3. Пароструйная откачка.

Вакуумные насосы по назначению подразделяются на высоковакуумные, средневакуумные и низковакуумные, а в зависимости от принципа действия – на механические и физико-химические. Основными параметрами любого вакуумного насоса являются: быстрота действия, предельное давление, наименьшее рабочее давление, наибольшее рабочее давление, наибольшее давление запуска и наибольшее выпускное давление [4].

При пароструйной откачке (рис. 3.1) молекулы откачиваемого газа, поступающие в насос через входной патрубок 1, взаимодействуя со струей пара, имеющей звуковую или сверхзвуковую скорость, приобретают дополнительную скорость в направлении насоса предварительного разрежения, присоединяемого к патрубку 6. В камере 3 происходит смешение откачиваемого газа и паровой струи, выходящей из сопла 2. Запирающий канал 4 создает сопротивление обратному потоку газа, обеспечивая коэффициент компрессии насоса. Разделение откачиваемого газа и рабочего пара осуществляется в камере 5 в процессе конденсации рабочего пара на охлажденных поверхностях, после чего откачиваемый газ выходит из насоса через выходной патрубок, а сконденсировавшийся пар поступает по трубопроводу 7 в кипятильник 8, где вновь испаряется, и по паропроводу 9 попадает в рабочее сопло 2, обеспечивая непрерывность процесса откачки.

Рисунок 3.1. Схема пароструйной откачки.

В области высокого вакуума все молекулы откачиваемого газа, перемещаясь за счет самодиффузии, непосредственно взаимодействуют с движущейся струей пара, а насосы, работающие в таких условия, называются диффузионными.

В трехступенчатом диффузионном насосе (рис. 3.2) пары рабочей жидкости из кипятильника проходят по паропроводу через зонтичное сопло и конденсируются на стенках насоса, охлаждаемых холодильником. За время движения пара от конца сопла до стенок насоса в струю пара диффундирует откачиваемый газ.

Рисунок 3.2. Трехступенчатый диффузионный насос:

I – эжекторная ступень; II, III – диффузионные ступени.

В качестве рабочих жидкостей применяются: ртуть, минеральные масла, эфиры, кремнийорганические жидкости.

Список использованных источников

1. Телеш Е.В. / Конспект лекций по дисциплине ”Специальное технологическое оснащение ” – Минск : БГУИР, 2007. – 202 с. : ил.

2. Технологические модули и устройства программно-управляемого оборудования для производства изделий электроники. Лабораторный практикум : пособие / Е. В. Телеш, Я. А. Соловьев. – Минск : БГУИР, 2019. – 75 с. : ил.

3. Вакуумная техника : справочник / К. Е. Демидов [и др.]. – 3-е изд., перераб. и доп. – М. : Машиностроение, 2009. – 509 с.

4. Физические основы вакуумной техники : учеб. пособие / А.Б. Беркин, А.И. Василевский. – Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014. – 84 с.