Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Учебное пособие 704

.pdf
Скачиваний:
1
Добавлен:
30.04.2022
Размер:
539.25 Кб
Скачать

 

 

U

прк

n

 

где k-1 = 1

 

 

, n – показатель степени в формуле

 

 

1

 

 

 

 

 

Uпроб. j2

 

 

 

 

Мюллера обычно принимают от 3 до 9 для кремниевых переходов, отношение напряжения переключения к напряжению

пробоя перехода j2

Uпрк

= 0,8 0,9 ;

 

 

Uпроб. j2

∆W – увеличение эффективной толщины базы; Lp – диффузионная длина дырок в базе n1;

k2 – коэффициент для обеспечения приемлемых значений напряжения в открытом состоянии. Обычно принимают k2 = 3, а для быстродействующих тиристоров k2 = 4 - 5.

Эффективная толщина базы тиристора в открытом состоянии при высоких плотностях тока увеличивается пример-

но на ∆W ≈ xj1 + xj2 – 50 [мкм]. В этом выражении xj1 и xj2 - глубины залегания переходов j1 и j2 соответственно (см. рисунок 1), которые для реальных тиристоров обычно имеют величину от 75 до 125 мкм. Глубина залегания перехода j3 колеблется обычно в пределах от 15 до 25 мкм.

Из условия (6) и (7) получаем формулы для вычисления толщины n1-базы (Wn1, мкм) и времени жизни дырок в n1-базе (τpn1, мкс):

W =

1,2 k2 Won

+ ∆W arch(k1 )

,

n1

1,2

k2

− arch(k1 )

 

 

W

+ ∆W 2

 

τpn1 =

 

n1

 

.

 

 

125

 

 

 

(8)

(9)

В рассматриваемом

нами примере,

принимая

ρn1 = 80 Oм ·см и Won = 220

мкм и полагая далее,

что xj1 = xj2

= 100 мкм, ∆W ≈ 100 + 100 – 50 =150 мкм. Примем также, что 11

n = 8, а отношение

 

 

 

Uпрк

 

= 0,8, тогда k1-1

= 1− (0,8)8

= 0,8, а k1

 

 

Uпроб. j2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

= 1,2, полагая k2 = 3 по формулам (8) и (9) получаем

 

W

=

1,2 3 220 +150 arch(1,2)

= 290 (мкм),

 

 

 

 

 

n1

 

 

 

 

 

 

1,2 3

− arch(1,2)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n1

290 +150

2

 

 

 

 

 

 

 

 

τp

=

 

 

 

 

 

 

 

 

= 12 (мкс).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

125

 

 

 

 

 

 

 

 

Общая толщина тиристорной структуры:

 

 

 

 

 

 

 

 

WSi = Wn1 + xj1 + xj2 [мкм].

(10)

 

 

 

WSi = 290 + 100 + 100 = 490 (мкм).

 

Напряжение прокола несимметричного резкого p-n-

перехода:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

=

qN

n1

W 2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

U

 

 

 

 

n1

.

 

 

(11)

 

 

 

 

 

 

 

прок

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2εε0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

U

 

 

=

1,6 10-19 6 1013 (29010

-4 )2

= 3800 (В)

прок

 

 

 

 

 

2

12 8,8510-14

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Определим параметры технологической шунтировки перехода j3. Этот расчёт проводят по заданному значению крити-

ческой скорости нарастания напряжения в закрытом состоянии

(dUзс,п/dt)кр, которое устанавливается при Т=125 oС, и постоянном напряжении в закрытом состоянии Uзс= = 0,67·Uзс.п= 0,67·1600 = 1072 (В).

Толщина слоя объёмного заряда в n1-базе с учётом напряжении в закрытом состоянии Uзс:

12

 

 

 

 

Won1 = 0,52 ρn1 Uзс [мкм].

(12)

Won1 = 0,52 80 1072 = 150 (мкм)

Определяем эффективную толщину базового слоя n1:

Wn1* = Wn1 - Won1 [мкм].

(13)

Wn1* = 290 - 150 = 140 (мкм)

Определяем эффективную толщину базового слоя p2:

Wp2* ≈ xj2 - xj3 – Wop2 [мкм],

(14)

где Wop2 - толщина слоя объёмного заряда коллекторного перехода в p2-базе.

Толщина слоя объемного заряда коллекторного перехода в p2-базе определяется как:

 

1

 

εε

a

E

M

 

 

 

W =

 

ln

0

1

 

 

,

(15)

 

 

 

 

 

op2

a1

 

qNn1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

где а1 – градиент примеси в р-n переходе при x = xj2,

 

 

 

2

 

N

S

 

 

 

a

 

=

 

 

ln

 

 

 

,

(16)

1

 

 

 

 

 

 

 

x j2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Nn1

 

 

 

 

E

 

2Uзс

.

 

 

 

(17)

 

M

Won1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

В формулы (16) и (17) величины Wоn1 и xj2 подставляем в сантиметрах.

Для создания р-областей тиристора обычно используют

13

такие легирующие примеси, как галлий, алюминий или бор. Преобладает диффузия галлия или алюминия с поверхностной концентрацией примеси NS в пределах (5 1016 - 1019) см –3.

21072

EM 150 10-4 = 1,43105 (В/см),

 

 

 

2

 

 

51016

 

 

a =

 

 

 

 

ln

 

= 1350

см-1,

100

10

 

6 10

1

 

 

 

 

 

 

 

-4

13

 

 

 

1

 

12 8,8510-14 1350 1,43105

 

= 22 104 (см) =

W =

 

 

ln

 

 

 

 

 

 

 

 

-19

 

13

op2

1350

 

1,6 10

6 10

 

 

 

 

 

 

 

 

= 22 (мкм).

 

 

 

 

 

 

 

Выбираем xj3 = 20 мкм Wp2* ≈ 10020 – 22 = 52 (мкм). При известных значениях Wn1* и Wp2* рассчитываем по-

стоянную времени нарастания прямого тока τн как положительный корень следующего трансцендентного уравнения:

 

 

1

 

 

 

 

 

+

 

 

 

1

 

 

 

 

 

= 1, (18)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

W

 

 

n1

 

 

 

 

p2

 

 

 

 

1+

τp

 

 

 

Wp2

1+

τn

 

 

n1

 

 

 

 

 

 

 

ch

 

 

 

 

 

 

ch

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

L

 

τ

 

Lp

τн

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

н

 

 

где Lp и Ln - диффузионные длины дырок в n1-базе и электронов в p2-базе;

τрn1 и τnp2 - время жизни дырок в n1-базе и электронов

в p2-базе.

Время жизни дырок в n1-базе τрn1 рассчитано ранее по (9), а время жизни электронов в p2-базе τnp2 обычно принимается равным (0,1 - 0,4) τрn1 . Диффузионные длины дырок в n1-базе и электронов в p2-базе соответственно:

14

L

p

=

τn1D

p

,

(19)

 

 

p

 

 

 

 

=

 

 

 

 

L

n

τp2D

n

,

(20)

 

 

n

 

 

 

где Dn и Dp – коэффициенты диффузии электронов и дырок соответственно. При температуре 20 оС Dn = 33 см2/с и Dp = 12 см2/с, при температуре 125 оС Dn = 22 см2/с и Dp = 8 см2/с.

Примем τnp2 = 0,16 τрn1 = 0,16·12 = 2 мкс.

Lp = 1210-6 8 = 9810-4 см = 98 мкм

Ln = 210-6 22 = 6610-4 см = 66 мкм

Постоянную времени нарастания прямого тока τн определяют графически. Для этого строят график функции f(τн), задавая значения τн = 1, 2, 3 … мкс:

f(τн) =

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

+

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

−1.

(21)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

W

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n1

 

 

 

 

τp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p2

 

 

 

 

τn

 

 

 

 

 

 

 

 

ch

W

 

 

1+

 

 

 

 

 

ch

 

 

1

+

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

L

 

 

τ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Lp

 

τн

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

н

 

 

 

 

 

 

 

f(τн) =

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

+

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

−1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

140

 

 

 

 

12

 

 

58

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ch

 

 

 

1

+

 

 

 

 

 

 

 

 

ch

 

 

1+

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

98

 

 

 

 

 

τ

 

 

 

 

 

 

 

 

66

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

н

 

 

 

 

 

 

 

 

 

τн

 

 

Результаты расчета по формуле (21) приведены в табл. 2.

15

Таблица 2 Определение постоянной времени нарастания прямого тока τн

τн,мкс

1

2

3

4

5

6

f(τн)

-0,5

-0,3

-0,22

-0,12

0,024

0,05

Точка пересечения графика с осью абсцисс и даст искомое значение τн = 4,7 мкс (см. рис. 3).

f(τн)

τн, мкс

τн - искомое

Рис. 3. Определение постоянной времени нарастания тока τн в открытом состоянии тиристора

Рассчитав постоянную времени нарастания прямого тока, вычислим плотность критического заряда включения тиристора, обеспечивающую заданное значение (dUзс,п/dt)кр:

16

 

 

 

π

 

 

 

dUзс,п

Q

кр

=

 

εε

qN

n1

τ

 

 

 

 

 

2

0

 

н

dt

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Uзс

 

 

F

 

 

 

 

 

 

τ

 

кр

 

 

 

 

н

dU

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

зс,п

 

 

, (22)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

dt

кр

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Uзс

dUзс,п

-1

 

 

 

 

 

где F

 

 

 

 

 

 

- интеграл вероятности функции

 

 

 

 

τн

 

 

 

 

 

 

 

dt

кр

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ошибок, определяется по графику, приведенному на рисунке 4.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Uзс dUзс,п

-1

 

 

 

F

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

τ

н

dt

кр

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

dU

 

-1

 

 

U

зс

 

 

 

 

 

 

зс,п

 

 

τ

 

 

dt

 

 

 

н

 

кр

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 4. Интеграл вероятности функции о шибок

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1072

(1000)-1

 

 

 

 

 

 

 

 

F

 

 

= F(0,23) = 0,6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4,7

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Q

 

=

 

3,14

 

12 8,85 10-14

1,6 10-19 6 10-13 4,7 1000 0,6 =

кр

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

= 1,6·10-7 Кл/см2

Зная Qкр, рассчитаем плотность тока утеччек через переход j3:

17

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Qкр

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

j

 

=

1−

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

(23)

 

ут.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

τн

 

 

 

W

 

 

 

τpn1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ch

n1

1+

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Lp

 

 

 

τн

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

1,610-7

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

jут. =

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

= 4,3610

-2

2

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(А/см ).

4,710-7

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

140

 

 

 

12

 

 

 

 

 

 

 

ch

1+

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

98

 

 

4,3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рассчитаем удельное сопротивление и концентрацию акцепторов в p2-базе:

ρp2 = Rsp2Wp2*,

(24)

где R sp2 - сопротивление растекания базового слоя p2. Типичное значение R sp2 для тиристоров от 200 до 400 Ом. Сопротивление растекания базового слоя p2 зависит от температуры R sp2Т 2,5. Выбираем R sp2 = 300 Ом, тогда удельное сопротивление

ρp2 = 300·58·10-4 = 1,8 (Ом·см).

По известному удельному сопротивлению ρp2 можно определить концентрацию акцепторов p2-базе (Nр2) по графику зависимости ρ(Nа) (см. рис. 2):Nр2 = 7,5·1015 см-3.

Рассчитаем равновесную концентрацию электронов в p2- базе при предельной температуре 125 оС. Учтем, что при 20 оС

собственная концентрация носителей в кремнии ni = 1,9 1010 –3, а при 125 оС ni = 6 1012 –3:

18

 

n

 

 

=

ni2

,

(25)

 

p2

 

 

 

 

Np2

 

 

 

 

 

 

 

np2

=

(6 1012 )2

= 4,8 109 (cм –3).

 

 

 

 

 

7,5 1015

 

Рассчитаем коэффициент переноса дырок через n1-базу:

1

βn1 = ch Wn1 . (26)Lp

βn1

=

 

1

 

= 0,56.

 

 

 

140

 

 

 

ch

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

98

 

 

Рассчитаем коэффициент переноса электронов через p2-

базу:

βp2

=

 

 

 

1

 

 

 

.

(27)

 

 

 

 

 

 

 

W

 

 

 

 

 

ch

 

p2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ln

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

βp2

=

 

1

 

 

= 0,79 .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

58

 

 

 

 

 

ch

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

66

 

 

 

 

Рассчитаем плотность тока насыщения через переход j3 при предельной температуре 125 оС:

19

j =

 

qDn np2

 

.

(28)

 

 

 

 

 

Sj3

 

W

 

 

 

 

 

 

 

L

 

th

p2

 

 

 

 

 

 

 

n

 

Ln

 

 

 

 

 

 

 

 

j =

1,6 10-19

22 4,8

10

9

= 3,4 10-6 (А/см2).

 

 

 

 

 

 

 

Sj3

 

 

 

 

58

 

 

 

 

82 10

-4

 

 

 

 

th

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

66

 

 

 

Рассчитаем сопротивление технологической шунтировки единицы площади третьего перехода j3. Шунты предназначаются для закорачивания эмиттерного перехода тиристора, улучшения прямого напряжения пробоя и стойкости прибора к эффекту dU/dt.

 

 

 

kT

kT

1

 

 

1− βn1

 

 

 

 

R

ут

=

 

 

ln

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

(29)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

qj

 

 

q R

j

 

β

 

+ β

 

−1

 

 

 

 

 

ут

 

n1

p2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ут Sj3

 

 

 

 

 

 

 

Левую часть выражения (29) можно обозначить через Z(Rут) и построить график зависимости, задавая значения Rут = 1, 2, 3, … Ом см2. Точка пересечения графика с прямой, проведенной из начала координат Rут = Z(Rут), дает значение Rут (рис. 5).

 

 

 

 

1,38 10

-23

400

 

 

 

1,38 10

-23

400

 

1

 

 

1

− 0,56

 

 

Z(R

ут

) =

 

 

 

ln

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1,6 10

-19

4,36 10

-2

1,6 10

-19

 

R ут 3,4 10

-6 0,56

+ 0,79 −1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Результаты расчета приведены в табл. 3.

20