.
Более широкое применение в качестве входного элемента ЭМУ получили электрометрические лампы. Электрометрическими называ ются электронные лампы, сеточный ток которых лежит на уровне 10—12__10 "13 А и ниже, что достигается рядом конструктивных и ре жимных особенностей ламп [Л. 11]. С целью уменьшения сеточного тока электрометрические лампы работают при пониженной до оШ 900 К температуре катода и низком (5— 15 В) анодном напряже нии. При этом анодный ток ламп разных типов лежит в пределах 1—500 мкА, а крутизна — в пределах 10—300 мкА/В. Отечественной и зарубежной промышленностью выпускаются электрометрические триоды, тетроды и пентоды. Коэффициент усиления ц триодов и тетродов находится на уровне 1—2,5, а у пентодов достигает II 000
и более.
10
При неизменном входном напряжении электрометрической лам пы ее выходное (анодное) напряжение может значительно изме няться при изменениях напряжения накала, анодного тока, темпе ратуры окружающей среды, а также при изменении эмиссионной способности катода в результате его старения. Это изменение вы ходного напряжения принято оценивать дрейфом— эквивалентным изменением напряжения управляющей сетки лампы. С целью умень шения дрейфа применяют несимметричную (одноламповую) и сим метричную (двухламповую) балансные схемы входных каскадов и стабилизацию питающих напряжений. Это позволяет уменьшить дрейф до десятых долей милливольта в час [Л. '11]. Широкое рас пространение получила параллельно-балансная схема входного кас када ЭМУ на сдвоенной электрометрической лампе, обеспечиваю щая уменьшение дрейфа до десятых долей милливольта в час срав нительно простым схемным решением.
В качестве примера ЭМУ с ламповым входным каскадом рас смотрим схему усилителя У1-6, серийно выпускаемого одним из оте чественных приборостроительных заводов [Л. 8]. Схема усилителя приведена на рис. 3. Первый каскад усилителя выполнен на субминнатюриом электрометрическом пентоде Л i типа ЭМ-10. Входной
сигнал подается на управляющую сетку лампы. Усиленное напря жение снимается с сопротивления анодной нагрузки Ri и подается
на управляющую сетку лампы второго каскада усиления напряже ния Лг (1Ж18Б). Резисторы iR2—Re определяют режим обеих ламп по цепи накала. Резисторы # 7—Ro обеспечивают питание экраниру ющей сетки лампы Л i стабилизированным напряжением от пара метрического стабилизатора Дн, Д 1 — Дз. Резистором Rs осуществ ляется грубая, а резистором R a — точная регулировка нуля ЭМУ. Конденсатор Сi ограничивает полосу пропускания усилителя в обла
сти высоких частот. С выхода второго каскада (сопротивление анодной нагрузки лампы Лг — резистор Rw) сигнал подается на
транзисторный усилитель напряжения, выполненный по схеме с об
щим эмиттером на |
транзисторе T t. |
Резистор R 12 |
является коллек |
|||
торной нагрузкой |
каскада, |
резистор |
Rts |
ограничивает усиление |
и |
|
улучшает температурную |
стабильность. |
Сигнал |
с коллектора |
Ti |
подается иа базу транзистора Т2, включенного по схеме с общим коллектором. С нагрузки этого каскада (резистор Ru) снимается
выходное напряжение ЭМУ. Питание усилителя осуществляется от транзисторного стабилизатора напряжения (на схеме не показан).
Усилитель У 1-6 имеет следующие параметры: входной (паразитный) ток не более 5 -1 0 -15 А;
дрейф входного напряжения (изменение постоянной составля ющей напряжения помехи) в среднем 1 мВ за 20 мин;
коэффициент усиления не менее 1 000; выходное сопротивление не более 5 Ом.
Широкое применение в высококачественных ЭМУ находят ди намические конденсаторы, являющиеся в настоящее время лучши ми входными элементами ЭМУ. Динамический конденсатор пред ставляет собой емкостный вибрационный преобразователь постоян ного или медленно изменяющегося напряжения в напряжение отно сительно высокой частоты. Наиболее распространены динамические конденсаторы с одной неподвижной и одной или двумя подвижными пластинами, возбуждаемыми с помощью автономного генератора на частоте свободных или вынужденных колебаний подвижных пла стин.
