Учебное пособие 80021

новная часть» не пишется. Сразу приводится название первого раздела.

- «Заключение»

Заключение должно содержать краткие выводы по результатам выполненной работы, оценку полноты решения поставленных задач, рекомендации по конкретному использованию рассмотренной технологии или материала, еѐ экономическую, научную, социальную значимость.

- «Список использованных источников»

Заголовок «Список литературы» записывают симметрично тексту с прописной буквы. В список включают все источники, на которые имеются ссылки в пояснительной записке. Источники в списке нумеруют в порядке их упоминания в тексте арабскими цифрами без точки. Ссылка на источник представляет собой порядковый номер цитируемого источника, заключенный в квадратные скобки.

Сведения о литературных источниках приводят в соответствии с требованиями ГОСТ 7.1-2003. По требованиям ГОСТ устанавливается следующий порядок ссылок.

Образец оформления библиографического списка литературы, использованной в работе, приводится ниже.

Ссылка на статью в журнале:

1 Иванов И.И. Нелинейные явления в наногетерогенных системах [Текст] / И.И. Иванов, П.П. Петров // Физика твердого тела. – 2013. – Т.5. - №2. – С. 44-47.

Ссылка на книги:

2 Иванов И.И. Радиолокационные станции [Текст] / И.И. Иванов, П.П. Петров, С.С. Сидоров. – М.: Советское радио, 1980. – 330 с.

9

3 Ковалев В.В. Технический анализ: управление процессом, выбор инвестиций, анализ возможностей [Текст] / В.В. Ковалев. М.: Энергия, 2002. – 430 с.

Ссылка на патент или авторское свидетельство:

4 Пат. 2234104 Российская Федерация, МПК7 G01R 21/66. Способ определения подвижности носителей заряда [Текст] / Иванов Т.Р., Сидоров С.С.; заявитель и патентообладатель Воронежский государственный технический университет. - № 2003105568/28; заявл. 30.01.2013; опубл. 15.03.1014, Бюл. № 5. – 3 с.

5 А.С. 1007970 СССР, МКИ3 В 25 J 15/00. Устройство для нанесения электродов на пьезоэлектрическую керамику [Текст] / Иванов И.И., Петров П.П. (СССР). - № 3360585/25; заявл. 23.11.1981; опубл. 30.03.1983, Бюл. №10. – 2 с.

Ссылки приводятся на том же языке, на котором напечатан материал.

3 Темы курсовых работ

Ниже приведѐн список основных темы курсовых работ с примерным планом, которому можно следовать при подборе литературы и написании текста. Еще раз следует подчеркнуть, что предлагаемые в данном методическом указании планы являются ориентировочными. При желании автор может самостоятельно составить план курсовой работы по выбранной теме, сообразуясь с теми литературными источниками, которые он смог найти на основе которых он будет писать текстовый документ. Более того, допускается возможность предложения своей темы для написания курсовой работы (естественно, что тема должна соответствовать дисциплине).

10

1 Физический принцип и технология голографической литографии. [1-5]

1.1Общие сведения о процессах литографии.

1.2Проблемы, возникающие при использовании литографических процессов для создания объектов нанометровых размеров.

1.3Физические основы голографии.

1.4Использование принципов голографии для проведения литографических процессов.

1.5Структуры, получаемые с помощью голографической литографии.

2 Технологические методы получения аэрогелей и их физические свойства. [1, 6-7]

2.1Определение аэрогеля. Структура и морфология аэрогеля.

2.2История открытия аэрогеля.

2.3Основные физические свойства аэрогеля.

2.4Виды аэрогелей.

2.5Технология получения аэрогелей.

2.6Применение аэрогелей.

3 Методы создания фотонных кристаллов и принципы функционирования устройств на их осно-

ве. [8-11]

3.1Основные свойства фотонных кристаллов. Систематизация фотонных кристаллов.

3.2Материалы и структуры, обладающие свойствами фотонных кристаллов. Морфологические особенности таких сред.

3.2.1 Природные минералы. 3.2.2 Синтетические структуры.

11

3.3Возникновение разрешенных и запрещенных зон в фотонном кристалле.

3.4Методы и технологии получения фотонных кри-

сталлов.

3.5Применение фотонных кристаллов.

4 Принципы работы спинтронных устройств. Технология создания элементов спинтроники. [12-13]

4.1Спиновые свойства электронов. Понятие поляризации электронов.

4.2Спин-поляризованный транспорт и туннельный эф-

фект.

4.3«Оперативная память» на основе магниторезистивного эффекта.

4.4Спиновые вентили.

4.5Магнитные полупроводники.

4.6Полупроводниковые устройства, работающие на принципах спинтроники.

4.7Технология создания спинтронных устройств.

5 Молекулярная (органическая) электроника.

[13-16]

5.1Проблемы, возникающие при увеличении степени интеграции в СБИС.

5.2Возможность использования полимеров в электро-

нике.

5.3Примеры органических проводников, полупроводников, диэлектриков.

5.4Устройства молекулярной электроники (существующие и разрабатываемые).

5.5Преимущества молекулярной электроники по сравнению с традиционной – кремниевой.

12

6 Наномашины и наномеханизмы. Технологии создания наномеханизмов. [17-19]

6.1Целесообразность создания наномашин и наноме-

ханизмов.

6.2Наносенсоры.

6.3Наноинструменты.

6.4Наноактюаторы.

6.5Нанодатчики.

6.6Перспективы использования наномеханизмов.

7 Одноэлектронные приборы и устройства современной наноэлектроники. [13, 20-21]

7.1Теоретические основы одноэлектроники. Кулоновская блокада.

7.2Кулоновская блокада в структурах с двумя туннельными переходами.

7.3Типы одноэлектронных приборов.

