Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Минскер Ф.Е. Сборка полупроводниковых приборов учеб. пособие

.pdf
Скачиваний:
19
Добавлен:
23.10.2023
Размер:
5.08 Mб
Скачать

третий класс — число частиц в любой точке объема не долж­ но превышать 4 частиц в литре при величине 0,5 мкм.

Температура воздуха в помещениях третьего класса должна ■быть зимой 20°С±2°С и летом 22°С±2°С, в помещениях второго класса 22° С±4° С.

Относительная влажность воздуха в производственных поме­ щениях устанавливается в соответствии с требованиями норма­ лей и технологического процесса.

Параметры окружающего воздуха (температура, влажность, концентрация и размер частиц) контролируют не реже одного раза в смену с регистрацией в специальных журналах.

Впомещениях 1 класса выполняют резку слитков, исследова­ ние физических свойств и надежности.

Впомещениях 2 класса выполняют: химическую обработку пластин, сборку приборов, измерение электрических параметров, шлифовку и полировку пластин, изготовление фотооригиналов,

технологические испытания.

В помещениях 3 класса выполняют: финишную очистку и от­ мывку пластин, фотолитографию, эпитаксиальное наращивание, диффузию, гальванические покрытия на пластинах, напыление.

. В производственных помещениях второго и третьего классов не разрешается:

размещать оборудование, вносить предметы, вещи и т. п., не предусмотренные технологическим процессом изготовления при­ боров;

производить ремонтные работы, связанные с выделением ды­ ма, пыли, паров и влаги и т. п. во время проведения работ по из­ готовлению приборов;

проводить производственную гимнастику.' Для хранения и транспортировки чистых деталей должна

применяться специальная тара, обеспечивающая защиту их от механических повреждений, попадания пыли и других загрязне­ ний.

Персонал, работающий в помещениях всех трех классов, дол­ жен быть одет в одежду установленной формы в соответствии с инструкцией по применению технологической одежды. Курить и принимать пищу в производственных помещениях всех классов не разрешается. Для записей следует применять только шарико­ вые ручки. Карандашами и резинками пользоваться категориче­ ски запрещается.

Все инструменты и приспособления подлежат тщательной очистке от загрязнения путем обезжиривания, промывки, про­ тирки спиртом или другими растворителями в сроки, предусмот­ ренные документацией на технологические процессы.

При входе в производственные помещения второго и третьего классов необходимо мыть руки. Для мытья рук должны употреб­ ляться моющие средства, содержащие лакомин, который способ­ ствует лучшему удалению частиц загрязнения с кожи. Руки не должны соприкасаться с растворителями, так как многие раство­

122

рители поглощают кожный жир и вызывают отслаивание кожи. Необходимо применять перчатки, ■напальчники и аналогичные вспомогательные средства или устройства при обработке и дви­ жении деталей, чтобы устранить загрязнения. Не должна приме­ няться персоналом косметика (краска для глаз, пудра для лица, лак для волос и т. п.).

Контрольные вопросы

1.Какие основные правила техники безопасности при работе на оборудо­ вании с применением электроэнергии вы знаете?

2.Какое действие оказывает электрический ток на организм человека?

3.Перечислите основные правила техники безопасности при работе с хи­ мическими веществами.

4.Какая применяется техника безопасности при хранении и транспорти­ ровании кислот?

5.Каковы основные правила техники безопасности при выполнении опе­

раций пайки и сварки?

6.В чем заключаются особенности работы на водородных печах?

7.Какие меры безопасности следует соблюдать при выполнении техноло­

гических испытаний?

8.В чем состоит оказание первой помощи при несчастных случаях?

9.На какие классы подразделяют производственные помещения пред­ приятий, изготовляющих полупроводниковые приборы?

10.Каковы основные правила производственной гигиены в помещениях

2-го и 3-го класса?

ЛИ Т Е РА Т У РА

1.А л о в А. А. Основы теории процессов сварки и паіікн. М., «Машино­ строение», 1964.

2. Б а р а н о в

И.

Б.

Холодная сварка пластичных металлов. Изд. 2-е,

перераб. и доп. М.—Л., Машгиз, 1962,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3. Б р у к

В.

