Учебное пособие 1019
.pdfРис. 2.1. Схема выбора полей зрения
5.Обработка результатов
5.1.По результатам измерений вычисляют среднее значение количества ямок травления в поле зрения
= |
∙ |
, |
(2.1) |
где Ni – количество ямок в поле зрения; n – количество полей зрения.
5.2. Плотность дислокаций рассчитывают по формуле
Д = ∙ , |
(2.2) |
где К – пересчетный коэффициент, определяемый увеличением микроскопа.
5.3. Пересчетный коэффициент определяют по формуле
29
= |
|
, |
(2.3) |
|
где S – площадь поля зрения, определяемая увеличением микроскопа, см2.
5.4. Площадь поля зрения определяется с помощью объектмикрометра, прилагаемого к микроскопу.
6.Оформление результатов измерений
6.1.Результатом измерения плотности дислокаций является величина, вычисленная по формуле (2).
6.2.Погрешность результатов измерений составляет ±50 % при доверительной вероятности Р = 0,95.
6.3.Результат измерений представляют двумя знача-
щими цифрами, умноженными на порядок определяемого значения плотности дислокаций (например, 2,2·103 см-2).
а) б)
Рис. 2.2. Дислокационные ямки травления; увеличение 225: а – плоскость (111); б – плоскость (100)
30
Контрольные вопросы
1.Физическая природа дислокаций.
2.Виды дислокаций.
3.Влияние дислокаций на электрические характеристики материала.
4.Методы обнаружения дислокаций.
5.Методы снижения числа дислокаций в кристаллах.
31
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1.ГОСТ Р 16153-80. Германий монокристаллический в слитках. Технические условия. – М.: Госстандарт: Издательство стандартов, 1981. – 50 с.
2.ГОСТ Р 19658-81. Цветные металлы. Кремний, магний, кадмий, титан. Технические условия. Марки. – М.: ИПК Издательство стандартов, 2001. – 50 с.
СОДЕРЖАНИЕ |
|
Лабораторная работа № 1 |
1 |
Лабораторная работа № 2 |
21 |
Библиографический список |
31 |
32
МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ
к выполнению лабораторных работ № 1 - 2 по дисциплине «Технология материалов электронной техники»
для студентов направления 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»
(направленность «Микроэлектроника и твердотельная электроника»)
очной формы обучения
Составители: Винокуров Александр Александрович
Плотникова Екатерина Юрьевна
В авторской редакции
Подписано к изданию 18.09.2017. Уч.-изд. л. 1,5.
ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет»
394026 Воронеж, Московский просп., 14