11
Эквивалентная схема входном цепи ЭМУ с динамическим кон денсатором приведена на рис. 4,о. Источник сигнала е с внутренним сопротивлением г подключается к динамическому конденсатору С, через резистор R\. При этом соблюдают условие i?iCoi>-1//п. где Со1— емкость динамического конденсатора при отсутствии возбуж дения; fn — частота преобразования динамического конденсатора.
Соблюдение этого условия приводит к тому, что заряд на динами ческом конденсаторе не изменяется при изменениях емкости кон денсатора, вызываемых колебаниями подвижной пластины. В этом случае справедливо выражение
|
|
Q |
Q |
|
|
|
(2) |
|
иС1 = р = г -= |
-р— (1 -f- т sin co„t) — с (1 + т sin »„/). |
|||||
|
|
'-'l |
^01 |
|
|
|
|
где |
Q — заряд |
на динамическом |
конденсаторе; т = Л С (/С01; |
ACi— |
|||
максимальное изменение емкости динамического конденсатора. |
|||||||
|
Переменное напряжение «см с динамического конденсатора че |
||||||
рез |
конденсатор |
Сг |
подается |
па |
вход усилителя низкой |
частоты |
|
{>Rz— входное |
сопротивление |
усилителя). Оптимальное |
значение |
коэффициента преобразования динамического конденсатора (отно
шения амплитуды |
выходного напряжения |
//лих |
к напряжению |
||
источника сигнала |
е) имеет место при |
RгСг= |
1 /7гт |
и С2= С щ |
[Л. 1]. |
Отсюда следует, что чем выше частота |
преобразования, тем |
меньше |
|||
(при одной и топ же емкости динамического конденсатора) |
необхо |
||||
димое значение входного сопротивления усилителя |
низкой |
частоты |
(УНЧ). Так, при емкости динамического конденсатора 20 пФ и ча стоте преобразования 300 Гц входное сопротивление УНЧ должно равняться примерно 1,7-Ю 8 Ом, что приводит к необходимости при менения высокоомных (лампа, МОП-транзистор) входных элемен тов УНЧ. При частоте преобразования порядка нескольких кило герц входное сопротивление может быть значительно уменьшено и возможно применение биполярных транзисторов.
Входное |
сопротивление |
ЭМУ с |
динамическим конденсатором |
|||
определяется |
сопротивлением изоляции |
конденсаторов Сi |
и С« и |
|||
в реальных случаях достигает 1015—1011 |
Ом, входной (паразитный) |
|||||
ток находится на уровне |
10~17— 10_,а |
А, дрейф |
нулевого |
уровня |
||
(изменение постоянной составляющей |
напряжения |
помехи) |
состав |
ляет от 50 до 200 мкВ/24 ч. Действующее значение шумов динами
ческого конденсатора достигает 15 мкВ.
В динамических конденсаторах применяется электромагнитное или электростатическое возбуждение колебаний подвижных пластин. Как правило, динамические конденсаторы с электростатическим воз буждением имеют более высокую частоту преобразования, п.х конст рукция допускает применение высокоэффективной технологии изго товления детален, обеспечивающей снижение паразитного тока и дрейфа нулевого уровня. Благодаря этому ЭМУ на таких конден саторах имеют в настоящее время лучшие параметры: действующее значение шумов 2 мкВ, паразитный ток 10- *7 А, дрейф нулевого уровня 20 мкВ/24 и 20 мкВДС. Недостатками ЭМУ с динамическим конденсатором являются сравнительно узкая полоса пропускания, поскольку частота входного сигнала должна быть значительно мень ше частоты преобразования, и некоторое усложнение конструкции по сравнению с ламповыми ЭМУ (наличие генератора возбуждения динамического конденсатора и демодулятора). Однако, несмотря на это, ЭМУ с динамическими конденсаторами наиболее широко при меняются в электрометрической аппаратуре.
12
Типовая функциональная схема электрометрического усилителя с динамическим конденсатором приведена на рис. 4,6. Входное на
пряжение подается |
на зажимы Г i и А и через резистор |
А посту |
пает к высокоомной |
пластине динамического конденсатора |
Ct. Дина |
мический конденсатор возбуждается с помощью генератора возбуж дения ГВ. Преобразованное напряжение через фильтр С ,А подает ся на вход предварительного усилителя ПУ, первый каскад которо
го выполняется обычно на электрометрической лампе или полевом транзисторе. Иа выходе предварительного усилителя включается фазовращатель ФВ, обеспечивающий изменение фазы переменного
напряжения сигнала иа 90°, с целью согласования фаз основного и управляющего сигналов. После фазовращателя сигнал подается на оконечный усилитель ОУ и затем на синхронный детектор СД. Одно-
Рис. 4. Эквивалентная схема входной цепи (а) и функциональная схема (б) ЭМУ на динамическом конденсаторе.
