3109

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Андреев, И.В. Устройства частотной селекции на поверхностных акустических волнах для беспроводных и мобильных технологий [Текст]: учеб. пособие / И.В. Андреев, А.И. Андреев. – Воронеж: ГОУВПО «Воронежский государственный технический университет», 2010. – 168 с.

2. Орлов, В.С. Фильтры на поверхностных акустических волнах [Текст] / В.С. Орлов, В.С. Бондаренко. – М.: Радио и связь, 1984. – 272 с.

3.Морган Д. Р. Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах [Текст]: пер. с англ. / Д. Р. Морган. – М.: Радио и связь, 1990. – 416 с.

4.Балышева, О.Л. Материалы для акустоэлектронных устройств [Текст]: учеб. пособие / О.Л. Балышева. – СПб.:

ГУАП, 2005. – 53 с.

5.Фильтры на поверхностных акустических волнах (расчет, технология и применение) [Текст] / под ред. Г. Мэттьюза. – М.: Радио и связь, 1981. – 472 с.

6.Зеленка, И. Пьезоэлектрические резонаторы на объемных и поверхностных акустических волнах / И.Зеленка. –

М.: Мир, 1990. – 584 с.

7.Багдасарян, А.С. Импедансные фильтры на

поверхностных акустических волнах [Текст] / А. С. Багдасарян, Г. Я. Карапетьян. – М.: Международная программа образования, 1998. – 76 с.

8. Koskela J. Com parameters extraction from computer experiments with harmonic admittance of a periodic array of electrodes / J. Koskela, V.P. Plessky, M. M. Salomaa //IEEE Ultrason. Symposium, 1997. 119-122 p.

9. Дмитриев, В.Ф. Синтез и анализ устройств на основе лестничных дисперсионных преобразователей поверхностных акустических волн модифицированным методом связанных мод [Текст] / В.Ф. Дмитриев // ЖТФ. – 2002. – Т. 72. – Вып. 9.

141

–С. 93-101

10.Дмитриев, В. Ф. Теория и расчет гибридного резонаторного фильтра на поверхностных акустических волнах с повышенным внеполосным подавлением [Текст] / В.Ф. Дмитриев // ЖТФ. – 2002. – Т. 72. – № 11. – С. 83-89

11.Андреев, А.И. Особенности проектирования

узкополосного фильтра на поверхностных акустических волнах [Текст] / А. И. Андреев, Ю.С. Балашов, И.В. Андреев, А.А. Илларионов, О. В. Николаев, В. С. Цимбалюк // Вестник Воронеж. госуд. техн. ун. Сер. Радиоэлектроника и системы связи. – 2002. – Вып. 4.2. – С. 17-19

12.Андреев, А.И. Фильтры со связанными резонаторами на поверхностных акустических волнах [Текст] / А.И. Андреев, И.В. Андреев, С.А. Васильев, С.П. Теплинских, А.И. Зюзин, А.Д. Рощупкин // Проектирование радиоэлектронных и лазерных устройств и систем. Межвуз. сб. науч. тр. – Воронеж:

ФГБОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет», 2013. – С. 14-24

13.Андреев, А.И. Исследование температурной стабильности узкополосных резонаторных фильтров со связанными резонаторами на поверхностных акустических волнах [Текст] / А.И. Андреев, И.В. Андреев, С.А. Васильев, С.П. Теплинских, А.И. Зюзин, А.Д. Рощупкин // Проектирование радиоэлектронных и лазерных устройств и

систем. Межвуз. сб. науч. тр. – Воронеж: ФГБОУ ВПО

«Воронежский государственный технический университет», 2013. – С. 25– 31

14.Андреев А.И. Режекторные фильтры на основе резонаторных элементов на поверхностных акустических волнах [Текст] / А.И. Андреев, И.В. Андреев // Вестник Воронеж. госуд. техн. ун. Сер. Радиоэлектроника и системы связи. – 2003. – Вып. 4.3. – С. 57-58

15.Андреев, А.И. Проектирование формирователей

142

индивидуальных кодов с помощью устройств на поверхностных акустических волнах [Текст] / А.И. Андреев, И.В. Андреев // Вестник ВГТУ. Воронеж, ВГТУ. 2008. – Т. 4. –

№6. – С. 31-35

16.Nieminen H., V. Microelectromechanical capacitor with wide tuning range / H. Nieminen, V. Ermolov, T. Ryhänen // IEDM Tecnical Digest Int. 2001. 405406 p.

