Контрольные вопросы

1. Объяснить необходимость подачи аргона в камеру при напылении тонких пленок.

2. Каковы условия возникновения плазмы в вакуумной камере?

3. Объяснить роль магнитного поля при формировании плазмы.

4. Каков механизм распыления ионами твердого тела?

5. Объяснить размерный эффект электросопротивления.

6. Опишите способы повышения адгезии пленок.

7. Что такое химический сенсор. По какому принципу он работает?

8. Какие виды адсорбции различают. Что такое хемосорбция?

9. Влияние газовой среды на электропроводность полупроводниковых материалов. Поверхностные состояния.

10. Чем характеризуются сенсоры резистивного типа. Что такое газовая чувствительность?

11. От чего зависит газовая чувствительность?

12. Какие материалы используют для сенсоров резистивного типа?

13. Поглощение оптического излучения и световая генерация носителей заряда в полупроводниковом p - n переходе.

14. Вольт-амперная характеристика фотодиода при освещении.

15. Перечислите основные электрофизические параметры солнечных элементов.

16. Зависимость предельного КПД солнечных элементов от ширины запрещенной зоны используемых полупроводников.

17. Влияние концентрации солнечного излучения на характеристики фотопреобразователей.

18. От каких факторов зависит эффективность работы фотоэлектрическего полупроводникового преобразователя ФЭПП?

19. Поясните назначение элементов эквивалентной схемы замещения ФЭПП.

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1 Смирнов В. И. Физико-химические основы технологии электронных средств: учеб. пособие / В.И. Смирнов. Ульяновск, 2005.

2 Сущенцов Н. И. Основы технологии микроэлектроники. Лабораторный практикум / Н.И. Сушенцов. Йошкар-Ола, 2005.

3 Панфилов Ю. Нанесение тонких пленок в вакууме / Ю.Панфилов // Технологии в электронной промышленности. 2007. №3. С. 76-80.

4 Григорьев Ф.И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление в технологии микроэлектроники: учеб. пособие / Ф.И. Григорьев. М.: 2003.

5 Иевлев В.М. Рост и субструктура конденсированных плёнок: учеб. пособие / В.М. Иевлев, А.В. Бугаков, В.И. Трофимов. Воронеж: Изд-во ВГТУ, 2000. 386 с.

6 Трофимов В.И. Рост и морфология тонких плёнок/ В.И. Трофимов, В.А. Осадченко. - М.: Энергоатомиздат, 1993.

7 Технология тонких плёнок (справочник) / под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Нью-Йорк, 1970. Пер. с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко, Т. 2. М., «Сов. радио», 1977, 768 с.

8 Иевлев В.М. Структурные превращения в тонких плёнках / В.М. Иевлев, Л.И. Трусов, В.А. Холмянский. 2 изд. – М.: Металлургия, 1988. – 320 с.

9 Кукушкин С.А. Процессы конденсации тонких плёнок/ С.А. Кукушкин, А.В. Осипов // Успехи физических наук, 1998. – Т. 168. - №10. – С. 1083-1114.

10 Иевлев В.М. Физические свойства пленочных материалов: учеб. пособие / В.М. Иевлев – Воронеж: Воронежск. политех. ин-т, 1988. – 89 с.

11 Майссел Л. Технология тонких пленок: справочник / Л. Майссел, Р. Глэнг –– М.: Сов. радио, 1977. Т.2. – 664 с.

12 Чопра К.Л. Электрические явления в тонких пленках / К.Л. Чопра – М.: Мир, 1972. – 423 с.

13 Золотухин И.В. Новые направления физического направления: учеб. пособие / И.В. Золотухин, Ю.Е. Калинин, О.В. Стогней – Воронеж: Издательство Воронежского государственного университета, 2000. – 360 с.

14 Казаков В. Г. Тонкие магнитные пленки/ В. Г. Казаков // Соросовский образовательный журнал. 1997. - №1. – С. 110 – 113.

15 Введение в физику поверхности: Пер. с англ. / Оура Кендзиро, В.Г. Лифшиц, А.А. Саранин, А.В. Зотов, М. Катаяма – М. Наука, 2006. – 490 с.

16 Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии / А.И. Гусев. Изд. 2-е, испр. и доп. М.: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.

17 Парфенов О.Д. Технология микросхем / О.Д. Парфенов. – М.: Высшая школа, 1986. – 320 с.

18 Технология тонких пленок: пправочник. М.: Советское радио, 1977. Т.1-2.

19 Физика тонких пленок: сб. трудов. М.: Мир, 1978. – Т.8. 359 с.

20 Берлин Е.В. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок / Е.В. Берлин, С.А. Двинин, Л.А. Сейдман – М. Техносфера, 2007. – 176 с.

21 Будников Г.К. Что такое химические сенсоры / Г.К. Будников // Соросовский образовательный журнал. – 1998. – № 3. – С. 72 – 76.

22 Структура, электрические и газочувствительные свойства нано-кристаллических пленочных композитов на основе In-Y-O-C / И.В. Бабкина, А.Л. Гусев, Ю.Е. Калинин, Н.А. Кондратьева, А.В. Ситников, С.Б. Кущев, С.А. Солдатенко, К.С. Габриельс // Альтернативная энергетика и экология. – 2009. – № 9. – С. 58 – 61.

23 Башкиров Л.А. Об использовании фазового перехода металл-полупроводник в оксидах металлов и их соединениях для создания химических сенсоров/ Л.А. Башкиров, У. Барби, Ю.К. Гунько // Актуальные проблемы физики твёрдого тела. – 2003. – № 5. – С. 146 – 162.

24 Колтун М.М. Оптика и метрология солнечных элементов / М.М. Колтун М.: Наука, 1985, 280 с.

25 Раушенбах Г. Справочник по проектированию солнечных батарей / Г. Раушенбах М.: Энергоатомиздат, 1983, 360 с.

26 Неупорядоченные полупроводники / А.А. Айвазов, Б.Г. Будагян, С.П. Вихров, А.И. Попов. – М.: Изд − во МЭИ, 1995, 352 с.

27 Горелик С.С. Рентгенографический электроннооптический анализ / С.С. Горелик, Л.Н. Расторгуев, Ю.А. Скаков. – М.: Металлургия, 1970. – 620 с.

28 Эндрюс К. Электронограммы и их интерпретация / К. Эндрюс, Л. Лайсон, С. Киоди. – М.: Мир, 1971. – 510 с.

СОДЕРЖАНИЕ

Тонкопленочные материалы и устройства 1

Практическое занятие № 1 5

Практическое занятие № 2 7

Практическое занятие № 3 7

Практическое занятие № 4 8

Практическое занятие № 5 – 7 9

Практическое занятие № 8 – 9 10

Контрольные вопросы 12

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК 13

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

к выполнению практических работ

по курсу «Тонкопленочные материалы и устройства»

для студентов направления 223200.68 «Техническая физика» (магистерская программа подготовки «Прикладная физика твердого тела») очной формы обучения

Составитель

Янченко Лариса Ивановна

В авторской редакции

Подписано к изданию 23.11.2013.

Уч.-изд. л. 0,9.

ФГБОУ ВПО "Воронежский государственный технический

университет"