4. Сплав рс-37-10

Сплав РС-3710 применяется: для изготовления методом вакуумно-термического нанесения термостабильных, тонкопленочных резистивных элементов и различных вспомогательных слоев изделий электронной техники; для получения резистивных слоев тонкопленочных изделий электронной техники общего и частного назначения методом взрывного испарения с вольфрамового испарителя.

Состав сплава (основные компоненты) сплава РС-3710, % по массе: Cr 36.5-39.5%, Ni 8-11%, Si - остальное.

ОСНОВНЫЕ ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ И МЕТОДЫ НАНЕСЕНИЯ СПЛАВА РС-3710

Для получения резистивных слоев тонкопленочных изделий электронной техники общего и частного назначения методом "взрывного" испарения с вольфрамового испарителя.

ФИЗИЧЕСКИЕ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ СПЛАВА РС-3710 1. Массивные образцы

Температура плавления: 1250 С

Плотность:4.6-5.0 г/см3

Удельное электрическое сопротивление: (5-7)х10-4 Ом.см

Температурный коэффициент сопротивления (ТКС) в интервале температур 20-150 С: (15-25)*10^-4 град^-1.

2. Пленки, полученные методом "взрывного" вакуумного нанесения

Удельное поверхностное сопротивление: 0.05.0-2.0 кОм/квадрат

Толщина: 15-300 нм

Температурный коэффициент сопротивления (ТКС) в интервале температур от минус 60 до плюс 125 С: не более +/-2х10-4 град-1

Допустимая мощность рассеяния: не более 5 Вт/см2

Необратимое изменение сопротивления после 100 часов работы под нагрузкой постоянным током 1 Вт/см2, при окружающей температуре 85 С: не более 1%.

3. Пленки, полученные методом ионно-плазменного и магнетронного распыления мишеней из сплава рс-3710 согласно ето 032.547 ту

Удельное поверхностное сопротивление: 0.3-3.0 кОм/квадрат Температурный коэффициент сопротивления (ТКС) в интервале температур (25-125) С: не более -(3-0.8)х10-4 град-1

Образцы

№/№	Наименование	S, м*м	L, м
1	Медь	1,96E-09	10,55
2	Никель	1E-10	0,1175
3	PC-37-10	2,654E-09	0,05
4	Константан	1,13E-08	1,734

Сопротивление, R [Ом]

Темп., °C	Обр. №1	Обр. №2	Обр. №3	Обр. №4
24,5	93,1	89,1	109,8	76,5
26,5	93,8	90,45	108,8	76,5
34,5	96,75	94,1	105,5	76,45
38,5	98,3	95,7	104	76,45
43,5	100,1	97,7	102,4	76,45
46,5	101,35	99,05	101,35	76,45
48,5	102	99,7	100,6	76,45
52,5	103,3	101,5	99,4	76,4
58,5	105,6	104	97,6	76,4
62,5	107	105,7	96,5	76,4
66,5	108,5	107,5	95,5	76,4

Удельное сопротивление, относительные единицы

Темп., °C	Обр. №1	Обр. №2	Обр. №3	Обр. №4
24,500	1,003	1,008	0,994	0,999
26,500	1,012	1,023	0,986	0,999
34,500	1,044	1,065	0,955	0,998
38,500	1,060	1,083	0,943	0,998
43,500	1,078	1,106	0,927	0,998
46,500	1,090	1,120	0,918	0,998
48,500	1,098	1,129	0,913	0,998
52,500	1,114	1,147	0,900	0,997
58,500	1,136	1,177	0,885	0,997
62,500	1,154	1,196	0,875	0,997
66,500	1,170	1,217	0,865	0,997

Зависимость удельного сопротивления от состава, мкОм*м

Кол-во Cu	Значение
0	0,07573
5	0,1433
10	0,2049
15	0,2607
20	0,3106
25	0,3547
30	0,3929
35	0,4252
40	0,4516
45	0,4721
50	0,4868
55	0,4956
60	0,4986
65	0,4911
70	0,4685
75	0,4309
80	0,3783
85	0,3107
90	0,228
95	0,1303
100	0,01759

Зависимость температурного коэффициента от состава, [1E-2 1/K]

Кол-во Cu	Значение
0	0,505
5	0,425
10	0,349
15	0,281
20	0,221
25	0,17
30	0,122
35	0,085
40	0,056
45	0,029
50	0,01
55	0
60	-0,006
65	0,002
70	0,021
75	0,052
80	0,096
85	0,153
90	0,219
95	0,1303
100	0,397

Вывод:

В данной лабораторной работе мы изучили процессы, протекающие в электрическом поле, исследовали основные свойства проводников по температурным зависимостям проводимости.

Медь:

При росте температуры, сопротивление меди линейно увеличивалось. Следовательно, линейно изменяется и удельное сопротивление данного образца.

Никель:

При росте температуры, сопротивление никеля линейно увеличивалось. Следовательно, линейно изменяется и удельное сопротивление данного образца.

Константан:

Константан на протяжении всего измерения показывал постоянство коэффициента удельного сопротивления при изменении температуры. Сопротивление также оставалось постоянным.

Сплав никеля и меди:

Зависимость удельного сопротивления от состава:

Изучив график и таблицу зависимости удельного сопротивления от состава сплава, можно увидеть, что сплав имеет максимальное удельное сопротивление при количестве меди 60%. При увеличении содержания меди выше 60% удельное сопротивление постепенно уменьшается до 0. При увеличении содержания никеля выше 60% удельное сопротивление постепенно уменьшается до 0.075.

Зависимость температурного коэффициента удельного сопротивления от состава:

Изучив график и таблицу зависимости температурного коэффициента удельного сопротивления от состава, увидеть, что сплав имеет значение температурного коэффициента удельного сопротивления равное нулю при количестве меди 60%. При увеличении содержания меди выше 60% температурный коэффициент постепенно увеличивается до 0.4. При увеличении содержания никеля выше 60% удельное сопротивление постепенно увеличивается до 0.5 .

С равнение полученного удельного сопротивления с теоретическим:

Медь:

Никель:

Константан:

PC-37-10:

Сравнение полученного Температурного коэффициента с теоретическим:

Медь:

Никель:

Константан:

PC-37-10: