Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
0
Добавлен:
26.02.2023
Размер:
351.33 Кб
Скачать

Таблица

Полосы поглощения, наблюдаемые в ИК-спектрах пористого кремния на подложке монокристаллического кремния

Положение

 

 

линий

Интерпретация

Ссылки

поглощения, см-1

 

 

1

2

3

484

Si−O−Si деформационные крутильные

[6]

515

Si−O−Si продольные валентные колебания мости-

[6]

616

кового кислорода

[8]

Si–Si валентные симметричные

664

SiH маятниковые

[6, 8]

760

Si–C валентные продольные

[6]

804

SiH2 скручивающие, SiH (Si2O)

[6, 8]

832

SiF2 валентные продольные, O2–Si–OH

[6, 7, 8]

906

SiH2 ножничные

[6, 7, 8]

946

SiF3 валентные продольные

[6]

1060

Si−O−Si валентные (TO)

[6]

1105

Si−O−Si ассиметричные колебания мостикового

[6, 8]

 

кислорода

 

1170

Si−O−Si валентные (LO)

[6]

 

SiH валентные продольные

[6]

2087

SiH2 валентные продольные

[6, 7]

2106

SiHn валентные продольные

[6, 7, 8]

2140

SiH−SiO2 структурная группа

[6, 8]

2190

O3SiH валентные продольные

[6, 7]

2250

CH2 валентные продольные симметричные

[6]

2853

CH2 валентные продольные асимметричные

[6]

2921

O−H валентные продольные Si–OH , пары воды

[6, 7]

3400–3500

 

 

Контрольные вопросы

1.Какие колебания в ИК-спектроскопии являются активными?

2.Что такое характеристическая или «групповая частота» в ИК-спект- роскопии?

3.Какие объекты можно эффективно исследовать методом ИК-спект- роскопии?

4.В чем состоят преимущества ИК-Фурье спектроскопии по сравнению с традиционной методикой исследования ИК-спектров?

5.Как получить классический ИК-спектр из Фурье-преобразованного ИК-спектра?

6.Представьте и опишите схему интерферометра Майкельсона.

11

Литература

1. Наканиси К. Инфракрасные спектры и строение органических соединений. Практическое руководство / К. Наканиси. – М. : Мир, 1965. –

220c.

2.Пул Ч. Нанотехнологии / Ч. Пул, Ф. Оуэнс. – М. : Техносфера, 2006. – 306 с.

3.Смит А. Прикладная ИК-спектроскопия / А. Смит. – М. : Мир, 1982. – 328 с.

4.Гремлих Г.-У. Язык ИК-спектров. Введение в интерпретацию спектров органических соединений / Г.-У. Гремлих. – М. : Брукер Оптик, 2002. – 93 с.

5.Накамото К. ИК-спектры и спектры КР неорганических и координационных соединений / К. Накамото. – М. : Мир, 1991. – 535 с.

6.Tolstoy V. P. Handbook of infrared spectroscopy of ultrathin films / V. P. Tolstoy, V. Chernyshova, V. A. Skryshevsky . – N.Y. : Wiley Interscience, 2003. – 710 p.

7.Копылов А. А. Инфракрасное поглощение в пористом кремнии,

полученном в электролитах, содержащих этанол / А. А. Копылов, А. Н. Холодилов // Физика и техника полупроводников. – 1997. – Т. 31,

5. – С. 556–558.

8.Gorbach T. Ya. Simultaneous changes in the photoluminescence, infrared absorption and morphology of porous silicon during etching by HF / T. Ya. Gorbach // Semicond. Sci. Technol. – 1996. – V. 11. – P. 601–606.

12

Учебное издание

ИССЛЕДОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ

Учебно-методическое пособие для вузов

Составители: Юраков Юрий Алексеевич, Леньшин Александр Сергеевич, Середин Павел Владимирович

Редактор И.Г. Валынкина Компьютерная верстка О.В. Шкуратько

Подписано в печать 19.02.2014. Формат 60×84/16. Усл. печ. л. 0,76. Тираж 50 экз. Заказ 1271.

Издательский дом ВГУ.

394000, Воронеж, пл. им. Ленина, 10. Тел. 208-298, 598-026 (факс) http://www.ppc.vsu.ru; e-mail: pp_center@ppc.vsu.ru

Отпечатано в типографии Издательского дома ВГУ. 394000, г. Воронеж, ул. Пушкинская, 3. Тел. 204-133

13

Соседние файлы в папке новая папка 1