Добавил:

cc2d3p Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.

Вуз:

Предмет:

Файл:

ОТЧЁТ О ЛАБОРАТОРНОЙ РАБОТЕ Нанесение металлических плёнок на стеклянную подложку методом магнетронного распыления и определение их характеристик.docx

Скачиваний:

Добавлен:

28.03.2023

Размер:

3.2 Mб

Скачать

☆

<<< < Предыдущая 1 2 34 / 44

Приложение а

Режим напыления приведён в таблице 5.

Таблица 5 — Режим напыления

Параметры	Начало	Середина	Конец
Время, ч:мин	17:05	17:20	17:45
Температура, °C	128	94	70
Толщина на КИТ, нм	18,8	107	236,7
Напряжение, В	340	331	325
Сила тока, А	0,433	0,446	0,455
Давление, Па	5,88E-1	4,16E-1	4,26E-1
Мощность, Вт	150
Поток газа, см³/мин	15,03

Режим напыления другой подгруппы приведён на таблице 6.

Таблица 6 – Режим напыления у другой подгруппы

Параметры	Начало	Середина	Конец
Время, ч:мин	15:39	15:54	16:17
Температура, °C	118	90	9
Толщина на КИТ, нм	4,8	103,6	195,1
Напряжение, В	222	340	–
Сила тока, А	–	–	–
Давление, Па	5,37E-1	4,16E-1	1,00E-2
Мощность, Вт	200
Поток газа, см³/мин	15,02

Таганрог 2022

<<< < Предыдущая 1 2 34 / 44

Соседние файлы в предмете Микронные и нанометровые технологии

#
12.04.2023391.01 Кб9Маршрутная карта Технологического процесса производства интегральной структуры.xlsx
#
12.04.2023837.27 Кб8Операционная карта Технологического процесса производства интегральной структуры.xlsx
#
09.06.20233.19 Mб2Отчёт 1.docx
#
09.06.2023577.86 Кб3Отчёт 2.docx
#
28.03.20233.2 Mб4ОТЧЁТ О ЛАБОРАТОРНОЙ РАБОТЕ Нанесение металлических плёнок на стеклянную подложку методом магнетронного распыления и определение их характеристик.docx
#
12.04.202318.53 Mб11Технологический маршрут интегральной структуры, составленной из КМОП- и МЭМС-структуры (2).docx