временно на синхронный детектор подается управляющий сигнал от генератора возбуждения динамического конденсатора. Синхрон ный детектор устойчиво работает только при сигналах, имеющих сравнительно малую амплитуду, и не позволяет снимать большую мощность по постоянному току. Поэтому в некоторых случаях после него включают усилитель постоянного тока УПТ. Выходное посто янное напряжение поступает непосредственно к зажимам электро метрического усилителя А и А . -
Полевые транзисторы с изолированным затвором (МОП-транзи- сторы) в качестве входных элементов ЭМУ стали применяться срав нительно недавно. По принципу применения они эквивалентны элек трометрической лампе, однако до недавнего времени, как правило, уступали последней в отношении паразитного тока и входного со противления. В настоящее время за рубежом серийно выпускаются ЭМУ на МОП-транзисторах с характеристиками, близкими к харак теристикам ЭМУ на электрометрических лампах. Электрометриче ские усилители на МОП-транзисторах перспективны в том отноше-
ипи, что они могут работать в более жестких условиях (тряска, вибрации).
Варикапы (полупроводниковые управляемые емкости) и сегнетоэлектрнки используются аналогично динамическому конденсато ру в качестве преобразователей постоянного тока в переменный в усилителях постоянного тока по схеме модулятор — демодулятор. Их достоинством является возможность работы на более высоких частотах преобразования, что позволяет расширить частотный диа пазон измеряемых величии и упростить конструкцию ЭМУ. По дрей фу нулевого уровня и шумам преобразователи па варикапах близ ки к преобразователям на динамических конденсаторах, однако зна чительно уступают последним в отношении входного сопротивления и паразитного тока п в связи с этим пока пе получили широкого применения.
Определяя влияние параметров входных элементов на парамет ры ЭМУ, следует иметь в виду, что постоянные составляющие помех по току и напряжению в ряде случаев могут быть компенсированы при рациональном построении схемы ЭМУ н выборе соответствую щей методики измерения (балансные схемы, компенсирующие источ ники тока и напряжения, отсчет приращения выходной величины, изменение полярности входного сигнала и т. и.). При этом влияние на погрешность измерения оказывают только изменения названных параметров за время измерения, которые в большинстве случаев значительно меньше постоянных составляющих.
Нестабильность коэффициента усиления ЭМУ обычно устраня ется применением цепей обратной связи. Поскольку необходимое усиление выходного сигнала преобразователя ток — напряжение по напряжению невелико (как правило, не более 10— 100), его подают непосредственно в цепь обратной связи ЭМУ.
3. |
Измерители тока с |
линейными |
преобразователями |
|||
ток — напряжение |
|
|
|
|
||
|
Измерители |
малых токов |
с |
резистивным |
преобразователем |
тока |
в |
напряжение |
выполняются |
в |
настоящее время только по |
схеме |
с включением преобразователя в цепь параллельной отрицательной обратной связи ЭМУ по напряжению. На рис. 5,а приведена прин
ципиальная, а на рис. 5,6— эквивалентная схема такого измерителя. Измеряемый ток / подается на входные зажимы ЭМУ. На выходе ЭМУ включены измеритель выходного напряжения, И и регулятор глубины обратной связи R^. Как правило, R$ выполняется в виде
делителя с фиксированными значениями коэффициента деления, переключаемого при смене поддиапазонов измерения тока с целью обеспечения постоянства максимального значения выходного напря
жения |
в каждом из поддиапазонов. Резистивный преобразователь |
|
R nv |
включен между входным потенциальным зажимом и делителем |
|
/?р. |
Во |
входной цепи ЭМУ действуют эквивалентный источник тока |
помех ins и эквивалентный источник напряжения помех еВхВход ные зажимы ЭМУ зашунгироваиы сопротивлением Rn* и емкостью
CDX. Резистивный преобразователь представлен сопротивлением '/?Пр, эквивалентным источником напряжения помех еПр и шунтирующей емкостью Сш.
