Принцип действия вакуумной системы

Последовательность включения и выключения системы вакуумной установки для масляной системы откачки (см. принципиальную схему) включает в себя следующие этапы:

Процесс включения:

1. Включается механический форвакуумный насос 14 при закрытых вентилях 8, 11. Контроль форвакуума осуществляется тепловым вакуумметром 12.

2. Открывается вентиль 8, и через систему байпасной откачки производится откачка вакуумной камеры от атмосферного давления P=10⁵ до P=10^-1 Па. Контроль вакуума осуществляется тепловым вакуумметром 4.

3. Закрывается вентиль 8, и открывается вентиль 11. При закрытом вентиле 4 происходит откачка магистрали диффузионного насоса до давления от P=10⁵ до P=10^-1 Па. Контроль вакуума производится тепловым вакуумметром 12.

4. Включается нагрев масла BM5 и охлаждение диффузионного насоса 10. Через 10 минут насос выходит на рабочее давление P=10^-3-10^-4 Па. Контроль вакуума осуществляется магнитным электроразрядным вакуумметром 7.

5. Открывается вентиль 4, соединяющий вакуумную камеру с диффузионным насосом. Происходит откачка камеры на высокий вакуум. Контроль вакуума осуществляется магнитным электроразрядным вакуумметром 2. При этом в вакуумной камере производится процесс нанесения оптических покрытий.

6. После окончания процесса нанесения закрывается клапан 4. С помощью натекателя 6 происходит разгерметизация камеры. Открывается вакуумная камера, и извлекаются готовые оптические детали.

7. Производится закладка второй партии оптических деталей. Камера закрывается. Временно закрывается клапан 11, и открывается клапан байпасной откачки 8. Механический насос 14 откачивает камеру до давления 10^-1 Па.

8. Далее операции повторяются, начиная с п.3.

Процесс выключения:

9. Закрывается затвор 4.

10. Выключается нагрев диффузионного насоса. Охлаждение насоса остаётся. Нагреватель диффузионного насоса охлаждается в течение 40 минут.

11. Закрывается клапан 11.

12. Выключается насос 14. При этом происходит автоматический напуск воздуха через натекатель 13 в форвакуумный трубопровод. Натекатель 3 служит для напуска рабочего газа в камеру (аргон, кислород и др.).

Список использованной литературы

1. Л.Н.Розанов «Вакуумная техника», М., «Высшая школа», 1990.

2. А.И.Пипко и др. «Конструирование и расчет вакуумных систем», М., Энергия, 1970.

3. Е.С.Фролов и др. «Механические вакуумные насосы», М., Машиностроение, 1989.

4. Е.С.Фролов, В.Е.Минайчев, А.Т.Александрова и др. «Вакуумная техника. Справочник»: Под общ. ред. Е.С.Фролова, М., Машиностроение, 1992.-480с.