17.Xiao Z. Farmer Micromachined variable capacitor with wide tuning range / Z. Xiao, W. Peng, R. F. Wolffenbuttel, K. R. Farmer // Solid-State Sensor, Actuator and Microsystems Workshop Hilton Head Island, South Carolina, June 2-6, 2002.

18.Oz A. RF CMOS-MEMS capacitor having large tuning range / A. Oz, G. K. Fedder // Transducers ’03. The 12th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Boston, June 8-12, 2003.

19.Héctor J. De Los Santos. On the Ultimate Limits of IC Inductors-An RF MEMS Perspective / De Los Santos J. Héctor, // 2002 Electronic Components and Technology Conference. 2002.

20.Jiang H. Fabrication of High-Performance On-Chip Suspended Spiral Inductors by Micromachining and Electroless Copper Plating / H.Jiang, Y.Jiang, wang, J.-L.A. Yeh, and N.C. Tien // 2000 IEEE IMS Digest of Papers, Boston, MA. 2000.

21.Yoon J.-B. Surface Micromachined Solenoid On-Si and OnGlass Inductors for RF Applications / J.-B. Yoon, B.K. Kim, C.H. Han, E. Yoon, and C.K. Kim // IEEE Electron Device Letters, 1999. Vol. 20. p. 487.

22.Dahlmann G.W. MEMS High Q Microwave Inductors Using Solder Surface Tension Self-Assembly / G.W. Dahlmann, E.M. Yeatman, P.R. Young, I.D. Robertson, and S.Lucyszyn // IEEE IMS Digest of Papers, 2001.

23.Clark J. R. High-Q VHF micromechanical contour-mode disk resonator / J. R. Clark, W.-T. Hsu, and C. T.-C. Nguyen //Technical Digest, IEEE Int. Electron Devices Meeting, San Francisco, California, Dec. 11-13, 2000. 493-496 p..

143

24.Nguyen C. T.-C. Micromechanical circuits for communications / C. T.-C. Nguyen //Proceedings, 2000 International Conference on Conference on High Density Interconnect and Systems Packaging, Denver, Colorado, April 2528, 2000. 112-117 p..

25.Nguyen C. T.-C. Micromechanical circuits for communication transceivers (invited) / C. T.-C. Nguyen //Proceedings, 2000 Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting (BCTM), Minneapolis, Minnesota, September 2526, 2000. 142-149 p.

26.Hsu W.-T. A sub-micron capacitive gap process for multiple-metal-electrode lateral micromechanical resonators / W.-T. Hsu, J. R. Clark, C. T.-C. Nguyen // Technical Digest, IEEE Int. Micro Electro Mechanical 78 Systems Conf., Interlaken, Switzerland, Jan. 21-25, 2001. 349352 p.

27.Lee S. A 10-MHz micromechanical resonator Pierce reference oscillator for communications / S. Lee, M. U. Demirci, and Clark T.-C. Nguyen // Digest of Technical Papers, the 11th Int. Conf. on Solid-State Sensors & Actuators (Transducers’ 01), Munich, Germany, June 10-14, 2001. 1094-1097 p.

28.Navid R. Third-order intermodulation distortion in capacitively-driven CC-beam micromechanical resonators / R.

Navid, J. R. Clark, M. Demirci, C. T.-C. Nguyen //Technical Digest, Int. IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference, Interlaken, Switzerland, Jan. 21-25, 2001. 228-231 p.

29. Nguyen C. T.-C. Micromechanical resonators for oscillators and filters / C. T.-C. Nguyen // Proceedings of the 1995 IEEE International Ultrasonics Symposium, Seattle, WA, 1995, Nov. 7. 489-499 p.

30.Nguyen C. T.-C. CMOS micromechanical resonator oscillator / C. T.-C. Nguyen and R. T. Howe // Technical Digest, IEEE International Electron Devices Meeting, Washington, D. C., December 5-8, 1993. 199-202 p.

31.Nguyen C. T.-C. Vibrating RF MEMS for low power wireless communications (invited) / C. T.-C. Nguyen //

144

Proceedings, 2000 Int. MEMS Workshop (MEMS’01), Singapore, July 4-6, 2001. 21-34 p.

32.Wang K. VHF free-free beam high-Q micromechanical resonators/ K. Wang, Y. Yu, A.-C. Wong, C. T.-C. Nguyen // Technical Digest, 12th International IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference, Orlando, Florida, Jan. 17-21, 1999. 453-458 p.