Н
lipn выполнении условий |
|
|
К$ > ~ETJf' |
^ |
R'n’• |
где Kfi — глубина обратной связи |
ЭМУ; |
AI/I — относительная по |
грешность измерения тока в погрешность измерения тока определя
ется |
выражением |
|
AR,Illl |
AS |
|
|
|
М |
|
|
(3) |
||
|
/ RBt |
/ |
' R,UP |
+ ■{. |
|
|
|
|
|
|
|||
где |
ARavIRnp — относительная погрешность |
сопротивления |
преобра |
|||
зователя; Др/Р — относительная погрешность установления |
расчет |
|||||
ного |
значения коэффициента |
деления |
потенциометром R |
у — отно |
||
сительная погрешность измерителя выходного напряжения ЭМУ. |
||||||
|
Рассматривая последнее |
выражение, можно прийти |
к |
выводу, |
что погрешность измерения тока зависит от параметров преобразо вателя (Rap, ARnV, е„р), ЭМУ (enx, ins) и измерителя выходного
Рис. 5. Принципиальная (а) и эквивалентная (б) схемы измерителя
малых токов с резистивным преобразователем тока в напряжение.
напряжения (у, .р, Ар), поскольку значение Р выбирается из условий
согласования напряжения на преобразователе с пределом измере ния измерителя напряжения И. В реальных случаях основное влия
ние па погрешность измерения тока оказывает относительная по грешность сопротивления преобразователя, определяемая неточно стью измерения, временным дрейфом и температурной нестабильно стью этого сопротивления. При измерении весьма малых (10-15— 10-13 А) токов, т. е. при малых значениях напряжения на преобра
зователе, |
существенное |
влияние |
на |
погрешность |
оказывает также |
||
помеха по напряжению во входной цепи ЭМУ евх. |
|
||||||
В том случае, если быстродействие ЭМУ (и измерителя выход |
|||||||
ного напряжения) |
не |
вносит ограничений, эквивалентная емкость |
|||||
(Сш + С щ ДР) |
и |
эквивалентное |
сопротивление |
RupRaxKfil (Rnp + |
|||
+Rn*K$) |
определяют |
максимальную |
рабочую частоту измерителя |
||||
тока. |
|
|
|
|
|
|
|
Измерители |
малых |
токов с |
емкостным преобразователем тока |
в напряжение выполняются в подавляющем большинстве случаев по схеме с включением интегрирующего конденсатора в цепь парал лельной отрицательной обратной связи ЭМУ по напряжению. Прин-
15
ципнальная и эквивалентная схемы такого измерителя приведены на рис. 6. Измеряемый ток /, поданный на вход измерителя, заряжа ет интегрирующий конденсатор С„р, причем скорость изменения на пряжения на конденсаторе определяется выражением
du _ |
/ |
dt |
С „11 |
Выходное напряжение ЭМУ измеряется прибором И, по изме
нению показаний которого за определенный промежуток времени определяют среднее значение измеряемого тока. Погрешность изме рения тока зависит от параметров эквивалентной схемы: помех по току входной цепи ЭМУ (i'dx) и конденсатора ((Пр), помех по на пряжению во входной цепи ЭМУ (епх), входного (Rих) и шунтиру ющего (Rm) сопротивлений и входной емкости ЭМУ (С и ). ‘Кроме
Рас. 6. Принципиальная (а) и эквивалентная (б) схемы измерителя
малых токов с емкостным преобразователем тока в напряжение.
того, на нее оказывают влияние погрешность определения емкости интегрирующего конденсатора, погрешности измерения времени интегрирования и выходного напряжения ЭМУ. Значения погрешно сти измерения тока определяются выражением
|
Д/ |
|
ASn-r |
I + 'п. |
ДСпр + Слх!КР |
|
|
/ |
2RC,пр |
|
|
к |
|
|
At |
|
сUP |
|||
|
|
|
+ |
|
(4) |
|
|
|
|
— г - Н . |
|
||
где |
f —■время |
интегрирования; |
Д< — погрешность |
измерения време |
||
ни |
интегрирования; R=RfiR„xRnil(I<.$RBx+Rm) — эквивалентное |
|||||
шунтирующее |
|
сопротивление; ДСпр — погрешность |
определения ем |
кости интегрирующего конденсатора; Де„х — изменение среднего зна чения помех по напряжению за время интегрирования.
Как видно из этого выражения, эквивалентное шунтирующее сопротивление определяет не только систематическую погрешность измерения тока, но и максимально допустимое значение времени интегрирования (поскольку необходимо, чтобы t<£RCПр).
