Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Учебное пособие 1019

.pdf
Скачиваний:
4
Добавлен:
30.04.2022
Размер:
716.15 Кб
Скачать

Рис. 2.1. Схема выбора полей зрения

5.Обработка результатов

5.1.По результатам измерений вычисляют среднее значение количества ямок травления в поле зрения

=

,

(2.1)

где Ni – количество ямок в поле зрения; n – количество полей зрения.

5.2. Плотность дислокаций рассчитывают по формуле

Д = ∙ ,

(2.2)

где К – пересчетный коэффициент, определяемый увеличением микроскопа.

5.3. Пересчетный коэффициент определяют по формуле

29

=

 

,

(2.3)

 

где S – площадь поля зрения, определяемая увеличением микроскопа, см2.

5.4. Площадь поля зрения определяется с помощью объектмикрометра, прилагаемого к микроскопу.

6.Оформление результатов измерений

6.1.Результатом измерения плотности дислокаций является величина, вычисленная по формуле (2).

6.2.Погрешность результатов измерений составляет ±50 % при доверительной вероятности Р = 0,95.

6.3.Результат измерений представляют двумя знача-

щими цифрами, умноженными на порядок определяемого значения плотности дислокаций (например, 2,2·103 см-2).

а) б)

Рис. 2.2. Дислокационные ямки травления; увеличение 225: а – плоскость (111); б – плоскость (100)

30

Контрольные вопросы

1.Физическая природа дислокаций.

2.Виды дислокаций.

3.Влияние дислокаций на электрические характеристики материала.

4.Методы обнаружения дислокаций.

5.Методы снижения числа дислокаций в кристаллах.

31

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1.ГОСТ Р 16153-80. Германий монокристаллический в слитках. Технические условия. – М.: Госстандарт: Издательство стандартов, 1981. – 50 с.

2.ГОСТ Р 19658-81. Цветные металлы. Кремний, магний, кадмий, титан. Технические условия. Марки. – М.: ИПК Издательство стандартов, 2001. – 50 с.

СОДЕРЖАНИЕ

 

Лабораторная работа № 1

1

Лабораторная работа № 2

21

Библиографический список

31

32

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

к выполнению лабораторных работ № 1 - 2 по дисциплине «Технология материалов электронной техники»

для студентов направления 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»

(направленность «Микроэлектроника и твердотельная электроника»)

очной формы обучения

Составители: Винокуров Александр Александрович

Плотникова Екатерина Юрьевна

В авторской редакции

Подписано к изданию 18.09.2017. Уч.-изд. л. 1,5.

ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет»

394026 Воронеж, Московский просп., 14