- •Гибридные интегральные микросхемы
- •1. Элементы и компоненты гибридных интегральных микросхем
- •1.1. Подложки гис
- •1.2. Элементы гис
- •1.3. Компоненты гис
- •2. Технология производства гибридных интегральных микросхем
- •2.1. Технологические маршруты производства тонкопленочных гис
- •2.2. Технологические маршруты производства толстопленочных гис
- •2.3. Нанесение тонких пленок в вакууме
- •2.3. Нанесение толстых пленок
- •3. Применение гис микросхем в микроэлектронной аппаратуре
- •3.1. Особенности применения гис в мэа
3. Применение гис микросхем в микроэлектронной аппаратуре
3.1. Особенности применения гис в мэа
В аналоговой аппаратуре ГИС по сравнению с полупроводниковыми ИМС имеют более широкие схемотехнические возможности благодаря использованию различных навесных компонентов (полупроводниковых ИМС, транзисторов, конденсаторов, индуктивных катушек и т.д.). ГИС позволяют реализовать широкий класс функциональных электронных схем – усилителей, преобразователей, коммутаторов, вторичных источников питания, являясь при этом экономически целесообразными в условиях серийного и даже мелкосерийного производства.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Гибридная технология микроэлектронных устройств развивается и совершенствуется в направлении создания конструкций, обеспечивающих высокую плотность и точность монтажа полупроводниковых БИС и СБИС и хороший теплоотвод от этих компонентов. Определенные преимущества дает сочетание в одном изделие тонкопленочной и толстопленочной технологии, получившей название дигибридной.
Таким образом, ГИС – широко распространенный, постоянно совершенствующийся, развивающийся конструктивно-технологический вариант изготовления изделий микроэлектроники. Создание ГИС и БГИС – одна из ступеней микроминиатюризации микроэлектронных устройств, комплексов и систем, перспективное направление развития научно-технического прогресса в области микроэлектроники.
ЛИТЕРАТУРА
1. "Микроэлектроника: Учеб. пособие для втузов. В 9 кн. /под ред. Л.А. Коледова. Кн. 4. Гибридные интегральные микросхемы/ Л.А. Коледов, Э.М. Ильина. – М.: Высш. шк., 1987.
2. Малышев И.А. "Технология производства интегральных микросхем". – М.: Радио и связь, 1991.
3. Курносов А.И. "Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем". – М., 1979.