Список использованных источников

1 Наноиндустрия. Научно-технический журнал [Электронный ресурс]. – 2023. – Режим доступа: https://www.nanoindustry.su/files/article_pdf/7/

2 Технология химической обработки подложек [Электронный ресурс]. – 2023. – Режим доступа: https://studfile.net/preview/1864952/page:13/

3 Физико-химические процессы производства изделий интегральной электроники [Электронный ресурс]. – 2023. – Режим доступа: https://libeldoc.bsuir.by/bitstream/123456789/2435/3/Met_2011.pdf

4 Технология изделий интегральной техники [Электронный ресурс]. – 2020. – Режим доступа: https://www.bsuir.by/m/12_113415_1_67125.pdf

5 Последовательность формирования диффузионно-планарной структуры [Электронный ресурс]. – 2023. – Режим доступа: https://scienceforum.Ru/2023/article/201803.