А.,

Га р ше и и и

В.

В.,

К у р н о с о в

А.

II.

Производст­

во полупроводниковых приборов. М., «Высшая школа», 1969.

 

 

 

'4. Г л а д к о в

А.

С.,

П о д в и г и н а

О.

П.,

Ч е р и о в О.

В.

Пайка

деталей электровакуумных приборов. М., «Энергия», 1967.

 

 

 

 

5. Г р и н

Г.

И.,

Ш о к а л ь с к и іі

А.

А.

Испытания

полупроводнико­

вых приборов. «Высшая школа», 1969.

 

в

радиоэлектронных

устройствах.

6. Д у л ьн ев

Г.

И.

Теплообмен

М. — Л., Госэнергонздат, 1963.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

7. Е с и п о в а

Р.

Б.,

Р у б ц о в

И. Н.

Герметизация

полупроводнико­

вых приборов пластмассами. Вып. 5, ЦНИИ «Электроника», 1971.

 

 

8. К а ц

М. И. Техника

безопасности при работе в химических лабора­

ториях. М., Госхимиздат, 1960.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

9. К о у т н ы й и др.

Технология серийного производства транзисторных

іі полупроводниковых диодов. Пер. с чешского

 

Пшениснова

В. IT. М.,

«Энер­

гия», 1968.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10. К о в а л е в е к п й

Р.

Е., Ч е к м а р е в

 

А. А. Конструирование и тех­

нология вакуумно-плотных паяных соединений. М., «Энергия», 1968.

 

11. К о з л о в а

Р.

Ф.,

Б л и н о в а

Н.

В.

 

Припои для электровакуумной

промышленности. М., институт «Электроника», 1969.

 

 

 

 

 

12. К о ч е р гм н К- А.

Импульсная

контактная

сварка.

Л.,

Леимз-

дат, 1961.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

13. Л а к е д е м о н с к и й

А. В.,

Х р я п н и

В.

Е.

Паяние и припои. М.

Металлургиздат, 1961.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

14.М а н к о Г. Г. Пайка и припой. М., «Машиностроение», 1968.

15.М а с л о в А. А. Технология и конструкции полупроводниковых при­

боров. М., «Энергия», 1970.

 

 

16. М о р а в с к и й

В. Э. Конденсаторная

сварка

металлов малых тол­

щин. М., Машгиз, 1960.

 

 

 

17. Н а з а р о в Г.

В., Г р е в ц е в Н. В. Сварка и пайка в микроэлектро­

нике. М. «Советское радио», 1969.

 

 

18. Н и к о л а е в

Г. А., О л ь ш а н с к и й

Н. А.

Новые методы сварки

металлов и пластмасс. «Машиностроение», 1966.

 

 

124

19. Оборудование для производства

полупроводниковых диодов и трио­

дов. Под ред. М а с л е н и и к о в а П. Н.

М., «Энергия», 197.0.

20.Производство полупроводниковых приборов, Перевод с аигл. под ред,

Гл е б о в а Г. Д., М., Оборонгиз, 1962.

21. Т и х о и о в ІО. Н. Технология изготовления германиевых и кремние­ вых диодов и триодов. М. — Л., «Энергия», 1961.

22.Ф а іі и ш т е н н С, М. Обработка и защита поверхности полупровод­ никовых приборов. Изд. 3-е, перераб. М., «Энергия», 1970.

23.X р е и о в К. К. Сварка, резка и панка металлов. М., «Машинострое­ ние», 1970.

24. ІО X и м И. Я. Техника безопасности при работах с полупроводника­ ми. М., «Машиностроение», 1968.

25. Л ю б и м о в М. Л. Спаи металла со стеклом. М., «Энеогпя», 1968.

ОГЛАВЛЕНИЕ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Стр.

Предисловие..............................................

............................................................

 

 

 

3

Г л а в а

 

I.

Конструктивное оформление

полупроводниковых

приборов

5

 

§

 

1.

Р-л-переход полупроводниковых приборов...........................

 

5

 

§

 

2.

Корпус и соединительные элементы полупроводниковых

7

 

§

 

3.

приборов ........................................................................................

