Список использованной литературы

1. Термическое окисление кремния [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://mmf.bsu.by/wp-content/uploads/2016/11/lec-6.pdf

2. Термическое окисление кремния [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://studfile.net/preview/2716066/page:34/

3. Физико-химические основы микро- и наноэлектроники. Лабораторный практикум [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://libeldoc.bsuir.by/bitstream/123456789/6147/1/Dostanko_Fiz.pdf

4. Термическое окисление кремния [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://studfile.net/preview/7168282/page:23/

5. Технология изделий интегральной электроники [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://www.bsuir.by/m/12_100229_1_75815.pdf

6. Технология полупроводниковых интегральных микросхем [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://studizba.com/lectures/inzhenerija/tehnologija-izdelij-integralnoj-tehniki/40143-struktura-tverdotelnyh-integralnyh-mikroshem.html

7. Типы структур ИМС [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://studopedia.org/4-96697.html

8. Практические занятия-ФТОПФМиНС.

9. Учебное пособие: Парфенов О. Д. Технология микросхем. – М.: Высшая школа, 1986. – 320 с.