Погрешность ' измерения тока измерителем с емкостным преоб разователем может находиться на уровне десятых долей процента.
16
Это объясняется тем, что погрешность преобразователя, определя емая неточностью измерения, временным дрейфом и температурной нестабильностью емкости интегрирующего конденсатора, лежит, как правило, на уровне 0,1%, а изменение среднего значения помех по напряжению за время интегрирования незначительно. Влияние вход ной емкости также невелико, поскольку глубина обратной связи может иметь довольно большие значения. Основное влияние на по грешность измерения при этом оказывает суммарная помеха по то ку (inp+ins:)- Однако в некоторых случаях постоянная составляю щая этой помехи может быть исключена.
Основными эксплуатационными недостатками интегрирующих измерителей тока являются цикличность работы и необходимость
измерения времени интегрирования. В настоящее время известны интегрирующие измерители, в которых эти недостатки исключают ся, например, путем автоматической периодической компенсацией заряда интегрирующего конденсатора. Однако при этом усложня ется схемаприбора и, как правило, появляется погрешность, обус ловленная набросом заряда при коммутации цепи интегрирующего конденсатора, в связи с чем такие приборы пока не получили широ кого распространения.
Измерители малых токов с резистивными и емкостными пас сивными преобразователями тока в напряжение серийно выпуска ются многими зарубежными фирмами, наиболее известными из ко торых являются Keithley Instruments (США) и Takeda Riken (Япония). В нашей стране освоен серийный выпуск такой аппара туры, в основном на базе ламповых ЭМУ.
Как |
правило, электрометрические измерители выполняются |
в виде |
комбинированных многопредельных приборов, предназна |
ченных для измерения напряжения высокоомных источников и тока с резистивным и емкостным преобразователями. Принципиальная схема комбинированного электрометрического измерителя (получив шего в практике не совсем оправданное наименование электромет рического усилителя) приведена на рис. 7. При измерении тока сиг нал от источника подается на входные зажимы ЭМУ с включенны
ми |
в цепь |
обратной связи резисторами R i, Я2 . ■. |
или конденсатора |
ми |
Ct, С , |
. . . , коммутируемыми переключателем |
Пр. При достаточ |
но высоком значении коэффициента усиления К выходное напряже
ние |
(при работе с резистивными |
преобразователями) |
или скорость |
|||
изменения выходного напряжения |
(при работе с емкостными преоб |
|||||
разователями) определяется выражениями |
|
|
||||
|
|
^оых — ~т~ (R„pl + Ui)'> |
|
|||
|
|
dt |
~ |
Т Cnр ■ |
|
|
где |
|3 — коэффициент |
деления |
выходного |
напряжения делителем |
||
Rpl |
Rap и Сар — значения сопротивления или емкости, включенных |
|||||
в цепь обратной связи; |
Ui — напряжение компенсации дрейфа нуля. |
|||||
|
Как видно из приведенных |
выражений, |
пределы |
измерения мо |
гут изменяться (при постоянном пределе измерителя выходного на пряжения И) путем выбора соответствующего цезистора (конден
сатора) или переключения делителя Яр. |
Диапазон измерения^ с"каж'-"............ |
|
Дым резистором (или конденсатором) |
определяется несколькими у |
|
2—462 |
| |
С1-^я:.з U .d J7C ц';а ‘ |
|
I |
^ КЗЕГ.'.пЛЯР |
|
I |
‘•'ч /г -.и о г о 3 АЛ Л |
факторам». Верхняя граница диапазона в реальных случаях зави
сит от максимального выходного |
напряжения |
ЭМУ, которое, как |
правило, лежит в пределах 10—30 |
В и лишь |
в единичных случаях |
достигает 100 В. Нижняя граница |
диапазона |
в случае применения |
резистора, определяется переменными составляющими помех по на пряжению к току, так как постоянные, составляющие помех могут быть скомпенсированы регулировкой источника Ui. Обычно не уда
