ПиППИЭ КР 990241 Журков А.О

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ

1Емельянов, В. В. Формирование функциональных слоев нитрида кремния селективным плазмохимическим травлением / Емельянов В. В. // Доклады БГУИР. – 2022. – Т. 20, № 1. – С. 48–54.

2Технология интегральной электроники: учебное пособие по дисциплине «Конструирование и технология изделий интегральной электроники» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии» / Л.П. Ануфриев, С.В. Бордусов, Л.И. Гурский [и др.]; / Под общ. ред. А.П. Достанко

иЛ.И. Гурского. – Минск: «Интегралполиграф», 2009. – 379 с.

11