ПУТО испр

Внутри установки каркаса находятся по два вентиля, фильтра, реле давления и распределительных коллектора, которые предназначены для подачи кислорода и аргона в электропечь. Каждый шкаф разделен на два отсека, в одном из которых установлен термостат с увлажнителем или микрохолодильник со смесителем, а в другом — контрольно-запорная газовая арматура и система автоматического регулирования температуры и питания. Все элементы устройства газораспределения изготовлены из фторопласта, полиэтилена и нержавеющей стали, т.е. материалов, не подверженных коррозии. Устройство газораспределения служит для получения парогазовой смеси заданных параметров при проведении термических процессов изготовления электронно-дырочных переходов и имеет автоматическую (программную) систему управления образованием парогазовой смеси с термостатированием диффузанта в смесителе при проведении первой стадии диффузии или воды в увлажнителе при проведении процессов окисления. Автоматическаясистемаобеспечиваетподдержаниетемпературыназаданном уровне с точностью ±0,5°С и построена аналогично автоматической системе терморегулирования электропечи.

При создании оксидной пленки на полупроводниковых пластинах, например в канале I электропечи, кислород из магистрали проходит через вентиль В1, фильтр Ф1, реле давления РД1, коллектор К1, ротаметр Р1, электромагнитные клапаны Э1, Э3, Э4, увлажнитель У1, электромагнитный клапан 35 и далее парогазовая смесь подается в канал электропечи. Аналогичен путь аргона, но вместо увлажнителя он должен пройти смеситель С1 с диффузантом, например бромистым бором (ВВr3) или фосфорным ангидридом (Р2О5) [7].

11

Список использованных источников

[1]interactivegt [Электронный ресурс]. – Электронные данные. – Режим доступа:https://interactivegt.com/catalog/902/

[2]eltm [Электронный ресурс]. – Электронные данные. – Режим доступа:http://eltm.ru/vakuummetry.html/nid/1391

[3]actan [Электронный ресурс]. – Электронные данные. – Режим доступа:http://www.actan.ru/vac_gaugetp.html

[4]vacuumpro [Электронный ресурс]. – Электронные данные. – Режим доступа: https://vacuumpro.ru/vakuummetr/baratron [5] studfile [Электронный ресурс]. – Электронные данные. – Режим доступа: https://studfile.net/preview/1199895/page:4/

[6]phys.vsu [Электронный ресурс]. – Электронные данные. – Режим доступа: https://phys.vsu.ru/me/downloads/m13-64.pdf

[7]bsuir [Электронный ресурс]. – Электронные данные. – Режим доступа: https://www.bsuir.by/m/12_100229_1_67139.pdf

12