ется снизить предел измерения напряжения на резисторе ниже .1 мВ,
что соответствует |
минимальному измеряемому |
току порядка 10~15 А |
||||||||
|
|
|
(на всю шкалу). Результи |
|||||||
|
|
|
рующее значение помех, а так |
|||||||
|
|
|
же |
коэффициент |
напряжения |
|||||
|
|
|
резисторов обусловливают |
зна |
||||||
|
|
|
чительную (до 5—10%) по |
|||||||
|
|
|
грешность измерения таких то |
|||||||
|
|
|
ков. При больших измеряемых |
|||||||
|
|
|
токах |
погрешность уменьшает |
||||||
|
|
|
ся |
до |
2—3%. |
|
|
|
||
|
|
|
|
При измерении тока с ем |
||||||
|
|
|
костным |
преобразователем |
в |
|||||
|
|
|
цепь обратной связи включает |
|||||||
|
|
|
ся |
один |
из |
конденсаторов |
С\, |
|||
|
|
|
С2 |
. . . Верхний |
предел |
изме |
||||
|
|
|
ряемых токов с каждым кон |
|||||||
|
|
|
денсатором |
ограничивается |
ма |
|||||
Рис. 7. |
Принципиальная схема |
ксимальным |
значением |
выход |
||||||
комбинированного |
электрометри |
ного |
напряжения |
ЭМУ |
и |
ми |
||||
ческого |
измерителя. |
нимально |
необходимым |
време |
||||||
|
|
|
нем интегрирования, позволяю |
|||||||
|
|
|
щим |
произвести |
отсчет |
прира |
щения напряжения с требуемой точностью; нижний предел опреде ляется скоростью изменения помех по току и напряжению во вход ных цепях ЭМУ и интегрирующем конденсаторе. Существенное влия ние на выбор нижнего предела измеряемых токов оказывает также ограничение максимального времени измерения эксплуатационными условиями.
При измерениях с емкостным преобразователем тока , в напря жение целесообразно скомпенсировать постоянную составляющую помех по току путем подачи на вход ЭМУ тока от каких-либо (ре зистивных, ионизационных и т. п.) встроенных источников.
Погрешность интегрирующего измерителя тока при рациональ ном выполнении входных цепей ЭМУ и интегрирующих кондеисато- "ров может быть снижена по крайней мере на порядок по сравнению с приборами, имеющими резистивные преобразователи. Интегриру ющие измерители позволяют также получить большую чувствитель ность.
При измерении напряжений высокоомных источников измеряе мое напряжение U подается в цепь обратной связи ЭМУ. Очевидно,
что при условии А(33>1 выходное напряжение ЭМУ |
£/вых = |
Н/|3, из |
||
чего следует, что единственным |
способом |
регулирования |
предела |
|
измерения является перестройка |
делителя Rp |
(при |
постоянном пре |
деле измерения прибора И). Верхний предел измерителя напряже
ния ограничивается максимальным значением выходного напряже ния ЭМУ, нижний — изменением среднего значения помехи по на пряжению во входной цепи ЭМУ за время измерения.
18
N3 |
Т а б л и ц а 1 |
|
Измерение тока
Тип из-
Изготовитель |
|
|
|
|
Пределы, |
Погреш |
Преобразова |
Дрейф |
Пределы, |
А |
ность, % |
тель |
В |
615 |
K eithley |
10 - 1а— ю -1 |
0,5 |
макс. 1011 Ом |
0 ,5 “/о/8 |
ч |
0 ,1 — 100 |
(цифро |
Instruments, |
|
|
|
|
|
|
вой) |
США |
|
|
|
|
|
|
640 |
То же |
10-15—з- 10-5 |
2 — 4 |
10*5— 105 —Ом |
0,2% /24 |
ч |
3 -1 0 -5 -3 0 |
TR-8651 |
Takeda |
ю - 1*—3 -10 -' |
2 + y* |
макс. 10п Ом |
— |
|
1 — 100 |
|
Riken, |
|
|
|
|
|
|
|
Япония |
|
|
|
|
|
|
TR-84M |
То же |
10->5---3-10-5 |
5 , 3 + y* |
Ю'О— Ю12 Ом 3- J0 - ,GА/24 ч 0,001—30 |
|||
BK2-I6 |
СССР |
10-55—3- 10-5 |
10 |
108— Ю12Ом 2-10-5 оа /2 4 |
ч 0,001—30 |
||
|
|
|
|
100 пф |
|
|
|
Измерение напряжения |
|
|
Погреш |
Входное |
Дрейф |
ность, % |
сопротив |
|
|
ление |
|
0,2 IQ14 Ом 1 мВ/24 ч
1 1010 Ом 20 мкВ/24 ч
1+Y* — —
0 , 3 + y* 10’5 Ом 300 мкВ/24 ч
2 ,5 —4 Ю16 Ом 200 мкВ/24 ч
Т — погрешность индикаторного прибора.