 

 

. . . .

 

 

Типы конструкции полупроводниковых приборов

8

Г л а в а

II.

Соединение деталей пайкой и сваркой...................................

 

17

 

§

 

4.

П а й к а .................................................................................................

 

 

 

 

17

 

§

 

5.

Припои и флюсы, применяемые при пайке...............................

 

23 .

 

§

 

6.

С вар ка ...............................................................................................

 

 

 

 

27

Г л а в а

 

III.

Монтаж полупроводниковых кристаллов в корпус................

3&

 

§

 

7.

Скрайбированне.......................................................................

 

 

-.

36

 

§

 

8.

Способы монтажа...........................................................................

 

 

 

37

 

§

 

9.

Монтаж

кристаллов пайкой .......................................................

 

 

39

 

§ 10. Монтаж кристаллов склеиванием..............................................

 

 

41

 

§ 11.

Монтаж

кристаллов сплавлением............................................

 

 

43

 

§ 12. Монтаж кристаллов пайкой со стеклом...................................

 

45

Г л а в а

 

IV. Присоединения выводов к полупроводниковым кристаллам

48

 

§ 13. Назначение выводов. Методы присоединения........................

 

48

 

§ 14. Присоединение выводов сваркой...............................................

 

 

49

 

§

15.

Термокомпрессия.............................................................................

 

 

 

56

 

§ 16. Присоединение выводов пайкой..................................................

 

 

69

Г л а в а

 

V. Защита электронно-дырочных переходов..................................

 

74

 

§

17.

Методы защиты переходов...........................................................

 

 

 

74

 

§

18. Химическая обработка полупроводниковых структур пе­

75

 

§

19.

ред защ итой..............................

эмалей, компаундов

и крем-

 

Зашита

с помощью лаков,

76

 

 

 

нийорганических вазелинов..................................................

 

 

. .

 

§ 20.

Защита

силанированием...............................................................

 

 

 

82

 

§

21.

Защита

стеклом ..............................................................................

структур

пленками

нитрида

84

 

§ 22.

Защита

полупроводниковых

 

 

 

 

 

кремния

и другими методами......................

■........................

88

Г л а в а

VI.

Герметизация полупроводниковыхприборов..............................

 

93

 

§ 23. Герметизация холодной сваркой.................................................

 

 

93

 

§ 24. Герметизация электроконтактной сваркой ...........................

 

99

 

§ 25.

Герметизация п ай кой .................................................................

 

 

 

101

126

§ 26. Герметизация заваркой стеклом................................................

105

§ 27.

Бескорпусная герметизация......................

108

Г л а в а

VII,

Технологические испытания полупроводниковых приборов

113

§ 28.

Климатические испытания..........................................................

113

§ 29. Механические и электрические испытания..............................

115

Г л а в а

VIII. Основы техники безопасности и производственной гигиены

117

§ 30.

Техника

безопасности в сборочных ц ехах ..............................

117

§

31. Правила

оказания

первой помощи при несчастных слу­

121

§ 32.

чаях ....................

• ............................................................................

гигиена

Производственная

121

Литература..................

 

 

 

124

' Минскер Феликс Ефимович, Бер Александр Юльевич

с б о р к а

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Научный редактор Н. В. Гревцев Редактор Г. А.’ Сильвестровнч Технический редактор А. К. Нестерова Корректор Г. Н. Буханова

Т—03534.

Сдано в набор 29/ѴШ—73 г.

Подп. к печати 19/11—74 г.

Формат 60Х901/іѳ.

Бумага

№ 2.

Объем 8

печ. л«

Уч.-нзд. л. 8,03

Изд. № ЗГ—189

 

Тираж

20 000 экз.

 

Цена 19 коп.

План выпуска

литературы для

профтехобразования издательства «Высшая

 

 

школа»

на

1974 г. Позиция № 67.

 

Москва, К-5І, Неглинная ул., д. 29/14, Издательство «Высшая школа»

Московская типография Кэ 8 «Союзнолнграфпрома» при Государственном комитете Совета Министров СССР

по делам издательств, полиграфии и книжной торговли, Хохловский пер., 7. Зак. 3508.

t

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