3.3. Расчет трехслойного отражающего покрытия.

Рисунок 3. Структура трехслойного отражающего покрытия.

Для трехслойного отражающего покрытия соотношения показателей преломления должны удовлетворять следующим условиям:

;

где , - показатели преломления внешних отражающих слоев;

- показатель преломления внутреннего отражающего слоя;

- показатель преломления подложки;

, , - толщины отражающих слоев;

, , - оптические толщины отражающих слоев.

Так как в качестве значений показателей преломления внешних слоев используются рассчитанные ранее показатели преломления слоев двухслойного покрытия, показатель преломления внутреннего слоя будет равен показателю преломления верхнего отражающего слоя.

Наименование материала______________________Состав слоя___________

Метод нанесения________________Температура _________________

Рассчитаем по формуле Френеля интегральный коэффициент отражения :

Построим график спектральной зависимости коэффициента отражения R₁₅ от угла сдвига фаз , варьируя оптической толщиной пленки в заданном интервале длин волн.

Для построения графика зависимости заполним таблицу 15.

Угол сдвига фаз определяется по формуле:

при .

При ; ; угол сдвига фаз ; ; , а .

При ; угол сдвига фаз ; , а .

Энергетический коэффициент отражения системы воздух – пленка – подложка рассчитывается по формуле:

,

где - амплитудный коэффициент отражения, который последовательно рассчитывается из следующих формул:

При :

;

При :

;

Энергетический коэффициент пропускания можно рассчитать по формуле: .

Таблица 5.

	0
	0
	1	-1	1	-1	1

На основании данных таблицы 5 построим график зависимости .

Построим график спектральной зависимости коэффициента отражения R₁₅ от длины волны в заданном интервале длин волн.

Для построения графика зависимости заполним таблицу 16.

Значения длин волн в первой строке будут аналогичны значениям, приведенным в первой строке таблиц 12, 14.

Таблица 6.

, нм

Для каждого значения определим угол сдвига фаз при :

Вычислим значения для каждой длины волны .

Рассчитаем энергетические коэффициенты отражения системы воздух – пленка – подложка для каждой длины волны .

На основании данных таблицы 6 построим график зависимости .

Для определения оптимальной конструкции просветляющего покрытия составим сводный график зависимости .

Вывод: для заданных выше параметров (материал подложки, рабочий диапазон, рабочая длина волны) конструкция покрытия, состоящего из ____ слоев, является оптимальной, т.к.______________________________________ __________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________.

Условное обозначение данного покрытия:_________________________.