Список использованных источников
1
Наноиндустрия.
Научно-технический журнал [Электронный
ресурс]. – 2023. – Режим доступа:
https://www.nanoindustry.su/journal/article/6788
2
Жидкофазная
эпитаксия [Электронный ресурс]. – 2021. –
Режим доступа: https://thermo-plan.ru/ehpitaksiya/
3
Эпитаксия
[Электронный ресурс]. – 2023. – Режим
доступа: https://studbooks.net/2116132/
4
Инфракрасное излучение
[Электронный ресурс]. – 2020. – Режим
доступа:
https://gymnasium441.ru/files/predmet/informatika/sites
5
Студенческий
научный форум - 2023 [Электронный ресурс].
– 2023. – Режим доступа:
https://scienceforum.ru/2023/article/201803
6
Вакуумное
оборудование [Электронный ресурс]. –
2018. – Режим доступа:
https://vacym.com/isparitelno-getternye-nasosy/
7
Химическая
технология [Электронный ресурс].
– 2022.
– Электронные данные. – Режим доступа
: https://www.chem21.info/info/1603517/
