Конструкция магнетрона
Магнетроны обеспечивают высокую скорость нанесения покрытия и макисмальное использование материала мишени.
Можно установить до трех источников с диаметром мишени 75 мм или 100 мм для увеличения зоны распыления. Также возможно использование магнетронов с меньшей площадью мишени.
Продуманная конструкция магнетрона позволяет быстро и просто производить смену мишени. Использование мишеней в виде диска минимизирует расход распыляемого материала.
Магнетрон состоит из:
Источники питания распылительных систем
|
Блоки питания ПТ мощностью 600 или 1500 Вт и ВЧ генераторы мощностью 1500 Вт позволяют реализовать множество вариантов как последовательного, так и одновременного напыления несколькими магнетронами. Источники ПТ могут быть применены для распыления всех проводящих материалов, ВЧ источники требуются для распыления диэлектриков. Все ВЧ источники обеспечены автоматической подстройкой частоты для уменьшения потерь энергии в токоведущем кабеле при согласовании с нагрузкой. Силовой пакетный переключатель обеспечивает возможности подачи энергии последовательно к трем магнетронам и столику с изделиями. |
3.2 Подложкодержатель
Конструкция компактного, но прочного подложкодержателя, предоставляет инженеру-технологу разнообразные возможности для работы. Чтобы добиться максимальной равномерности по толщине пленки предусмотрена возможность вращения изделий по наибольшому диаметру камеры непрерывно в процессе напыления.
|
Столик подложкодержателя сконструирован для крепления изделий практически любой формы. Для предотвращения перегрева и теплового разрушения подложек в течение длительной обработки подложкодержатель снабжен водяным охлаждением. Кроме того, для подачи ВЧ напряжения в процессе ионной очистки подложек перед напылением и/или во время напыления с ВЧ смещением на изделии, подложкодержатель полностью изолирован.
|
Контроль технологического газа
Продуманная система управления напуском газа позволяет смешивать до трех различных газов, устанавливать и контролировать скорость подачи и пропорции смещивающихся газов. Зачения скорости потока газа непрерывно выводятся на цифровой индикатор передней панели управления.
Многофункциональные установки для нанесения покрытий
Большая камера (500 мм в диаметре, 500 мм высотой)
Фронтально открывающаяся крышка для удобного доступа внутрь камеры
Дополнительные разъемные отверстия в боковых стенках камеры для возможности дополнительного отслеживания процесса напыления и анализаторов остаточного газа
Комплектуются стандартными диффузионными, турбомолекулярными или крионасосами
Все приборы для контроля тонкопленочного напыления и блоки питания собираются в одной стойке
На базе установки может быть размещен весь спектр оборудования для термического, электронно—лучевого и ПТ/ВЧ распылений
Установки для напыления серии Auto 500 с камерой фронтальной загрузки представляют собой многофункциональную системы для научных исследований и опытного производства тонких пленок. Размер камеры позволяет размещать крупногабаритные изделия и комбинировать термическое, электронно-лучевое испарение или магнетронное распыление без разгерметизации рабочего объема.
Вакуумные камеры типа FL 500 устанавливаются на пьедестал, вмещающий откачной пост и подходит для использования с защитной камерой с перчатками.
Приборная стойка содержит системы управления вакумной частью и контрольно-измерительной аппаратурой для контроля процесса нанесения пленки.
«Интеллектуальная» система управления высоковакуумным клапаном обеспечивает выравнивание давлений в рабочем объеме и ниже уровня клапана, за счет последовательного изменения проводимости пропускного канала клапана, в течение всего цикла откачки.