7.4Одноэлектронный транзистор.

7.5Преимущества одноэлектронных приборов и существующие проблемы.

8 Свободная тема

Тема, предложенная самим магистрантом, выбранная на основе своих предпочтений, тематики научных исследований или рекомендации научного руководителя. В любом случае тема должна иметь отношение к микроили нанотехнологиям и обязательно быть согласованной с руководителем курсовой работы (преподавателем, ведущим данный курс).

13

Список литературы

1Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии [Текст] / М.: Наука-Физматлит, 2007. - 416 с.

2Кольер Р. Оптическая голография [Текст] /

Р.Кольер, К. Бернхард, Л.Лин - М.: Мир, 1973. – 564 с.

3Корешев С.Н., Ратушный В.П. Использование метода голографии для получения изображения двумерных объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения [Текст] // Оптический журнал. – 2004. - Т. 71. - №10. - С. 3239.

4Ворзобова Н.Д. Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем Учебное пособие [Текст] / Н.Д. Ворзобова, И.Ю. Денисюк // СПб.: СПб ГУ ИТМО, 2008. - 82 с.

5Сейсян Р. Нанолитография СБИС в экстремально дальнем вакуумном фиолете [Текст] // Журнал технической физики. – 2005. - Т. 75, - В. 5. С. 1-13.

6Рыбакова, О. А. Прочная невесомость или аэрогель [Текст] / О. А. Рыбакова, А. В. Лысенко, В. Б. Алмаметов // Труды Международного симпозиума «Надежность и качество». 2008. - Т. 2. № 1. С. 1-3.

7Смирнов, Б. М. Аэрогели [Текст] // Успехи физических наук. 1987. - Т. 152. № 1. С. 135-156.

8Белотелов В.И., Звездин А.К. Фотонные кристаллы

идругие метаматериалы [Текст] / М.: Бюро квантум, 2006. - 144 с.

9Фотонные кристаллы и нанокомпозиты. Структурообразование, оптические и диэлектрические свойства. Под ред. В.Ф.Шабанова [Текст] / Новосибирск: Изд-во СО РАН,

2009. - 257 с.

10Наноматериалы: Фотонные кристаллы и нанокомпозиты на основе опаловых матриц. Под ред. М.И.Самойловича [Текст]/ М: Техномаш, 2007. - 304 с.

14

11Гапоненко С.В. Оптика наноструктур [Текст] / С.В. Гапоненко, Н. Н. Розанов, Е. Л. Ивченко, А. В. Федоров, А. В. Баранов, А. М. Бонч-Бруевич, Т. А. Вартанян, С. Г. Пржибельский. Под редакцией А. В. Федорова. -СПб: «Недра»,

2005. – 326 с.

12Аплекснин С.С. Основы спинтроники [Текст] /

СПб.: Лань, 2010. - 288 с.

13Лозовский В.Н. Нанотехнология в электронике. Введение в специальность [Текст] / В.Н. Лозовский, Г.С. Константинова, С.В. Лозовский. - СПб.: Лань, 2008. - 336 с.

14Симон Ж., Андре Ж.Ж. Молекулярные полупроводники. Пер. с англ. [Текст] / М.: Мир.1988.- 344 с.

15Поуп М. Свенберг Ч. Электронные процессы в органических кристаллах. Пер. с англ. [Текст] / М.: Мир, 1985. -

544 с.

16Агринская Н.В. Молекулярная электроника, учебное пособие [Текст] / Санкт-Петербург: СПбГПУ, 2004. - 109 с.

17Нанотехнологии. Наноматериалы. Ннаносистемная техника. Мировые достижения - 2008 год. Под ред. П.П.Мальцева [Текст] / М.: Техносфера, 2008. - 432 с.

18Мартинес-Дуарт Д.М. Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники [Текст] / Д.М.Мартинес-Дуарт, Р.Д. Мар- тин-Палма. - М.: Техносфера, 2007. - 368 с.

19Пул Ч. Нанотехнологии [Текст] / Ч.Пул., Ф.Оуэнс. - М.: Техносфера, 2004. - 328 с.

20Драгунов В.П. Основы наноэлектроники [Текст] / В.П. Драгунов, И.Г.Неизвестный, В.А.Гридчин. - М.: Университетская книга, 2006. - 496 с.

21Нанотехнологии в электронике. Под ред. Ю.А.Чаплыгина [Текст] / М.: Техносфера, 2005. - 448 с.

15

ПРИЛОЖЕНИЕ А

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ «ВОРОНЕЖСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ» (ФГБОУ ВО «ВГТУ», ВГТУ)

ФАКУЛЬТЕТ РАДИОТЕХНИКИ И ЭЛЕКТРОНИКИ КАФЕДРА ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА

КУРСОВАЯ РАБОТА

по дисциплине Специальные вопросы микро- и нанотехнологии

Тема _________________________________________________________________

______________________________________________________________________

Защищена ____________________ Оценка __________________________________

дата

20___

16

1.3Порядок выполнения курсовой работы….... 3

1.4Защита и критерии оценки работы……….... 4

2 Требования к оформлению курсовой работы………. 5

3 Темы курсовых работ ………………………………... 10

Список литературы …………………………………... 14

ПРИЛОЖЕНИЕ А…………….………………………... 16 Содержание……………………………………………… 17

17

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

к выполнению курсовых работ по дисциплине

«Специальные вопросы микро- и нанотехнологий»

для студентов направления 16.04.01 «Техническая физика» (направленность «Прикладная физика твердого тела»)

очной формы обучения

Составитель Стогней Олег Владимирович

В авторской редакции

Подписано к изданию 20.03 2017.

Уч.-изд. л. 1,1

ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет»

394026 Воронеж, Московский просп., 14