33.Hsu W.-T. Q-optimazed lateral free-free beam micromechanical resonators / W.-T. Hsu, J. R. Clark, and C. T.-C. Nguyen // Digest of Technical Papers, the 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers’01), Munich, June 10-14, 2001. 1110-1113 p.

34.Nguyen C. T.-C. Micromechanical devices for wireless communication (invited) / C. T.-C. Nguyen, L.P.B. Katehi // Proceedings IEEE. 1998, vol. 86, N 8. 1756-1768 p.

35.Nguyen C. T.-C. High-Q micromechanical oscillators and filters for communications / C. T.-C. Nguyen //Proceedings of the 1997 IEEE International Symposium on Circuits and Systems, Hong Kong, June 9-12. 1997. 2825-2828 p.

36.Колпаков Ф.Ф. Микроэлектромеханические усвойства в радиотехнике и системах телекоммуникаций/ Ф.Ф. Колпаков, Н.Г. Борзяк, В.И. Кортунов // Учеб. пособие. Харьков. Нац. аэрокосм. ун-т, 2006. 82 с.

145

ОГЛАВЛЕНИЕ Введение…………………………………………………………3

1. Исследование влияния технологических факторов на параметры подложек фильтров…………………………..4

1.1.Пьезоэлектрические материалы и их срезы, используемые в качестве материала звукопровода фильтров на поверхностных акустических волнах….………………………4

1.2.Основные параметры материалов звукопроводов…9

1.3.Влияние температуры на основные параметры фильтров на поверхностных акустических волнах…………...17

2.Исследование влияния технологических погрешностей структур преобразователей на частотные характеристики фильтров.………………………………………………………..25

2.1.Параметры при случайных отклонениях размеров элементов ВШП и характеристик звукопроводов ……………25

2.2.Статистические характеристики амплитудно-частоной и фазо-частотной функций с учетом производственных технологических погрешностей……………………………....35

2.3.Определение технологических отклонений размеров электродов и расстояния между ними при изготовлении фильтров…………………………………………………………36

3.Исследование влияния подтрава, дифракции и ошибок угловой ориентации на частотные характеристики фильтров и резонаторов………………………………………39

3.1.Вносимые потери, связанные с распространением волн в ПАВ-структурах..……………………………………....39

3.2.Влияние дифракции на частотные характеристики фильтров на поверхностных акустических волнах…………...40

3.3.Влияние подтрава на частотные характеристики фильтров на поверхностных акустических волнах.…………43

3.4.Изменение угловой ориентации взаимного расположения преобразователей и ее связь с частотными характеристиками фильтров и резонаторов…………………..46

3.5.Применение вероятностного метода для оценки влияния погрешности ПАВ-структур преобразователей…..48

146

3.6. Влияние погрешности изготовления преобразователей на параметры статической емкости и фазовой скорости тонкопленочных ПАВ-структур электродов………………………………………………….……51

4.Особенности проектирования резонаторных структур и технологические ошибки их изготовления................................................................................56

5.Технология изготовления встречно-штыревых

структур для фильтров и резонаторов на поверхностных акустических волнах…………………………………………..69

5.1.Изготовление звукопроводов фильтров………...….69

5.2.Металлизация звукопроводов...……………………....81

5.3.Методы изготовления встречно-штыревых структур фильтров на поверхностных акустических волнах…………...85

5.4.Травление и резка пластин……………………………94

5.5.Технология изготовления фотошаблонов…………..95

5.6.Размещение фильтров на поверхностных акустических волнах в стандартные корпуса………………………………...100

5.7.Рассеяние и поглощение поверхностных акустических волн..…………………………………………………………….105

6.Виды избирательных MEMS структур и технология

их изготовления……………………………………………….107

6.1. Микроэлектромеханические системы для избирательных устройств…....…………………………….......107

6.1.1.Дисковый резонатор...……………………………....107

6.1.2.MEMS-резонатор с ограничителем и поперечной вибрацией балочного упругого элемента…………………….112

6.1.3.Двухпортовый емкостно-управляемый резонатор..116

6.1.4.MEMS-резонатор продольных колебаний..…….....119

6.1.5.Резонаторы со свободно колеблющимися концами резонирующего элемента в поперечной плоскости……………………………………………………….123

6.1.6.Микрорезонаторы с продольной вибрацией упругого элемента.………………………………………………………..126

6.1.7.Фильтры на МЕМS структурах…………………...130 6.2. Технологии изготовления MEMS структур...…...134

147

148